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요오드 이온을 포함한 구리 전해도금용 전해질 용액 및 이를 이용한 구리 전해도금 방법

  • 기술번호 : KST2019011777
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 요오드 이온을 포함한 구리 전해도금용 전해질 용액 및 구리 전해도금 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 구리 전해도금용 전해질 용액은 탈이온수, 구리 이온, 지지 전해질, 염소 이온 및 요오드 이온을 포함하며, 가속제 및 감속제를 추가로 첨가하여 TSV와 마이크로비아를 결함 없이 채우는 것이 가능하다. 또한, 유기물 평탄제를 사용하지 않아 전해질 특성 유지 및 관리가 용이하며, 고가인 평탄제 대신 가격이 저렴한 요오드 화합물을 사용하여 전해도금 공정의 경제성이 향상될 수 있다.
Int. CL C25D 3/38 (2006.01.01) C25D 7/12 (2006.01.01) C25D 7/06 (2006.01.01) C25D 5/02 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01) H05K 3/18 (2006.01.01)
CPC C25D 3/38(2013.01) C25D 3/38(2013.01) C25D 3/38(2013.01) C25D 3/38(2013.01) C25D 3/38(2013.01) C25D 3/38(2013.01)
출원번호/일자 1020160048699 (2016.04.21)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1754913-0000 (2017.06.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.21)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재정 대한민국 서울특별시 서초구
2 김명준 대한민국 대구광역시 수성구
3 김회철 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인주원 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(논현동, 건설회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0384018-72
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0858836-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2016.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1162742-93
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0007478-12
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0025410-73
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0242795-67
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0259365-35
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.03.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0259366-81
10 등록결정서
Decision to grant		 2017.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0428732-55
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탈이온수, 구리 이온, 지지 전해질, 염소 이온 및 요오드 이온을 포함하고, 상기 염소 이온의 농도는 0
2 2
청구항 1에 있어서,상기 구리 전해도금용 전해질 용액은 최장깊이/입구직경이 3 내지 30인 세공(細空) 충전(充塡)용인 것을 특징으로 하는 구리 전해도금용 전해질 용액
3 3
청구항 2에 있어서,상기 세공은 트렌치(trench), 비아(via), PCB용 마이크로비아(microvia), 관통홀 (through hole) 및 그 결합구조로 이루어진 군에서 선택된 구조인 것을 특징으로 하는 구리 전해도금용 전해질 용액
4 4
청구항 1에 있어서,상기 구리 전해도금용 전해질 용액은 가속제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 구리 전해도금용 전해질 용액
5 5
청구항 1에 있어서,상기 구리 전해도금용 전해질 용액은 감속제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 구리 전해도금용 전해질 용액
6 6
청구항 1에 있어서,상기 구리 이온의 농도는 0
7 7
삭제
8 8
청구항 1에 있어서,상기 구리 전해도금용 전해질 용액의 수소이온지수는 0 내지 7인 구리 전해도금 방법
9 9
청구항 4에 있어서,상기 가속제의 농도는 0
10 10
청구항 5에 있어서,상기 감속제의 농도는 10 μM 내지 2 mM인 것을 특징으로 하는 구리 전해도금용 전해질 용액
11 11
청구항 1 내지 청구항 6 또는 청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 청구항의 구리 전해도금용 전해질 용액의 구리 이온을 환원하여 형성된, 전자 소자용 구리 배선
12 12
청구항 1 내지 청구항 6 또는 청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 청구항의 구리 전해도금용 전해질 용액에 세공이 형성된 기판을 담그고, 전류 혹은 전압을 인가하여 구리 이온을 환원하는 단계를 포함하는, 구리 전해도금 방법
13 13
청구항 12의 구리 전해도금 방법으로 형성된, 전자 소자용 구리 배선
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.