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더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조

  • 기술번호 : KST2014009766
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 파장분할다중화기에서 입출력 광신호를 차단하거나 변화되도록 마이크로미러를 구동시켜 동작되는 멤스형 광스위치에서 상기 마이크로미러의 두께에 따른 광신호의 옵셋오차가 발생되지 않고 전극연결등의 소자 패키징이 용이한 더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조에 관한 것이다.본 발명에 의한 더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조는 마이크로미러를 구동시키는 엑추에이터를 포함하는 멤스형 광스위치 구조에 있어서, 제1고정 마이크로미러는 제1광도파로 쌍의 입력 광도파로(10)에 대하여 출사각이 45도가 되도록 고정되며, 제2고정 마이크로미러는 상기 제1고정 마이크로미러와 대칭되어 고정되고, 제3고정 마이크로미러는 상기 제1고정 마이크로미러와 제2고정 마이크로미러와 각각 평형되도록 절곡되어 고정되며, 상기 제1유동 마이크로미러는 상기 제1고정 마이크로미러와 대칭되고, 상기 제2유동 마이크로미러는 상기 제1유동 마이크로미러와 대칭되도록 형성되는 것을 특징으로 한다. 멤스, 광스위치, 마이크로미러, 엑추에이터, 광도파로
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 6/3518(2013.01) G02B 6/3518(2013.01) G02B 6/3518(2013.01) G02B 6/3518(2013.01) G02B 6/3518(2013.01) G02B 6/3518(2013.01)
출원번호/일자 1020040027739 (2004.04.22)
출원인 광주과학기술원, (주)세협테크닉스
등록번호/일자 10-0703936-0000 (2007.03.29)
공개번호/일자 10-2005-0102391 (2005.10.26) 문서열기
공고번호/일자 (20070405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.04.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
2 (주)세협테크닉스 대한민국 광주광역시 광산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권호남 대한민국 광주광역시 북구
2 이종현 대한민국 광주광역시 광산구
3 김선주 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박태우 대한민국 광주광역시 광산구 무진대로 ***, *층 빛고을특허법률사무소 (우산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)세협테크닉스 대한민국 광주광역시 광산구
2 광주과학기술원 대한민국 광주 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2004-0165648-75
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2004-0031183-30
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.11.18 수리 (Accepted) 9-1-2005-0076126-87
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0660640-14
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0142187-14
7 등록결정서
Decision to grant
2006.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0379846-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
일측에 제1광도파로 쌍과 제2광도파로 쌍이 나란하게 구성되고, 타측에 상기 제1광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 출사된 광신호가 상기 제2광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 고정설치되는 제1고정 마이크로미러 및 제2고정 마이크로미러와, 상기 제2광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 출사된 광신호가 상기 제1광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 고정설치되는 제3고정 마이크로미러와, 상기 제1광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 입력된 광신호가 상기 제1광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 유동되는 제1유동 마이크로미러와, 상기 제2광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 출사된 광신호가 상기 제2광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 유동되는 제2유동 마이크로미러와, 상기 마이크로미러를 구동시키는 엑추에이터를 포함하는 멤스형 광스위치 구조에 있어서,상기 제1고정 마이크로미러는 상기 제1광도파로 쌍의 입력 광도파로(10)에 대하여 출사각이 45도가 되도록 고정되며, 상기 제2고정 마이크로미러는 상기 제1고정 마이크로미러와 대칭되어 고정되고, 상기 제3고정 마이크로미러는 상기 제1고정 마이크로미러와 제2고정 마이크로미러와 각각 평형되도록 절곡되어 고정되며,상기 제1유동 마이크로미러는 상기 제1고정 마이크로미러와 대칭되고, 상기 제2유동 마이크로미러는 상기 제1유동 마이크로미러와 대칭되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조
3 3
일측에 제1광도파로 쌍과 제2광도파로 쌍이 나란하게 구성되고, 타측에 상기 제1광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 출사된 광신호가 상기 제2광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 고정설치되는 제1고정 마이크로미러 및 제2고정 마이크로미러와, 상기 제2광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 출사된 광신호가 상기 제1광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 고정설치되는 제3고정 마이크로미러와, 상기 제1광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 입력된 광신호가 상기 제1광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 유동되는 제1유동 마이크로미러와, 상기 제2광도파로 쌍의 입력 광도파로에서 출사된 광신호가 상기 제2광도파로 쌍의 출력 광도파로에 입사되도록 유동되는 제2유동 마이크로미러와, 상기 마이크로미러를 구동시키는 엑추에이터를 포함하는 멤스형 광스위치 구조에 있어서,상기 제1광도파로 쌍과 제2광도파로 쌍이 복수개 구성되는 것을 특징으로 하는 더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조
4 4
제2항에 있어서,상기 제1광도파로 쌍과 제2광도파로 쌍의 도파로의 끝단이 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조
5 5
제2항에 있어서,상기 제1광도파로 쌍과 제2광도파로 쌍의 도파로의 끝단이 열확장되어 형성된 것을 특징으로 하는 더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조
6 6
제2항에 있어서,상기 제1광도파로 쌍과 제2광도파로 쌍의 도파로의 끝단이 렌즈 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 더블유형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광스위치 구조
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8 7
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