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제 1 캐리어 가스를 공급하는 제 1 캐리어 가스 공급부;상기 제 1 캐리어 가스에 의해 기화되는 전구체 용액을 공급하는 전구체 용액 공급부;상기 제 1 캐리어 가스 공급부 및 상기 전구체 용액 공급부에 연결되고, 상기 제 1 캐리어 가스를 이용하여 상기 전구체 용액을 기화시켜 전구체 가스를 생성하는 기화기;상기 전구체 가스를 이용하여 기판의 제조 공정을 수행하는 챔버;상기 기화기를 상기 챔버에 연결하고, 상기 기화기 내의 상기 전구체 가스를 상기 챔버 내에 공급하는 공급 배관;상기 챔버 내의 상기 전구체 가스의 반응 후 가스를 펌핑하는 펌프;상기 펌프를 상기 챔버에 연결하여 상기 챔버 내의 상기 반응 후 가스를 상기 펌프에 배기시키는 배기 배관;상기 공급 배관으로부터 분기되고, 상기 챔버를 우회하여 상기 배기 배관에 연결되는 우회 배관; 및상기 우회 배관에 체결되고, 상기 전구체 가스의 액적 크기를 측정하여 상기 전구체 가스를 상기 액적 크기에 근거하여 상기 챔버 내에 제공시키는 입자 측정기를 포함하는 기판 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기화기 및 상기 입자 측정기에 연결된 제어부를 더 포함하되,상기 제어부는 상기 전구체 가스의 상기 액적 크기에 근거하여 상기 기화기의 온도, 또는 상기 제 1 캐리어 가스의 유량을 제어하는 기판 제조 장치
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제 2 항에 있어서,상기 공급 배관에 체결되어 상기 공급 배관 내의 상기 전구체 가스를 제어하는 공급 밸브; 및상기 공급 배관과 상기 입자 측정기 사이의 상기 우회 배관에 체결되어 상기 우회 배관 내의 상기 전구체 가스를 제어하는 우회 밸브를 더 포함하는 기판 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 전구체 용액 공급부에 연결되고, 상기 전구체 용액 공급부에 제 2 캐리어 가스를 제공하는 제 2 캐리어 가스 공급부를 더 포함하는 기판 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 입자 측정기는 질량 분석기를 포함하는 기판 제조 장치
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제 1 캐리어 가스를 기화기 내에 제공하는 단계;상기 제 1 캐리어 가스에 의해 기화되는 전구체 용액을 상기 기화기 내에 제공하는 단계;상기 전구체 용액을 기화시켜 전구체 가스를 생성하는 단계;상기 전구체 가스의 액적 크기를 측정하는 단계; 상기 액적 크기가 문턱 값보다 작은지를 판별하는 단계; 및상기 액적 크기가 상기 문턱 값 이상으로 클 경우, 상기 기화기의 온도 또는 상기 제 1 캐리어 가스의 유량을 증가하는 단계를 포함하는 기판 제조 장치의 제어 방법
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제 6 항에 있어서,상기 문턱 값은 1㎛인 기판 제조 장치의 제어 방법
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제 6 항에 있어서,상기 액적 크기가 상기 문턱 값보다 작으면, 상기 전구체 가스를 상기 챔버 내에 제공하는 단계; 및상기 전구체 가스와 반응하는 반응 가스를 상기 챔버 내에 제공하는 단계를 더 포함하는 기판 제조 장치의 제어 방법
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제 6 항에 있어서,상기 기화기의 온도는 150℃ 이상으로 증가되는 기판 제조 장치의 제어 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 캐리어 가스의 유량은 3L/min 이상으로 증가되는 기판 제조 장치의 제어 방법
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