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(a) 광경화성 유체를 마이크로 채널 내부로 유동시키는 단계; 및(b) 상기 마이크로 채널에 광을 조사하여, 미세입자를 합성하는 단계;를 포함하되,상기 (a) 단계, 및 상기 (b) 단계는 0 ~ 15 ℃의 합성온도에서 실행되는 저온 유체 리소그래피 방법
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청구항 1에 있어서,상기 광경화성 유체는광경화성 모노머, 및 광개시제를 포함하고,공중합 물질, 및 나노입자 중 적어도 어느 하나 이상을 더 포함하는 저온 유체 리소그래피 방법
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청구항 1에 있어서,상기 미세입자는상기 미세입자는 단면의 높이가 1 ~ 200 ㎛이고, 단면의 너비가 1 ~ 500 ㎛인 다면체 형상인 저온 유체 리소그래피 방법
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청구항 3에 있어서,상기 공중합 물질은형광 물질, DNA 프로브(probe), 항체, 바이러스, 단백질, 및 금속화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 저온 유체 리소그래피 방법
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청구항 3에 있어서,상기 나노입자는나노형광입자, 나노자성입자, 단백질, 나노금속입자, 나노화학입자, 및 세포로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 저온 유체 리소그래피 방법
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내부에서 광경화성 유체가 유동하는 마이크로 채널이 구비된 미세유체 칩;상기 마이크로 채널에 광을 조사하여, 미세입자를 합성하는 광원; 및상기 마이크로 채널 내의 온도를 0 ~ 15 ℃의 합성온도로 유지하는 냉각부;를 포함하는 저온 유체 리소그래피 시스템
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청구항 7에 있어서,상기 냉각부는상기 미세유체 칩의 외면에 접촉하는 열전도판; 및상기 열전도판을 냉각하는 냉각장치;를 포함하는 저온 유체 리소그래피 시스템
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청구항 7에 있어서,상기 냉각부는냉각 유체; 및상기 미세유체 칩의 내부에, 상기 냉각 유체가 흐르도록 형성된 냉각 유체 순환채널;을 포함하는 저온 유체 리소그래피 시스템
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청구항 7에 있어서,상기 냉각부는냉각 유체; 및상기 미세유체 칩의 외면에 접촉하고, 상기 냉각 유체가 흐르도록 형성된 냉각 유체 순환튜브;를 포함하는 저온 유체 리소그래피 시스템
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청구항 7에 있어서,상기 냉각부는내벽과 외벽이 서로 이격된 이중벽 구조로 형성되고, 내벽에 의해 둘러싸인 공간에 상기 미세유체 칩이 배치되는 용기부; 및상기 내벽과 상기 외벽 사이에 배치되는 냉각재;를 포함하는 저온 유체 리소그래피 시스템
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