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유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법(Method for transfering metal chalcogenide film on flexible substrate)

  • 기술번호 : KST2018003127
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에폭시를 이용한 전사 방법을 제시하여 박막의 결함이나 불순물을 생성시키지 않으면서 전기적인 물성이 뛰어난 유연 기판 복합체를 제조하고자 하는 것이다.본 발명의 여러 구현예에 따르면, 에폭시를 이용하여 유연 기판 상에 금속 칼코게나이드 박막을 전사함으로써, 전사되는 금속 칼코게나이드 박막의 결함이나 불순물을 생성시키지 않아 전기적인 물성이 우수한 유연 기판 복합체를 제조할 수 있다.또한, 상술한 방법으로 제조된 유연 기판 복합체는 플렉서블 전계 효과 트랜지스터, 센서 및 LED 등과 같은 유연(플렉서블) 소자 등에 폭넓게 응용할 수 있다.
Int. CL H01B 5/14 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01)
CPC H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020160115405 (2016.09.08)
출원인 성균관대학교산학협력단, 서강대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0028137 (2018.03.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이창구 대한민국 서울특별시 성동구
2 판홍단 베트남 경기도 수원시 장안구
3 김영찬 대한민국 경기도 부천시 소
4 이진환 대한민국 경기도 성남시 중원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한선희 대한민국 서울시 강남구 논현로 *** 여산빌딩 *층 ***호(온유특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구
2 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.09.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0876263-03
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0013526-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.01.16 1-1-2017-0048530-80
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.01.19 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2017-0065154-69
7 [반환신청]서류반려요청(반환신청)서
 2017.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0065091-81
8 [반환신청]서류반려요청(반환신청)서
 2017.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0065092-26
9 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2017.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0012787-12
10 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2017.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0111707-21
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0111708-77
12 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2017.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0017987-08
13 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2017.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0019866-28
14 [반려이유통지에 따른 소명]의견(답변, 소명)서
[Substantiation according to Notice of Reason for Return] Written Opinion (Written Response, Written Substantiation)		 2017.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0166953-13
15 직권수리안내서
Notification of Ex officio Acceptance		 2017.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0023497-23
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
17 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0006836-25
18 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0650759-84
19 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-1006517-46
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-1236968-07
21 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.12.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1236969-42
22 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2018.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0200724-44
23 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.05.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0489185-31
24 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0489184-96
25 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0503403-20
26 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0652056-87
27 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.10.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-1032517-35
28 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1032516-90
29 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0729376-65
30 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(ⅰ) 에폭시 주재와 경화제를 혼합하여 부분 경화시키는 단계;(ⅱ) 제1 기판에 상기 부분 경화된 에폭시 혼합물을 도포하는 단계;(ⅲ) 상기 부분 경화된 에폭시 혼합물이 도포된 제1 기판과 금속 칼코게나이드 박막이 형성된 제2 기판을 접합시키는 단계;(ⅳ) 상기 제1 기판과 접합된 에폭시 혼합물을 완전 경화시키는 단계; 및(ⅴ) 상기 제2 기판을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법으로서,상기 (ⅰ) 단계는 에폭시 혼합물은 진공 분위기 하에서 교반하여 버블을 제거하며, 상기 에폭시 혼합물은 5 Kgf/mm2 내지 8 Kgf/mm2의 인장 강도를 갖도록 부분 경화시키는 것이고, 상기 (ⅰ) 단계의 부분 경화는 40℃ 내지 60℃의 온도에서 3 시간 내지 5 시간 동안 수행하고,상기 (ⅲ) 단계는 에폭시 혼합물과 금속 칼코게나이드 박막이 서로 맞닿아 형성되도록 접합시킨 후, 상기 접합된 두 접촉면 간의 버블을 제거하는 공정을 더 수행하고,상기 (ⅳ) 단계의 완전 경화는 20℃ 내지 80℃의 온도에서 1 시간 내지 10 시간 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 에폭시 혼합물은 에폭시 주재와 경화제가 1: 0
3 3
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4 4
삭제
5 5
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6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 (ⅴ) 단계는 증류수에 제1 기판과 접합된 제2 기판을 함께 침지시킨 후에 제2 기판을 제거하거나, 또는 제2 기판을 물리적으로 제거한 후에 증류수에 침지시켜 잔여 기판 물질을 완전히 제거하는 것을 특징으로 하는 유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 제1 기판은 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드 및 플렉서블 유리 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 금속 칼코게나이드 박막은 MoS2, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, WTe2, NbS2, NbSe2, NbTe2, TaS2, TaSe2, TaTe2, ZrS2, ZrSe2, ZrTe2, HfS2, HfSe2, TcS2, ReS2, ReTe2, CoS, CoS2, CoSe2, CoTe, RhS2, RhSe2, RhTe2, IrS2, IrSe2, IrTe3, NiS, NiSe, NiTe, PdS2, PdSe, PdSe2, PdTe, PdTe2, PtS, PtS2, PtSe2, PtTe, PtTe2,GaS, Ga2S3, GaSe, Ga2Se3, Ga2Te3, SnS2, SnS, SnSe2, SnSe 및 SnTe 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법
10 10
제1항에 있어서,상기 제2 기판은 SiO2, 사파이어, 유리 및 석영 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 유연 기판 상으로 금속 칼코게나이드 박막을 전사하는 방법
11 11
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12 12
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 성균관대학교 산학협력단 정보통신·방송연구개발사업 차세대 신기능 스마트디바이스 플랫폼을 위한 대면적 이차원소재 및 소자 원천기술 개발
2 미래창조과학부 성균관대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 고에너지 광원을 이용한 2차원반도체의 유연기판상 직접합성공정 개발
3 미래창조과학부 서강대학교 산학협력단 글로벌프론티어사업 소프트 일레트로닉스용 나노 소재 개발-그래핀 및 2D소재 물성제어 기술