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산화갈륨 식각방법

  • 기술번호 : KST2018014691
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화갈륨의 식각방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 산화갈륨 식각방법은 (a) 식각액(20)이 채워진 반응기(10)를 준비하는 단계(S100), (b) 식각액(20) 내에 산화갈륨(1)을 담지하는 단계(S200), (c) 산화갈륨(1)에 자외선을 조사하여 산화갈륨(1)의 표면을 식각하는 단계(S300)를 포함한다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/30604(2013.01) H01L 21/30604(2013.01) H01L 21/30604(2013.01) H01L 21/30604(2013.01)
출원번호/일자 1020170054192 (2017.04.27)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0120370 (2018.11.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김지현 대한민국 서울특별시 강남구
2 오수연 대한민국 부산광역시 해운대구
3 권용범 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호(정앤김특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0413012-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2018.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0141330-19
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0154710-60
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0009113-11
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-0216884-47
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0342958-05
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0455888-13
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0567383-17
10 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2019.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0092391-68
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2019-0659859-28
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0659857-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0811547-68
15 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2019.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-1279960-53
16 법정기간연장승인서
2019.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0198047-29
17 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.01.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0019902-85
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2020-0019903-20
19 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0083275-36
20 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2020-0556036-56
21 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0674819-23
22 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0800436-18
23 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0916487-78
24 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2020.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0129557-10
25 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-1022695-12
26 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.09.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1022694-77
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번호 청구항
1 1
(a) 식각액이 채워진 반응기를 준비하는 단계;(b) 상기 식각액 내에 산화갈륨을 담지하는 단계; 및(c) 상기 산화갈륨에 자외선을 조사하여 상기 산화갈륨의 표면을 식각하는 단계;를 포함하는 산화갈륨 식각방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 식각액은HF, NaOH, HNO3, H3PO4, 및 H2SO4 로 구성된 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 산화갈륨 식각방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 식각액의 농도를 조절하여, 식각되는 상기 산화갈륨의 식각 속도를 제어하는 산화갈륨 식각방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 식각액의 온도는 80 ℃ 이상인 산화갈륨 식각방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 자외선의 세기를 조절하여, 식각 속도를 제어하는 산화갈륨 식각방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 (c) 단계에서, 상기 자외선은 상기 산화갈륨의 밴드갭 에너지보다 큰 에너지를 가지고, 상기 산화갈륨에 조사되어 광전류에 의한 정공 및 전자를 생성하는 산화갈륨 식각방법
7 7
청구항 6에 있어서,상기 (c) 단계 이전에, 상기 산화갈륨 상에 제1 전극을 연결하고, 상기 식각액에 제2 전극을 담지하는 단계;를 포함하며,상기 (c) 단계에서, 상기 산화갈륨에 자외선을 조사하며, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 소정의 전압을 인가하여, 상기 산화갈륨의 표면을 식각하는 산화갈륨 식각방법
8 8
청구항 1에 있어서,상기 (b) 단계 이전에, 상기 산화갈륨의 표면을 세정하는 단계;를 더 포함하는 산화갈륨 식각방법
9 9
청구항 1에 있어서,상기 산화갈륨은 기판 상에서 성장된 상태로 상기 기판과 함께 담지되는 산화갈륨 식각방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 고려대학교 산학협력단 에너지기술개발사업 12.5 % 효율을 갖는 곡률반경 5 cm 이내의 곡면용 Cadmium telluride 태양전지 및 봉지재 개발