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복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2018012380
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법에 따르면, 서로 다른 물성(광학적, 기계적, 전기적, 자기적 등)을 갖는 소재들을 복합적으로 사용하여, 다양한 물성의 조절이 가능한 기능성 소재 및 이를 이용하여 최적화된 물성을 갖는 나노/마이크로 구조물을 형성한다. 또한, 서로 다른 물성을 갖는 복합소재를 이용하여 평탄화층 형성 및 이중 나노구조를 형성한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020170027862 (2017.03.03)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0101686 (2018.09.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.03)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이헌 대한민국 서울특별시 서초구
2 김양두 대한민국 서울특별시 동대문구
3 최학종 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0218140-75
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.04.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0093548-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0498493-46
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0945238-37
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0945247-48
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0845401-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
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번호 청구항
1 1
서로 다른 제1 기능성 물질 및 제2 기능성 물질을 용매 내에서 혼합하여 복합 기능성 물질을 형성하는 단계;상기 복합 기능성 물질을 기판 상에 공급하여 상기 기판 상에 기능성 박막을 형성하는 단계; 및상기 기능성 박막을 패터닝하여, 상기 기판 상에 기능성 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기능성 물질들은 0
3 3
제1항에 있어서, 상기 복합 기능성 물질을 형성하는 단계는 상기 제1 및 제2 기능성 물질들의 혼합비를 조절함으로써, 상기 기능성 패턴의 광학적 특성 및 기계적 특성을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 제2 기능성 물질은 티타늄 산화물 또는 지르코늄 산화물로 이루어진 나노 파티클들을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기능성 물질들 각각은 실리콘 산화물 및 아연 산화물로 이루어진 나노 파티클들을 포함하며, 상기 아연 산화물을 제거함으로써 다공성을 갖는 것을 특징으로 하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기능성 물질들 각각은 아연 산화물 및 주석 산화물로 이루어진 나노 파티클들을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 제2 기능성 물질은 안티몬 원소가 상기 주석 산화물 내에 불순물로서 도핑된 것을 특징으로 하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기능성 물질들 중 어느 하나에는 텅스텐 산화물을 포함하는 광촉매 물질이 추가적으로 혼합된 것을 특징으로 하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 기능성 패턴에 대하여 열처리 공정, 용액 식각 공정 및 용액 성장 공정 중 적어도 하나의 후공정을 추가적으로 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 기능성 패턴 구조물의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.