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반사성 입자의 스퍼터링 방법

  • 기술번호 : KST2019014525
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는, 롤에 의해 이동하는 이송 벨트 상에 복수의 투광성 입자들을 배치하는 공정과, 불활성 가스 분위기 하에서 이송 벨트와 마주보는 위치에 배치된 타겟에 타격을 주어 복수의 투광성 입자들 각각의 외표면 일부에 반사 피막을 형성하는 공정, 및 반사 피막이 형성된 복수의 투광성 입자들을 회수하는 공정을 포함하는, 반사성 입자의 스퍼터링 방법을 개시한다.
Int. CL C23C 14/22 (2006.01.01) C23C 14/56 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/04 (2006.01.01) C23C 14/18 (2006.01.01) C23C 14/20 (2006.01.01) G02B 5/124 (2006.01.01)
CPC C23C 14/223(2013.01) C23C 14/223(2013.01) C23C 14/223(2013.01) C23C 14/223(2013.01) C23C 14/223(2013.01) C23C 14/223(2013.01) C23C 14/223(2013.01) C23C 14/223(2013.01)
출원번호/일자 1020160103207 (2016.08.12)
출원인 주식회사 테토스
등록번호/일자 10-1856623-0000 (2018.05.03)
공개번호/일자 10-2018-0018168 (2018.02.21) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.12)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 테토스 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성완 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 조봉현 대한민국 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박재홍 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, *층 (송파동, 옥명빌딩)(플랜국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 기술보증기금(천안기술평가센터) 부산광역시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0787631-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0551213-87
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0018138-01
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0676019-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-5024734-74
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-5024735-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5000443-13
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0159614-78
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.04.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0348261-96
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2018-0348260-40
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0303639-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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재귀 반사 기능을 갖는 반사성 입자의 스퍼터링 방법에 있어서,롤에 의해 이동하고 표면에 점착성 수지를 포함하는 이송 벨트 상에 복수의 투광성 입자들을 배치하는 공정; 불활성 가스 분위기 하에서 상기 이송 벨트와 마주보는 위치에 배치된 타겟에 타격을 주어 상기 복수의 투광성 입자들 각각의 외표면 일부에 반사 피막을 형성하는 공정; 및 상기 반사 피막이 형성된 복수의 투광성 입자들을 회수하는 공정;을 포함하되,상기 복수의 투광성 입자들을 배치하는 공정은, 상기 복수의 투광성 입자들 각각이 상기 표면에 점착성 수지를 포함하는 이송 벨트와 접촉하고, 이송 벨트 상에 단일의 층을 이루면서 배치되도록 상기 복수의 투광성 입자들을 펼치는 공정을 더 포함하고,상기 반사 피막을 형성하는 공정은, 금속성 소재를 포함하는 타겟을 이용하여 상기 복수의 투광성 입자들 각각의 외표면의 일부에만 금속성 소재의 반사 피막을 형성하는 공정인 것을 특징으로 하는 반사성 입자의 스퍼터링 방법
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제1항에 있어서,상기 타겟과 다른 물질을 포함하는 추가 타겟을 이용하여 상기 반사 피막 상에 보호 피막을 형성하는 공정을 더 포함하는, 반사성 입자의 스퍼터링 방법
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제6항에 있어서,상기 보호 피막을 형성하는 공정은,상기 반사 피막을 덮도록 상기 투광성 입자의 표면 중 일부 상에만 상기 보호 피막을 형성하는, 반사성 입자의 스퍼터링 방법
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제6항에 있어서,상기 반사 피막을 형성하는 공정과 상기 보호 피막을 형성하는 공정은,동일한 챔버 내에서, 동일한 압력 하에서 연속적으로 수행되는, 반사성 입자의 스퍼터링 방법
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.