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적어도 하나의 연결 링크가 돌출되어 구비된 피구동부의 상기 연결 링크에 연결되어 상기 피구동부를 구동하는 구동부를 포함하고, 상기 구동부는, 상기 연결 링크의 일측에 상기 연결 링크의 돌출방향을 가로지르도록 연결되는 구동암 및 상기 구동암을 구동하는 액추에이터를 포함하고,상기 연결 링크와 상기 피구동부의 사이 또는 상기 연결 링크와 상기 구동암 사이에는 완충 스프링이 구비되고, 상기 액추에이터는,상기 구동암이 연결되고 빗살 형태로 배치된 제 1 구동 전극과 제 2 구동 전극이 구비된 구동 몸체,상기 제 1 구동 전극에 대응하여 형성된 제 1 고정 전극을 포함하는 제 1 고정 전극부 및상기 제 2 구동 전극에 대응하여 형성된 제 2 고정 전극을 포함하는 제 2 고정 전극부를 포함하고,상기 제 1 고정 전극부는 상기 제 1 고정 전극이 상기 제 1 구동 전극에 대해 경사지게 배치되도록 제 1 방향으로 틸팅된 상태로 유지되고, 제 2 고정 전극부는 상기 제 2 고정 전극이 상기 제 1 구동 전극에 대하여 경사지게 배치되도록 상기 제 1 방향과는 다른 제 2 방향으로 틸팅된 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 연결 링크와 상기 구동암은 75° 내지 105°의 각도를 이루며 연결되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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3
제 1 항에 있어서, 상기 연결 링크는 상기 피구동부의 양측에 각각 구비되고, 상기 구동부는 상기 연결 링크마다 개별적으로 구비되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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4
제 3 항에 있어서, 상기 연결 링크들은 상기 피구동부의 회전축에 수직인 축을 따라 배치된 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 구동 몸체는 탄성 연결부에 의해 고정부에 연결되어 상기 탄성 연결부를 중심으로 회동 가능한 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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7
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 고정 전극부는 상기 제 1 고정 전극이 형성된 제 1 고정 지지부와, 상기 제 1 고정 전극 지지부에 연결되는 제 1 틸팅레버를 포함하고, 상기 제 1 틸팅레버가 눌려짐에 따라 상기 제 1 고정 전극 지지부가 상기 제 1 틸팅레버의 눌려진 방향과 같은 방향으로 회전함으로써 상기 제 1 고정 전극이 상기 제 1 구동 전극에 대해 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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8
제 7 항에 있어서, 상기 제 1 틸팅레버는 제 1 힌지 구조체에 의해 상기 제 1 고정 전극 지지부로 연결되고, 상기 제 1 힌지 구조체는 상기 제 1 틸팅레버와 동일한 방향으로의 회전력을 상기 제 1 고정 전극 지지부로 전달하는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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9
제 8 항에 있어서, 상기 제 1 틸팅레버의 눌림에 의해 상기 제 1 고정 전극부가 회전하는 중심축은 상기 구동 몸체가 회전하는 중심축과 일치하는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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10
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 고정 전극부는 상기 제 2 고정 전극이 형성된 제 2 고정 전극 지지부와, 상기 제 2 고정 전극 지지부에 연결되는 제 2 틸팅레버를 포함하고, 상기 제 2 틸팅레버가 눌려짐에 따라 상기 제 2 고정 전극 지지부가 상기 제 2 틸팅레버의 눌려진 방향과 반대 방향으로 회전함으로써 상기 제 2 고정 전극이 상기 제 2 구동 전극에 대해 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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11
제 10 항에 있어서, 상기 제 2 틸팅레버는 제 2 힌지 구조체에 의해 상기 제 2 고정 전극 지지부로 연결되고, 상기 제 2 힌지 구조체는 상기 제 2 틸팅레버와 반대 방향으로의 회전력을 상기 제 2 고정 전극 지지부로 전달하는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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12
제 11 항에 있어서, 상기 제 2 틸팅레버의 눌림에 의해 상기 제 2 고정 전극부가 회전하는 중심축은 상기 구동 몸체가 회전하는 중심축과 일치하는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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베이스부 및 상기 베이스부에 연결되고 제 1 연결 링크와 제 3 연결 링크가 대향하여 돌출 구비된 피구동부를 구동하는 구동부를 포함하고, 상기 구동부는, 상기 제 1 연결 링크에 75° 내지 105°의 각도를 이루며 연결되는 제 1 구동암과 상기 제 1 구동암의 단부를 승강 구동하는 제 1 액추에이터; 및상기 제 3 연결 링크에 75° 내지 105°의 각도를 이루며 연결되는 제 3 구동암과 상기 제 3 구동암의 단부를 승강 구동하는 제 3 액추에이터;를 포함하고, 상기 제 1 액추에이터 및 상기 제 3 액추에이터 각각은, 상기 구동암이 연결되고 빗살 형태로 배치된 제 1 구동 전극과 제 2 구동 전극이 구비된 구동 몸체,상기 제 1 구동 전극에 대응하여 형성된 제 1 고정 전극을 포함하는 제 1 고정 전극부 및상기 제 2 구동 전극에 대응하여 형성된 제 2 고정 전극을 포함하는 제 2 고정 전극부를 포함하고,상기 제 1 고정 전극부는 상기 제 1 고정 전극이 상기 제 1 구동 전극에 대해 경사지게 배치되도록 제 1 방향으로 틸팅된 상태로 유지되고, 제 2 고정 전극부는 상기 제 2 고정 전극이 상기 제 1 구동 전극에 대하여 경사지게 배치되도록 상기 제 1 방향과는 다른 제 2 방향으로 틸팅된 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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제 13 항에 있어서, 상기 제 1 고정 전극부는, 상기 제 1 고정 전극이 형성된 제 1 고정 전극 지지부와, 상기 제 1 고정 전극 지지부에 연결되는 제 1 틸팅레버를 포함하고,상기 제 2 고정 전극부는, 상기 제 2 고정 전극이 형성된 제 2 고정 전극 지지부와, 상기 제 2 고정 전극 지지부에 연결되는 제 2 틸팅레버를 포함하고,상기 제 1 틸팅레버와 상기 제 2 틸팅레버가 눌려짐에 따라 상기 제 1 고정 전극 지지부와 상기 제 2 고정 전극 지지부가 서로 다른 방향으로 틸팅되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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16
제 15 항에 있어서, 상기 제 1 고정 전극부는, 상기 제 1 틸팅레버와 동일한 방향으로의 회전력을 상기 제 1 고정 전극 지지부로 전달하는 제 1 힌지 구조체를 포함하고, 상기 제 2 고정 전극부는, 상기 제 2 틸팅레버와 반대 방향으로의 회전력을 상기 제 2 고정 전극 지지부로 전달하는 제 2 힌지 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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제 15 항에 있어서, 상기 베이스부의 일측면에 결합하는 커버를 더 포함하고, 상기 커버의 저면에는 상기 제 1 틸팅레버를 누르는 제 1 누름돌기와, 상기 제 2 틸팅레버를 누르는 제 2 누름돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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제 17 항에 있어서, 상기 커버는, 상기 피구동부에 대응하는 위치에 형성된 투광부가 형성되고, 상기 투광부는 관통형성되거나 표면 평탄화 처리된 투명 부재로 형성된 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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제 17 항에 있어서, 상기 커버는, 실리콘 기판에 상기 커버의 돌출 구조물에 대응하는 형상을 식각하는 단계, 상기 실리콘 기판의 상부에 유리 기판을 접합하고, 유리 기판을 용융시켜 상기 실리콘 기판에 식각 형성된 영역을 채우는 단계;상기 유리 기판의 상부면을 패터닝하는 단계; 및상기 실리콘 기판을 제거하는 단계를 포함하여 제조되는 것을 특징으로 하는 멤스 구동 장치
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제 1 항 또는 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 멤스 구동 장치를 포함하고, 상기 피구동부는 렌즈 또는 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 기구
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