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크랙 함유 투명 전도성 박막을 구비하는 고감도 센서 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019011792
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 크랙 함유 투명 전도성 박막을 구비하는 고감도 센서가 제공된다. 상기 고감도 센서는 지지체 상에 형성된 투명 전도성 박막에 미세 크랙을 형성하여 얻어지며, 상기 미세 크랙이 형성하는 미세 접합구조에서의 변화, 단락 또는 개방에 의한 전기적 저항변화의 측정으로 외부의 인장 및 압력을 측정하는 센서에 관한 것으로, 이와 같은 고감도 투명 전도성 크랙 센서는 정밀도가 높은 계측, 또는 인공 피부에 적용이 가능하며, 상기 센서를 픽셀화하여 포지셔닝 디텍팅 센서로도 활용 가능하여, 정밀 계측 분야, 인체 피부 등을 통한 생체 측정 디바이스, 사람의 모션의 측정 센서, 디스플레이 패널 센서 등의 분야에서 유용하게 사용할 수 있다.
Int. CL G01L 1/14 (2006.01.01) C08L 67/03 (2006.01.01) C08L 23/06 (2006.01.01) C08L 23/12 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01)
CPC G01L 1/14(2013.01) G01L 1/14(2013.01) G01L 1/14(2013.01) G01L 1/14(2013.01) G01L 1/14(2013.01)
출원번호/일자 1020160066677 (2016.05.30)
출원인 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1840114-0000 (2018.03.13)
공개번호/일자 10-2017-0135175 (2017.12.08) 문서열기
공고번호/일자 (20180319) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.30)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 대한민국 서울특별시 관악구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이태민 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 최용환 대한민국 서울특별시 송파구
3 이건희 대한민국 서울특별시 관악구
4 최만수 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김애라 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (역삼동, 한신인터밸리**) 서관 ***호(테라아이피씨특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 대한민국 서울특별시 관악구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0520082-31
2 보정요구서
Request for Amendment		 2016.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0086765-30
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-0652743-19
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0070183-15
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0352084-62
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0691413-51
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.07.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0691414-07
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0837656-65
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2017.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-1307958-94
11 법정기간연장승인서
 2018.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0000490-66
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0114776-10
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.02.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0114777-66
14 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0151659-35
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투명 지지체; 및 상기 지지체의 적어도 일면 상에 형성되는 투명 전도성 박막을 구비하며,상기 투명 전도성 박막은, 서로 마주하면서 적어도 일부 면이 서로 접촉하고 있는 크랙면을 갖는 크랙을 포함하고, 외부 물리적 자극에 따라 상기 크랙면이 이동하면서 접촉면적이 변화하거나 단락 혹은 재접촉에 의해 발생되는 전기적 변화의 측정에 의한 외부자극을 측정하는 투명 고감도 센서로서,상기 지지체의 영계수(Young's modulus)가 투명 전도성 박막의 영계수보다 작고,상기 지지체는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리프로필렌(PP) 및 폴리에틸렌(PE) 등으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합이고,상기 투명 전도성 박막은 ZnO, ZnO:B, ZnO:Al, ZnO:H, SnO, SnO2, SnO2:F, ITO 및 fluorinated SnO(FTO) 등으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나 또는 이들의 조합이고,상기 투명 전도성 박막의 두께가 100 nm 내지 600 nm이고,상기 고감도 센서는 80 % 이상의 투과도를 가지는 것인 투명 고감도 센서
2 2
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3 3
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4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 크랙은 상기 지지체와 상기 투명 전도성 박막의 영계수 차이에 의해 형성된 것인 투명 고감도 센서
6 6
제 5항에 있어서,상기 크랙은 나노 수준의 미세 크랙인 것인 투명 고감도 센서
7 7
제 1항에 있어서,외부자극에 의해 상기 크랙의 전기적 단락 또는 개방이 발생하여 상기 전도성 박막의 전기적 저항값이 변화되는 것을 특징으로 하는 투명 고감도 센서
8 8
제 7항에 있어서,상기 외부자극이 인장 및 압력 중 어느 하나 또는 이들의 조합인 것인 투명 고감도 센서
9 9
삭제
10 10
제 1항에 있어서,상기 투명 고감도 센서의 게이지 팩터가 1 내지 1x105 인 것인 투명 고감도 센서
11 11
제 1항에 있어서,상기 고감도 센서는 반경 1 mm 이상의 유연성을 가지는 것인 투명 고감도 센서
12 12
제 1항, 제 5항 내지 제 8항, 제 10항 및 제 11항 중 어느 한 항에 따른 투명 고감도 센서를 구비하는 압력센서
13 13
제 1항, 제 5항 내지 제 8항, 제 10항 및 제 11항 중 어느 한 항에 따른 투명 고감도 센서를 구비하는 인장센서
14 14
제 1항, 제 5항 내지 제 8항, 제 10항 및 제 11항 중 어느 한 항에 따른 투명 고감도 센서를 구비하는 인공 피부
15 15
제 1항, 제 5항 내지 제 8항, 제 10항 및 제 11항 중 어느 한 항에 따른 투명 고감도 센서를 구비하는 투명 디스플레이 패널
16 16
지지체의 적어도 일면 상에 투명 전도성 박막을 형성하는 단계; 및상기 전도성 박막에 크랙을 유도하는 단계를 포함하는 제 1항의 투명 고감도 센서의 제조방법
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1 CN109196320 CN 중국 FAMILY
2 WO2017209435 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN109196320 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 US2020240860 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2017209435 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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1 미래창조과학부 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 글로벌프론티어사업 초고효율 에너지 변환용 삼차원 멀티구조체 병렬 조립