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액상소결 탄화규소 다공체 제조용 조성물, 상기 조성물로 제조된 고강도 및 고저항 특성을 갖는 액상소결 탄화규소 다공체 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018015839
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄화규소와 알루미늄(Al), 규소(Si), 이트륨(Y) 및 이들의 조합으로부터 선택된 원소를 함유하는 소결조제를 포함하는 조성물, 상기 조성물로 제조된 탄화규소 다공체 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 알루미늄(Al), 규소(Si), 이트륨(Y) 및 이들의 조합으로부터 선택된 원소를 포함하는 소결조제를 준비하고, 상기 소결조제와 탄화규소를 일정 비율로 혼합하여 혼합분말을 제조하며, 상기 혼합분말로 형성한 탄화규소 성형체를 1,400℃ ~ 1,600℃의 낮은 온도로 소결하여 기공률 40% 이상, 평균 기공 크기 1㎛ ~ 50㎛, 일정한 기공 크기 분포, 3점 굽힘 강도 45㎫ 이상, 체적저항이 108Ω·㎝ 이상인 탄화규소 다공체를 형성하는 것을 기술적 특징으로 한다.
Int. CL C04B 38/06 (2006.01.01) C04B 35/565 (2006.01.01) C04B 35/64 (2006.01.01)
CPC C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01) C04B 38/069(2013.01)
출원번호/일자 1020170065890 (2017.05.29)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1974932-0000 (2019.04.26)
공개번호/일자 10-2018-0130164 (2018.12.07) 문서열기
공고번호/일자 (20190503) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박상환 대한민국 서울특별시 성북구
2 윤성일 대한민국 서울특별시 성북구
3 염미래 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0508308-17
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0216192-73
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0519904-12
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0519905-57
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0657579-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-1181456-09
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1181455-53
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0292364-24
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번호 청구항
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Al2O3 45중량% ~ 70중량%, SiO2 5중량% ~ 25중량% 및 Y2O3 10중량% ~ 35중량%를 습식 또는 건식으로 혼합한 뒤 건조하여 소결조제를 준비하는 단계;상기 소결조제 5vol% ~ 30vol%와 탄화규소 70vol% ~ 95vol%를 혼합하여 혼합분말을 제조하는 단계;상기 혼합분말을 소정의 형상으로 성형하여 탄화규소 성형체를 제조하는 단계; 및상기 탄화규소 성형체를 소결하는 단계를 포함하고,상기 탄화규소의 평균 입경은 5㎛ ~ 100㎛인 알파 탄화규소이고,상기 소결조제의 평균 입경이 상기 탄화규소의 평균 입경의 0
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제11항에 있어서,상기 탄화규소 성형체는 상기 혼합분말을 금형을 이용한 일축 가압 성형 또는 정수압 성형하여 제조되는 탄화규소 다공체의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 탄화규소 성형체를 불활성 또는 산화성 분위기에서 1 ~ 20 ℃/min 승온 속도로 1,400℃ ~ 1,600℃까지 가열하고 1시간 ~ 4시간 유지하여 소결하는 탄화규소 다공체의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 탄화규소와 상기 소결조제의 평균 입경을 조절하여 상기 탄화규소 다공체의 기공률 및 평균 기공 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 다공체의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 소결조제의 함량, 상기 탄화규소의 평균 입경 또는 소결 온도를 조절하여 상기 탄화규소 다공체의 3점 굽힘 강도를 조절하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 다공체의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 탄화규소 다공체는 3점 굽힘 강도가 45㎫ 이상이고, 체적저항이 108Ω·㎝ 이상인 것을 특징으로 하는 탄화규소 다공체의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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1 산업통상자원부 (주)원익큐엔씨 세라믹스사업부 산업소재핵심기술개발 반도체 및 디스플레이 공정용 저항제어 대면적 세라믹 진공척 개발