| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
내부에 수납부(310)가 형성되고 상기 수납부의 중심에 제1 유통부(330)가 형성되는 유통케이스(300);상기 제1 유통부(330)의 하단과 연통되는 제1 수용부(420)를 포함하는 수용케이스(400);상기 수납부(310)에 위치되며 상기 제1 수용부(420)를 향해 초음파를 방출하는 초음파 발생기(600); 상기 제1 유통부(330)에 구비되며, 상기 제1 수용부(420)로 세정액 생성을 위한 액체와 기체를 공급하는 컴팩트유닛(200); 및상기 제1 수용부(420) 하측에 결합되며, 상기 제1 수용부(420)에서 생성된 세정액이 피세정물로 분출되는 다수의 분출홀(720)이 형성되는 다공성나노구조체(700); 를 포함하되,상기 유통케이스(300)는 상기 수납부(310)와 외주면 사이에 세정액이 공급되는 제2 유통부(320)가 형성되고, 상기 수용케이스(400)는 상기 제2 유통부(320)의 하단과 연통되는 제2 수용부(410)가 형성되며, 상기 제2 수용부(410)에 위치되는 세정액을 피세정물로 안내하는 분사부(710)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 3 |
3
내부에 수납부(310)가 형성되고 상기 수납부의 중심에 제1 유통부(330)가 형성되는 유통케이스(300);상기 제1 유통부(330)의 하단과 연통되는 제1 수용부(420)를 포함하는 수용케이스(400);상기 수납부(310)에 위치되며 상기 제1 수용부(420)를 향해 초음파를 방출하는 초음파 발생기(600); 상기 제1 유통부(330)에 구비되며, 상기 제1 수용부(420)로 세정액 생성을 위한 액체와 기체를 공급하는 컴팩트유닛(200); 및상기 제1 수용부(420) 하측에 결합되며, 상기 제1 수용부(420)에서 생성된 세정액이 피세정물로 분출되는 다수의 분출홀(720)이 형성되는 다공성나노구조체(700); 를 포함하되,상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 제1 수용부(420)로 액체를 공급하는 액체공급관(210)과, 상기 제1 수용부(420)로 기체를 공급하는 기체공급관(220)과, 상기 기체공급관(220)에서 상기 제1 수용부(420)로 공급되는 기체를 미세 입자로 분리하는 스파저(230)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 제1 수용부(420)의 공간을 초과하는 세정액을 배출하기 위한 액체배출관(240)과, 상기 제1 수용부(420)에 위치되는 기체의 양을 제어하는 기체배출관(250)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 5 |
5
제4항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 액체공급관(210), 기체공급관(220), 액체배출관(240), 기체배출관(250)이 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
|
| 6 |
6
제4항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 액체배출관(240) 내부에 상기 액체공급관(210)이 삽입되고, 상기 기체배출관(250)의 내부에 상기 기체공급관(220)이 삽입되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
|
| 7 |
7
제4항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 액체공급관(210), 기체공급관(220), 액체배출관(240), 기체배출관(250)이 서로 일정간격 이격되게 내부에 삽입되는 통합관(260)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
|
| 8 |
8
제2항 내지 제7항 중 선택되는 어느 한 항에 의한 초음파 세정 장치를 포함하는 세정 시스템
|
| 9 |
9
내부에 용해부(110)가 형성되고, 상기 용해부(110)와 외주면 사이에 세정액이 공급되는 유입부(120)가 형성되는 용해케이스(100);상기 용해부(110)로 기체 및 액체를 공급하여 세정액을 생성하는 컴팩트유닛(200);내부에 수납부(310)와, 상기 유입부(120)의 하단과 연통되는 제2 유통부(320)와, 상기 용해부(110)와 연통되는 제1 유통부(330)가 형성되는 유통케이스(300);상기 제1 유통부(330)의 하단과 연통되며 세정액이 수용되는 제1 수용부(420)와, 상기 제2 유통부(320)의 하단과 연통되는 제2 수용부(410)가 형성되는 수용케이스(400);상기 수납부(310)에 위치되어 상기 용해부(110)로 초음파를 인가하는 선초음파발생기(500);상기 수납부(310)에 위치되어 상기 제1 수용부(420)로 초음파를 방출하는 초음파 발생기(600)상기 제1 수용부(420) 하측에 결합되며, 상기 제1 수용부(420)에 위치하는 세정액이 피세정물로 분출되는 다수의 분출홀(720)이 형성되는 다공성나노구조체(700); 및상기 제2 수용부(410)에 위치되는 세정액을 피세정물로 안내하는 분사부(710)를 포함하는, 초음파 세정 장치
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 용해부(110)로 액체를 공급하는 액체공급관(210)과, 상기 용해부(110)로 기체를 공급하는 기체공급관(220)과, 상기 기체공급관(220)을 통해 상기 용해부(110)로 공급되는 기체를 미세 입자로 분리하는 스파저(230)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 11 |
11
제10항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 용해부(110)의 공간을 초과하는 세정액을 배출하는 액체배출관(240)과, 상기 용해부(110)에 위치되는 기체의 양을 제어하는 기체배출관(250)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은 상기 액체공급관(210), 상기 기체공급관(220), 상기 액체배출관(240), 상기 기체배출관(250)이 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 13 |
13
제11항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(200)은, 상기 액체배출관의 내부에 상기 액체공급관이 삽입되고, 상기 기체배출관의 내부에 상기 기체공급관이 삽입되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
|
| 14 |
14
제11항에 있어서, 상기 컴팩트유닛은, 상기 액체공급관(210), 기체공급관(220), 액체배출관(240), 기체배출관(250)이 서로 일정간격 이격되게 내부에 삽입되는 통합관(260)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 15 |
15
제9항에 있어서,상기 제1유통부(330) 상에 설치되어 통과하는 세정액의 압력을 제어하고, 세정액에 용해되어 있는 기체 입자를 일정한 크기 이하로 선별하는 보조다공성나노구조체(800)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
|
| 16 |
16
제9항 내지 제15항 중 선택되는 어느 한 항에 의한 초음파 세정 장치를 포함하는 세정 시스템
|
