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스핀 스프레이법을 이용한 콜로이드 입자의 코팅방법

  • 기술번호 : KST2018012403
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 콜로이드 용액의 스핀 스프레이 코팅방법은 제1, 제2, 제3 및 제4 단계들을 포한한다. 상기 제1 단계에서 콜로이드 입자가 용매에 분산된 콜로이드 현탁액(Colloid Suspension)을 준비한다. 상기 제2 단계에서 상기 콜로이드 현탁액을 스프레이 노즐을 통해 스핀 코터에 로딩된 회전하는 기판 상에 분무한다. 상기 제3 단계에서 상기 분무된 콜로이드 현탁액에서 상기 용매가 증발하며 상기 콜로이드 입자가 상기 기판에 착지한 후, 상기 기판에 착지한 상기 콜로이드 입자의 표면에 잔존하는 상기 용매가 제거되도록 상기 콜로이드 입자를 열처리하여 건조시킨다. 상기 제4 단계에서 상기 제1, 제2 및 제3 단계들을 교대로 반복적으로 수행하여 일정한 두께로 상기 콜로이드 입자가 증착된 박막을 형성한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) B05D 1/00 (2006.01.01) B05D 3/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01) H01L 21/02282(2013.01)
출원번호/일자 1020170026978 (2017.03.02)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0100770 (2018.09.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.02)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최준혁 대한민국 대전광역시 서구
2 이지혜 대한민국 대전광역시 유성구
3 장은환 대한민국 경기도 고양시 일산서구
4 정준호 대한민국 대전광역시 서구
5 이응숙 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민태 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0209664-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.07.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0032543-42
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0656690-07
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-1180583-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1180582-75
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0194045-09
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번호 청구항
1 1
콜로이드 입자가 용매에 분산된 콜로이드 현탁액(Colloid Suspension)을 준비하는 제1 단계;상기 콜로이드 현탁액을 스프레이 노즐을 통해 스핀 코터에 로딩된 회전하는 기판 상에 분무하는 제2 단계;상기 분무된 콜로이드 현탁액에서 상기 용매가 증발하며 상기 콜로이드 입자가 상기 기판에 착지한 후, 상기 기판에 착지한 상기 콜로이드 입자의 표면에 잔존하는 상기 용매가 제거되도록 상기 콜로이드 입자를 열처리하여 건조시키는 제 3단계; 및상기 제1, 제2 및 제3 단계들을 교대로 반복적으로 수행하여 일정한 두께로 상기 콜로이드 입자가 증착된 박막을 형성하는 제4 단계를 포함하는 콜로이드 용액의 스핀 스프레이 코팅방법
2 2
제1항에 있어서,상기 용매는 휘발성 용매이며,메틸에틸케톤(MEK), 알코올, 톨루엔 및 아밀 아세테이트 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀 스프레이 콜로이드 용액의 스핀 스프레이 코팅방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 제2 단계에서,상기 분무된 용매가 증발하고 상기 콜로이드 입자가 상기 기판에 착지하도록 상기 기판을 소정 시간 동안 방치하는 것을 특징으로 하는 콜로이드 용액의 스핀 스프레이 코팅방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 제3 단계에서,히팅 건(Heat gun)을 이용하여 열처리하며, 상기 콜로이드 입자간 결합력을 증가시키는 것을 특징으로 하는 콜로이드 용액의 스핀 스프레이 코팅방법
5 5
제5항에 있어서, 상기 스프레이 노즐 및 상기 히팅 건은 x-y-z 스테이지에 탑재되어 상기 기판의 크기에 따라 이동 및 동작이 제어되는 것을 특징으로 하는 콜로이드 용액의 스핀 스프레이 코팅방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 제4 단계에서,상기 스프레이 노즐의 내경은 상기 제2 단계에서의 상기 스프레이 노즐의 내경보다 작으며, 상기 스프레이 노즐의 높이는 상기 제2 단계에서의 상기 스프레이 노즐의 높이보다 높으며, 상기 스프레이 노즐의 압력은 상기 제 2단계에서의 상기 스프레이 노즐의 압력보다 낮도록 제어하는 것을 특징으로 하는 스핀 스프레이 코팅방법
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제6항에 있어서, 상기 스프레이 노즐의 압력은 2bar 이내, 상기 기판을 기준으로 상기 스프레이 노즐의 높이는 30cm 이내, 상기 스프레이 노즐의 내경은 100 내지 600μm인 것을 특징으로 하는 콜로이드 용액의 스핀 스프레이 코팅방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기계연구원 주요사업 슈퍼감응 나노전자기계시스템(NEMS) 원천기술개발 (3/3)
2 미래창조과학부 기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 초박형 능동형 수퍼렌즈 제조기술 개발 (3/6)