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경사 구동되는 브이형태의 일체형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광가감기

  • 기술번호 : KST2014009873
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로미러의 두께에 따른 광신호의 옵셋오차가 발생되지 않고, 적은 수의 엑츄에이터를 사용하여 소자 패키징이 용이할 뿐만 아니라 광신호를 효과적으로 감쇠할 수 있는 경사 구동되는 브이형태의 일체형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광가감기에 관한 것이다.본 발명은 일측에 일정한 광신호를 출사하는 제1입력 광도파로(10)와, 출사된 광신호를 입사받는 제2출력 광도파로(25)가 배치되고, 타측에 상기 제1입력 광도파로(10)와 대응되는 제1출력 광도파로(20)와, 상기 제2출력 광도파로(25)와 대응되어 일정한 광신호를 출사하는 제2입력 광도파로(15)가 배치되며, 상기 제1입력 광도파로(10)와 제1출력 광도파로(20) 사이에 형성되는 광경로에 대하여 45도 기울어진 제1반사면(31)과 135도 기울어진 제2반사면(32)이 일체로 형성되고, 엑추에이터의 구동에 의해 상기 제1반사면(31) 또는 제2반사면(32)과 평형되게 삽입되거나 이탈되는 제1브이형태의 일체형 마이크로미러(30)와, 다른 엑추에이터에 의해 상기 제1브이형태의 일체형 마이크로미러(30)와 대칭되는 방향으로 상기 제2입력 광도파로(15)와 제2출력 광도파로(25)에 의해 형성되는 광경로에 삽입되거나 이탈되는 제2브이형태의 일체형 마이크로미러(40)를 포함하여 구성되고, 상기 제1입ㆍ출력 광도파로와 제2입ㆍ출력 광도파로 및 제1브이형태의 일체형 마이크로미러와 제2브이형태의 일체형 마이크로미러가 복수개 구성되는 것을 특징으로 한다.멤스, 광스위치, 광감쇠기, 마이크로미러, 엑추에이터, 광도파로, 광가감기
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01)
출원번호/일자 1020050113943 (2005.11.28)
출원인 광주과학기술원, 김선주
등록번호/일자 10-0736247-0000 (2007.06.29)
공개번호/일자 10-2007-0055686 (2007.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20070706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.28)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
2 김선주 대한민국 광주광역시 서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권호남 대한민국 광주광역시 북구
2 김태환 대한민국 서울 성북구
3 이종현 대한민국 광주광역시 광산구
4 김선주 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박태우 대한민국 광주광역시 광산구 무진대로 ***, *층 빛고을특허법률사무소 (우산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김선주 대한민국 광주광역시 서구
2 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0686671-81
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0061059-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0650284-18
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0005060-35
6 의견서
Written Opinion
2007.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0005073-28
7 등록결정서
Decision to grant
2007.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0172649-35
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
일측에 일정한 광신호를 출사하는 제1입력 광도파로(10)와, 출사된 광신호를 입사받는 제2출력 광도파로(25)가 배치되고, 타측에 상기 제1입력 광도파로(10)와 대응되는 제1출력 광도파로(20)와, 상기 제2출력 광도파로(25)와 대응되어 일정한 광신호를 출사하는 제2입력 광도파로(15)가 배치되며,상기 제1입력 광도파로(10)와 제1출력 광도파로(20) 사이에 형성되는 광경로에 대하여 45도 기울어진 제1반사면(31)과 135도 기울어진 제2반사면(32)이 일체로 형성되고, 엑추에이터의 구동에 의해 상기 제1반사면(31) 또는 제2반사면(32)과 평형되게 삽입되거나 이탈되는 제1브이형태의 일체형 마이크로미러(30)와, 다른 엑추에이터에 의해 상기 제1브이형태의 일체형 마이크로미러(30)와 대칭되는 방향으로 상기 제2입력 광도파로(15)와 제2출력 광도파로(25)에 의해 형성되는 광경로에 삽입되거나 이탈되는 제2브이형태의 일체형 마이크로미러(40)를 포함하여 구성되고, 상기 제1입ㆍ출력 광도파로와 제2입ㆍ출력 광도파로 및 제1브이형태의 일체형 마이크로미러와 제2브이형태의 일체형 마이크로미러가 복수개 구성되는 것을 특징으로 하는 경사 구동되는 브이형태의 일체형 마이크로미러가 구비된 멤스형 광가감기
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