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플라즈모닉 메타표면 제작방법

  • 기술번호 : KST2018008064
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 제작 및 롤 스탬프를 이용한 연속 공정이 가능하며, 식각공정을 거치지 않고 메타표면을 구현할 수 있는 전사공정을 이용한 플라즈모닉 메타표면 제작방법에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 형성하고자 하는 기능층의 패턴에 대응되도록 일면에 나노구조체가 가공된 스탬프를 준비하는 스탬프 준비단계; 그리고 상기 일면에 액상물질의 도포 또는 이방성 진공증착을 통해 상기 기능층을 형성하는 기능층 형성단계;를 포함하며, 상기 기능층이 증착된 상기 스탬프는 플라즈모닉 메타표면으로 구현되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 메타표면 제작방법을 제공한다.
Int. CL G02B 5/00 (2006.01.01) C23F 1/12 (2006.01.01) C23F 1/02 (2006.01.01) C09K 13/00 (2006.01.01)
CPC G02B 5/008(2013.01) G02B 5/008(2013.01) G02B 5/008(2013.01) G02B 5/008(2013.01)
출원번호/일자 1020160165806 (2016.12.07)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0066308 (2018.06.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전소희 대한민국 서울특별시 서초구
2 정준호 대한민국 대전 서구
3 정주연 대한민국 대전광역시 유성구
4 이지혜 대한민국 대전광역시 유성구
5 최대근 대한민국 세종특별자치시 만남로 **
6 최준혁 대한민국 대전광역시 서구
7 이응숙 대한민국 대전광역시 유성구
8 황순형 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-1200082-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0160422-77
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0781801-43
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0008678-35
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0008677-90
8 등록결정서
Decision to grant
2018.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0267181-55
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번호 청구항
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형성하고자 하는 기능층의 패턴에 대응되도록 일면에 나노구조체가 가공된 스탬프를 준비하는 스탬프 준비단계;상기 일면에 이방성 진공층착을 통해 상기 기능층을 형성하는 기능층 형성단계; 그리고상기 기능층 중 상기 나노구조체 위에 증착된 기능층을 기판위로 전사하는 기능층 전사단계;를 포함하며,상기 스탬프 준비단계에서 상기 스탬프에는 상기 나노구조체의 구조에 의하여 오목부가 형성되고, 상기 오목부에 형성된 기능층으로부터 발생하는 빛의 색을 변화시키기 위하여 상기 나노 구조체의 주기는 200nm 내지 800nm의 범위를 가지며,상기 기능층 형성단계에서 상기 오목부에 형성된 기능층은 금속박막층과 비금속박막층이 교대로 적층되는 적층막으로 형성되며, 상기 오목부에 형성된 기능층에 의해 상기 스탬프가 플라즈모닉 메타표면으로 구현되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 메타표면 제작방법
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제 3 항에 있어서,상기 기능층은 알루미늄, 은, 금, 티타늄, 주석, 백금, 텅스텐, 티타늄-텅스텐, 실리콘 산화물, 질화규소, 폴리실리콘, 알루미늄 산화물, 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 티타늄 산화물, 아연 산화물, 불화 마그네슘 및 유기물 중 어느 하나의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 메타표면 제작방법
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제 5 항에 있어서,상기 기능층은 상기 스탬프 표면과 접하는 이형층과, 상기 기능층 위에 형성되는 접착 강화층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 메타표면 제작방법
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제 3 항에 있어서,상기 기판 상부에 금속 또는 비금속 물질로 이루어진 필름층을 형성하는 필름층 형성단계와,상기 필름층 위에 접착 프라이머를 포함하는 접착층이 형성되는 접착층 형성단계를 더 포함하며, 상기 기능층은 상기 접착층의 위에 전사되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 메타표면 제작방법
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제 3 항에 있어서,상기 스탬프는 가요성 물질로 형성되고, 상기 기능층이 기판을 향하도록 상기 기판 위에 정렬되며, 롤러에 의해 가압된 후 상기 기판으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 메타표면 제작방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국기계연구원 산업부-국가연구개발사업(III) 풀-컬러 구현을 위한 표면 3D 나노구조체기반 회절광학소자 실용화 플랫폼 기술개발 (2/4)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 제조 플랫폼기술 (2/2)