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전이금속 칼코겐 화합물용 화학기상증착 장치
- 기술번호 : KST2019010392
- 담당센터 : 경기기술혁신센터
- 전화번호 : 031-8006-1570
| 요약 | 기재 상에 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 반응부; 상기 반응부 상에 연결된 가스 주입부; 및 상기 반응분의 외부에 배치되는 바디부;를 포함하는, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치에 관한 것이다. |
|---|---|
| Int. CL | C23C 16/30 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/56 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01) |
| CPC | C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020170176125 (2017.12.20) |
| 출원인 | 성균관대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2019-0074627 (2019.06.28) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2017.12.20) |
| 심사청구항수 | 14 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김선국 | 경기도 수원시 장안구 | |
| 2 | 유나 | 경기도 수원시 장안구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한선희 | 대한민국 | 서울시 강남구 논현로 *** 여산빌딩 *층 ***호(온유특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 최종권리자 정보가 없습니다 | |||
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2017.12.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-1271460-81 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2017.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-1309654-66 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2019.01.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2019.03.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2019-0069121-40 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2019.06.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0464406-99 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2019.08.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2019-0862552-24 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2019.08.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0862539-30 |
| 8 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2019.12.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0930846-17 |
| 9 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 |
2020.01.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-0076479-32 |
| 10 | 법정기간연장승인서 |
2020.01.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2020-0013772-99 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기재 상에 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 반응부;상기 반응부 상에 연결된 가스 주입부; 및상기 반응부의 외부에 배치되는 바디부를 포함하고, 상기 반응부의 제 1 영역 상에 전이금속 전구체가 배치된 보트를 포함하고, 상기 반응부의 상기 제 1 영역과 이격된 제 2 영역 상에 위치하는 칼코겐 전구체가 배치된 보트를 포함하는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 가스 주입부, 상기 제 2 영역, 상기 제 1 영역, 및 상기 기재는 상기 반응부 상에 순차적으로 배치된 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서,상기 기재는 전이금속 산화물이 형성되어 있는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 반응부는 석영으로 형성된 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 바디부는 석영으로 형성된 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 가스 주입부를 통해 전이금속 소스, 칼코겐 화합물 소스, 캐리어 가스 또는 환원 가스가 주입되는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서, 상기 반응부는 상기 반응부 내의 압력을 조절하는 압력 조절부를 추가 포함하고, 상기 압력 조절부는 상기 가스 주입부와 대향하여 배치된 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서, 상기 가스 주입부는 상기 반응부의 내측으로 갈수록 폭이 점점 감소하는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조를 위한 화학기상증착 장치 |
| 9 |
9 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 화학기상증착 장치를 이용한 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법에 있어서, 상기 제 1 영역을 1차 가열하여 상기 기재 상에 전이금속 산화물을 형성하는 단계; 상기 전이금속 산화물을 환원시키는 단계; 및상기 제 2 영역을 2차 가열하여 상기 기재 상에 전이금속 칼코겐 화합물을 성장시키는 단계; 를 포함하는, 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법 |
| 10 |
10 제 9 항에 있어서, 상기 제 2 영역을 2차 가열하면서 상기 제 1 영역을 동시에 가열하는 것을 포함하는, 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법 |
| 11 |
11 제 9 항에 있어서, 상기 1차 가열을 하면서 캐리어 가스, 전이금속 소스 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 포함된 가스를 주입하는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법 |
| 12 |
12 제 9 항에 있어서, 상기 전이금속 산화물을 환원시키는 단계는 상기 반응부에 환원 가스를 주입함으로써 수행되는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법 |
| 13 |
13 제 9 항에 있어서, 상기 제 2차 가열을 하면서 캐리어 가스, 환원 가스, 칼코겐 화합물 소스 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 포함된 가스를 주입하는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법 |
| 14 |
14 제 9 항에 있어서, 상기 반응부 내의 압력은 500 Torr 내지 1000 Torr 인 것인, 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법 |
| 15 |
15 제 9 항에 있어서, 상기 1차 가열 및 상기 2차 가열의 온도는 각각 독립적으로 700℃ 내지 1200℃ 인 것인, 전이금속 칼코겐 화합물의 제조 방법 |
| 16 |
16 제 9 항에 있어서,상기 반응부 내의 압력은 상기 가스 주입부와 대향하여 배치되어 있는 압력 조절부에 의해 조절되는 것인, 전이금속 칼코겐 화합물 제조 방법 |
| 17 |
17 제 9 항에 있어서, 상기 전이금속 칼코게나이드 화합물은 고결정성 및 벌크 형태로 성장하는 것인, 전이금속 칼코게나이드 화합물의 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 과학기술정보통신부 | 성균관대학교(자연과학캠퍼스) | 국제연구인력교류 | 고결정성 MoSe2의 대량합성 기술개발을 통한 리튬이온 배터리 음극소재 및 윤활유 첨가제의 응용 |
| 2 | 과학기술정보통신부 | 성균관대학교 | STEAM연구 | 가변렌즈용 고유연 광전자 나노소자 연구 |
| 3 | 산업자원통상부 | 전자부품연구원 | 소재부품산업미래성장동력 | 생체신호의 초감도 감지를 위한 저차원 소재기반 플렉시블/웨어러블 기기 개발 |
| 4 | 교육부 | 성균관대학교(자연과학캠퍼스) | 개인기초연구(교육부) | 대면적 성장한 고결정성 MoSe2 박막을 이용한 유연 센서 시스템의 연구개발 |
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
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- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2017.12.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-1271460-81 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2017.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-1309654-66 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2019.01.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2019.03.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2019-0069121-40 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2019.06.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0464406-99 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2019.08.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2019-0862552-24 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2019.08.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0862539-30 |
| 8 | 거절결정서 | 2019.12.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0930846-17 |
| 9 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2020.01.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-0076479-32 |
| 10 | 법정기간연장승인서 | 2020.01.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2020-0013772-99 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345262605 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2017R1D1A1B03035315 |
| 연구과제명 | 대면적 성장한 고결정성 MoSe2 박막을 이용한 유연 센서 시스템의 연구개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2017 |
| 연구기간 | 201706~201802 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1415152933 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10079571 |
| 연구과제명 | 생체신호의 초감도 감지를 위한 저차원 소재기반 플렉시블/웨어러블 기기 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 산업통상자원부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2017 |
| 연구기간 | 201706~201802 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711051577 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2013M3C1A3059590 |
| 연구과제명 | 가변렌즈용 고유연 광전자 나노소자 연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 과학기술정보통신부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2017 |
| 연구기간 | 201703~201802 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1711056189 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2017H1D3A1A02014116 |
| 연구과제명 | 고결정성 MoSe2의 대량합성 기술개발을 통한 리튬이온 배터리 음극소재 및 윤활유 첨가제의 응용 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 과학기술정보통신부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2017 |
| 연구기간 | 201704~201712 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
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| 심판사항 정보가 없습니다 |
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