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마이크로웨이브 처리에 의해 플루오르화란탄(Lanthanum Fluoride, LaF3) 나노 입자가 고정된 탄소나노튜브를 포함하는 가스센서용 감지물질
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브(SWCNT, single-walled carbon nanotube)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서용 감지물질
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제1항에 있어서,상기 LaF3 나노 입자는 상기 탄소나노튜브의 내벽 및/또는 외벽에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 가스센서용 감지물질
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제1항에 있어서,상기 LaF3 나노 입자와 탄소나노튜브의 중량비는 9:1 ~ 1:9인 것을 특징으로 하는 가스센서용 감지물질
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제1항 내지 제4항 중 선택된 어느 한 항에 따른 감지물질의 제조방법으로서,(1) LaF3 나노 입자와 탄소나노튜브를 혼합하는 단계; 및(2) 상기 (1)단계에 따라 얻어진 혼합물을 마이크로웨이브 처리 방법으로 처리하여 상기 LaF3 나노입자가 고정된 탄소나노튜브를 제조하는 단계를 포함하는 감지물질의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 LaF3 나노 입자와 상기 탄소나노튜브는 9:1 ~ 1:9의 중량비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 감지물질의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 (1)단계에 따라 얻어진 혼합물은 분말형태인 것을 특징으로 하는 감지물질의 제조방법
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삭제
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제5항에 있어서,상기 (2)단계에 따라 상기 LaF3 나노입자가 고정된 탄소나노튜브를 유기용매에 침지한 후, 교반, 여과 및 건조하는 단계를 더 포함하는 감지물질의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 유기용매는 디클로로벤젠(dichlorobenzene), 오르토-디클로로벤젠(ortho-dichlorobenzene), N-메틸-2-피롤리돈(N-methyl-2-pyrrolidinone), 헥사메틸포스포아마이드(hexamethylphosphoramide), 모로클로로벤젠(monochlorobenzene), N,N-디메틸포름아마이드(N,N-dimethylformamide), 디클로로에탄(dichloroethane), 이소프로필 알콜(isopropyl alcohol), 에탄올, 메탄올, 클로로포름 및 톨루엔으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 감지물질의 제조방법
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제1항 내지 제4항 중 선택된 어느 한 항에 따른 감지물질을 포함하는 가스센서
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제1항 내지 제4항 중 선택된 어느 한 항에 따른 감지물질을 포함하는 가스센서의 제조방법으로서, 상기 감지물질의 네트워크를 기판 상에 형성하는 단계; 및상기 네트워크가 형성된 기판 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 가스센서의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 기판은 실리콘 산화막이 표면에 형성된 실리콘 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 기판 상에 감지물질의 네트워크를 형성하는 방법은, 상기 감지물질이 분산된 용액에 기판을 침지한 후 빼내는 디핑(dipping) 방법 및 상기 감지물질이 분산된 용액을 기판상에 분사시키는 스프레이 방법으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 감지물질이 분산된 용액은 디클로로벤젠(dichlorobenzene), 오르토-디클로로벤젠(ortho-dichlorobenzene), N-메틸-2-피롤리돈(N-methyl-2-pyrrolidinone), 헥사메틸포스포아마이드(hexamethylphosphoramide), 모로클로로벤젠(monochlorobenzene), N,N-디메틸포름아마이드(N,N-dimethylformamide), 디클로로에탄(dichloroethane), 이소프로필 알콜(isopropyl alcohol), 에탄올, 메탄올, 클로로포름 및 톨루엔으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 또는 둘 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 감지물질이 분산된 용액에 초음파를 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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