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내부에 수납부(110)와, 제1 유통부(130)가 형성되는 유통케이스(100);상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)를 포함하는 수용케이스(200);상기 제1 유통부(130)에 구비되며, 상기 제1 수용부(220)로 세정물질 생성을 위한 액체와 기체를 공급하는 컴팩트 유닛(300);상기 수납부(110)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 방출하는 초음파발생기(400);상기 초음파발생기(400)에서 방출된 초음파가 상기 제1 수용부(220)로 이동하는 경로상에 위치되며, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질의 음향 임피던스 값과 상기 초음파발생기(400)의 음향 임피던스 값 사이에 위치되는 음향 임피던스 값을 가지는 매질로 이루어지는 전달체(500); 및상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질이 피세정물로 분출되는 다수의 분출홀(620)을 포함하는 다공성나노구조체(600); 를 포함하는, 초음파 세정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 전달체(500)는, 상기 제1 수용부(220)에 가까워질수록 음향 임피던스 값이 점진적으로 낮아지는 복수개의 정합층으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제3항에 있어서, 상기 전달체(500)는, 복수개의 상기 정합층이 서로 마주보는 내측과, 정합층과 상기 제1 수용부(220)가 마주보는 정합층의 최하측 중 선택되는 어느 하나 이상의 위치에 고정판이 형성되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제1항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 제1 수용부(220)로 액체를 공급하는 액체공급관(310)과, 제1 수용부(220)로 기체를 공급하는 기체공급관(320)과, 상기 기체공급관(320)에서 상기 제1 수용부(220)로 공급되는 기체를 미세 입자로 분리하는 스파저(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제5항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 제1 수용부(220)의 공간을 초과하는 액상의 세정물질과, 세정액을 배출하기 위한 액체배출관(340)과, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 기체의 양을 제어하는 기체배출관(350)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제6항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 액체공급관(310)과, 기체공급관(320)과, 액체배출관(340)과, 기체배출관(350)이 서로 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제6항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체배출관(340)의 내부에 상기 액체공급관(310)이 삽입되고, 상기 기체배출관(350)의 내부에 상기 기체공급관(320)이 삽입되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
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제6항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체공급관(310), 기체공급관(320), 액체배출관(340), 기체배출관(350)이 내부에 일정간격 이격 삽입되는 통합관(360)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
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제1, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 유통케이스(100)에 형성되는 제2 유통부(120)와, 상기 수용케이스(200)에 형성되며 상기 제2 유통부(120)의 하단과 연통되는 제2 수용부(210)와, 상기 제2 수용부(210)에 위치되는 세정액을 피세정물로 안내하는 분사부(610)를 더 포함하는, 초음파 세정 장치
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