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기판과 마주보는 길이방향 일측이 개방되고, 기체 유입부가 형성되어 내부에 일정한 양의 기체가 위치되는 외부 하우징과, 상기 기체 유입부를 통해 유입된 기체에 초음파를 방출하는 초음파 발생부와, 상기 초음파 발생부에서 방출되는 초음파 및 초음파에서 힘을 전달받은 공기가 상기 기판으로 방출되는 노즐을 포함하는 초음파 모듈;을 포함하며,상기 노즐이 확산형으로 이루어지고, 상기 하우징의 길이방향 일측에 서로 마주보는 면이 내측으로 벤딩되어 반사부가 형성되어, 상기 반사부가 인접한 상기 하우징과 형성하는 'α'각과, 상기 노즐에서 방출되는 초음파 및 기체의 확산각'β'에 대응하여 상기 기판의 세정 범위(R)가 제어되는 것을 특징으로 하는, 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치
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제 1항에 있어서 ,상기 초음파 모듈은 상기 노즐을 통하여 내부에 위치되는 공기 방출 시, 압력차에 의해 외부 공기가 상기 기체 유입부를 통해 내부로 유입되는 것을 특징으로 하는, 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치
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제 1항에 있어서,복수개의 상기 초음파 모듈이 구비되고, 각각의 모듈 사이에 제2 석션부가 형성되는, 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 외부 하우징을 사이에 두고, 상기 기판의 이동경로 일측과 타측에 형성되는 제1 석션부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치
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제 1항에 있어서,상기 유입부는 상기 외부 하우징의 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는, 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치
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제 3항에 있어서,상기 제2 석션부는 인접한 상기 초음파 모듈의 개수에 대응하는 흡입라인이 형성되고, 각각의 상기 흡입라인은 인접한 상기 초음파 모듈을 향해 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는, 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치
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삭제
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제 4항에 있어서,상기 기판의 세정 범위(R)에 대응하여 상기 초음파 모듈과 상기 제1 석션부의 이격거리(A)가 제어되는 것을 특징으로 하는, 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치
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