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나노 다공성막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019005710
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시예에 따른 나노 다공성막의 제조 방법은, 기판 상에 질화 실리콘막을 형성하는 단계; 상기 질화 실리콘막 상에 비정질 실리콘막을 형성하는 단계; 상기 비정질 실리콘막 상에 나노 입자를 코팅하는 단계; 및 상기 나노 입자가 상기 비정질 실리콘막 상에 고정되도록 산소 플라즈마 처리하는 단계;를 포함하고, 상기 나노 입자가 상기 비정질 실리콘막 상에 고정되도록 산소 플라즈마 처리하는 단계에서, 상기 비정질 실리콘막에 의해서 상기 질화 실리콘막의 산화가 방지될 수 있다.
Int. CL H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 29/0665(2013.01) H01L 29/0665(2013.01) H01L 29/0665(2013.01)
출원번호/일자 1020170153835 (2017.11.17)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0056648 (2019.05.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.07.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 천홍구 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-1144908-98
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-1292971-36
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
4 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2020-0711675-58
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.07.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0711673-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 질화 실리콘막을 형성하는 단계;상기 질화 실리콘막 상에 비정질 실리콘막을 형성하는 단계;상기 비정질 실리콘막 상에 나노 입자를 코팅하는 단계; 및상기 나노 입자가 상기 비정질 실리콘막 상에 고정되도록 산소 플라즈마 처리하는 단계;를 포함하고,상기 나노 입자가 상기 비정질 실리콘막 상에 고정되도록 산소 플라즈마 처리하는 단계에서, 상기 비정질 실리콘막에 의해서 상기 질화 실리콘막의 산화가 방지되는 나노 다공성막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 고려대학교 산학협력단 원천기술개발사업/바이오·의료기술개발사업/차세대응용오믹스사업 엑소좀 분리키트용 나노다공성막 개발