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기판(1)을 향해 초음파를 방출하는 초음파 방출부(10)와, 상기 초음파 방출부(10)에서 상기 기판(1)으로 방출되는 초음파의 경로상에 위치되며, 통과되는 초음파를 응집하는 내부 구조를 가지는 제1 메타물질(21)이 형성된 메타물질부(20)를 포함하는 초음파 모듈(100); 및상기 초음파 모듈(100)을 사이에 두고, 상기 기판(1)의 이동경로 일측과 타측 중 어느 한측 이상에 형성되는 석션부(200);를 포함하며,상기 제1 메타물질(21)은 상기 초음파 방출부(10)와 마주보는 일측에서 타측 방향으로 초음파가 통과되는 과정에서 응집되는 복수개의 응집홀(21-1)이 형성되는 것을 특징으로 하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치
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기판(1)을 향해 초음파를 방출하는 초음파 방출부(10)와, 상기 기판(1)과 마주보는 상기 초음파 방출부(10)의 일측에 형성되며 일측에서 타측으로 초음파를 통과 시키되 타측에서 일측으로 초음파가 통과하는 것을 제한하는 제2 메타물질(22)과, 상기 제2 메타물질(22)의 타측에 이격 형성되며 초음파를 반사하는 제3 메타물질(23)을 포함하는 메타물질부(20)와, 상기 제2 메타물질(22) 및 제3 메타물질(23)의 가장자리를 감싸 연결하며, 상기 제2 메타물질(22)과 상기 제3 메타물질(23) 사이에 기판(1)이 이동하는 기판 이동통로(31)가 형성된 제1 외부 하우징(30)을 포함하는 초음파 모듈(100); 및상기 초음파 모듈(100)을 사이에 두고, 상기 기판(1)의 이동경로 일측과 타측 중 어느 한측 이상에 형성되는 석션부(200);를 포함하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치
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기판(1)을 향해 초음파를 방출하는 초음파 방출부(10)와, 상기 기판(1)과 마주보는 상기 초음파 방출부(10)의 일측에 형성되며 일측에서 타측으로 초음파를 통과 시키되 타측에서 일측으로 초음파가 통과하는 것을 제한하는 제2 메타물질(22)과, 상기 제2 메타물질(22)의 타측에 이격 형성되며 일정 이상의 메그니튜드에서 초음파가 통과되는 제4 메타물질(24)을 포함하는 메타물질부(20)와, 상기 제2 메타물질(22) 및 상기 제4 메타물질(24)의 가장자리를 감싸 연결하는 제2 외부 하우징(40)을 포함하는 초음파 모듈(100); 및상기 초음파 모듈(100)을 사이에 두고, 상기 기판(1)의 이동경로 일측과 타측 중 어느 한측 이상에 형성되는 석션부(200);를 포함하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치
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제 3항에 있어서,상기 제4 메타물질(24)은 통과되는 초음파를 일정 지역으로 모아주는 응집형인 것을 특징으로 하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치
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제 1항에 있어서,상기 응집홀(21-1)은 길이방향 중심축을 연장한 선이 지정된 임의의 위치에 집중되는 것을 특징으로 하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세저장치
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 제2 메타물질(22)은 두께방향 일측에서 타측으로 가며 단면이 넓어지는 복수개의 반사 단위체(2)의 결합으로 이루어진 제1 결합층(22A-1)이 두께 방향으로 복수개 결합된 제1 결합층 모듈(22A)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치
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제 4항에 있어서,상기 제4 메타물질(24)은 두께방향 타측에서 일측으로 가며 단면이 넓어지는 반사 단위체(2)의 결합으로 이루어진 제2 결합층(24A-1)이 복수개 결합된 제2 결합층 모듈(24A)과, 두께방향 일측에서 타측으로 길이방향 중심축을 연장한 선이 임의의 위치에 집중되는 제2 응집홀(24-2)이 형성된 제3 결합층(24B)를 포함하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치
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제 6항에 있어서,상기 반사 단위체(2)는 인접한 결합층(22A-1)을 구성하는 반사 단위체(2)와 교차 형성된 것을 특징으로 하는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치
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