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웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지 장치

  • 기술번호 : KST2019014514
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼의 하측에서 적외선 광원을 조사하고 웨이퍼의 상측에서 웨이퍼를 촬영하여 웨이퍼의 결함을 검사하는 웨이퍼 검사 장비에서 검사 대상 웨이퍼를 검사 위치에서 수평하게 안착하여 지지하도록 된 웨이퍼 지지장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 지지장치는, 스테이지 상에 원주방향을 따라 간격을 두고 설치되는 복수개의 마운트블록과; 외측 단부가 상기 각각의 마운트블록의 상부면에 결합되며 스테이지의 중심부를 향해 연장되게 설치된 금속 재질의 가이드블록과, 상기 가이드블록의 내측 단부에 결합되며 웨이퍼의 에지가 안착되어 지지되는 수지 재질의 서포트블록을 포함하는 서포트유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/687 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC H01L 21/68757(2013.01) H01L 21/68757(2013.01) H01L 21/68757(2013.01) H01L 21/68757(2013.01) H01L 21/68757(2013.01)
출원번호/일자 1020150046139 (2015.04.01)
출원인 주식회사 넥서스원
등록번호/일자 10-1595885-0000 (2016.02.15)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20160219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.04.01)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 넥서스원 대한민국 경기도 화성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황병문 대한민국 경기도 화성시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 넥서스원 경기도 화성시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2015-0320145-49
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.10.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0064303-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0906106-04
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.01.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0029431-33
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0029461-03
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0071353-46
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.10.12 수리 (Accepted) 4-1-2017-5161338-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.05.17 수리 (Accepted) 4-1-2018-5088599-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5137712-27
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼(W)의 검사가 이루어지는 스테이지(1) 상에 일정 간격으로 설치되며, 웨이퍼가 스테이지 상에 부양된 상태로 지지되도록 웨이퍼의 에지를 지지하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치에 있어서, 상기 스테이지(1) 상에 원주방향을 따라 간격을 두고 설치되는 마운트블록(2)과;외측 단부가 상기 각각의 마운트블록(2)의 상부면에 결합되며 스테이지의 중심부를 향해 연장되게 설치된 금속 재질의 가이드블록(110)과, 상기 가이드블록(110)의 내측 단부에 결합되며 웨이퍼(W)의 에지가 안착되어 지지되는 수지 재질의 서포트블록(120)을 포함하는 서포트유닛(100)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 스테이지 상에 구동수단에 의해 수평 왕복 이동 가능하게 설치되어 상기 서포트블록(120) 상에 안착된 웨이퍼(W)의 에지 부분을 일측 방향으로 수평하게 가압하여 고정하는 클램핑유닛(200)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 클램핑유닛(200)은 상기 구동수단에 연결되는 금속 재질의 연결블록(210)과, 외측부가 상기 연결블록(210)의 하단부에 결합되며 내측부가 상기 연결블록(210)과 결합된 부분보다 큰 두께를 갖도록 되어 내측 단부가 웨이퍼(W)의 에지와 접촉하도록 된 수지 재질의 가압블록(220)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 서포트블록(120)의 내측 단부에는 상측에서 하측으로 경사진 가이드경사부(121)가 형성되고, 상기 가이드경사부(121)의 하측에 웨이퍼(W)의 에지가 안착되는 안착부(122)가 스테이지의 내측으로 돌출되게 형성되며, 상기 가이드경사부(121)는 편평한 평면으로 되어 웨이퍼(W)의 에지와 점접촉하도록 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 가이드경사부(121)의 하단부는 만곡되게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 가이드블록(110)은 상기 마운트블록(2)의 상부면에 볼트(131)로 결합되고, 상기 서포트블록(120)의 외측 단부는 상기 가이드블록(110)의 내측 단부에 볼트(133)로 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 가이드블록(110)의 내측 단부에 'ㄱ'자형의 제1단차부(115)가 형성되고, 상기 서포트블록(120)의 외측 단부에 상기 제1단차부(115)와 대응하는 제2단차부(125)가 형성되어, 상기 제1단차부(115)와 제2단차부(125)가 맞대어진 상태에서 볼트(133)가 체결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
8 8
제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 가이드블록(110)에는 하단부가 상기 마운트블록(2)의 상부면에 접촉하여 마운트블록(2)에 대한 가이드블록(110)의 평행도를 조정하는 평행도보정볼트(132)가 나선 결합된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.