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용액재료의 자발적 상분리와 선택적 젖음을 이용한 미세패턴 제조방법

  • 기술번호 : KST2019017904
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 개시된 미세패턴 제조방법은, 베이스 기판 상에 친수성 화합물과 소수성 화합물을 포함하는 코팅 조성물을 코팅하고, 자발적 상분리를 통해 친수성 코팅층 및 상기 친수성 코팅층 위에 배치된 소수성 코팅층을 형성하는 단계, 상기 친수성 코팅층 및 상기 소수성 코팅층을 패터닝하여 친수성 영역 및 소수성 영역을 갖는 복합 패턴을 형성하는 단계, 상기 복합 패턴 상에, 선택적 젖음에 따라 상기 친수성 영역 또는 상기 소수성 영역에 선택적으로 패턴 형성 조성물을 배치하는 단계 및 상기 패턴 형성 조성물을 건조 또는 경화하여 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) C09D 175/14 (2006.01.01) C09D 167/06 (2006.01.01) C09D 4/06 (2006.01.01) C09D 171/00 (2006.01.01) C09D 7/40 (2018.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020180027089 (2018.03.07)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2031825-0000 (2019.10.07)
공개번호/일자 10-2019-0106099 (2019.09.18) 문서열기
공고번호/일자 (20191015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.03.07)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유승협 대전광역시 유성구
2 문한얼 대전광역시 유성구
3 정현호 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0231449-62
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0011975-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0097856-12
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.04.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0338645-70
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-0338646-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0487169-45
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 기판 상에 친수성 화합물과 소수성 화합물을 포함하는 코팅 조성물을 코팅하고, 자발적 상분리를 통해 친수성 코팅층 및 상기 친수성 코팅층 위에 배치된 소수성 코팅층을 형성하는 단계;상기 친수성 코팅층 및 상기 소수성 코팅층을 패터닝하여 친수성 영역 및 소수성 영역을 갖는 복합 패턴을 형성하는 단계; 상기 복합 패턴 상에, 선택적 젖음에 따라 상기 친수성 영역 또는 상기 소수성 영역에 선택적으로 패턴 형성 조성물을 배치하는 단계; 및상기 패턴 형성 조성물을 건조 또는 경화하여 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 친수성 코팅층 및 상기 소수성 코팅층을 패터닝하는 단계는,상기 친수성 코팅층 및 상기 소수성 코팅층을 돌출부를 갖는 임프린팅 몰드로 가압하여, 상기 돌출부가 상기 소수성 코팅층을 관통하여 상기 친수성 코팅층과 접촉하는 단계; 및상기 임프린팅 몰드가 결합된 상태에서 광경화를 진행하여, 개구부를 갖는 소수성 패턴 및 상기 개구부에 대응되는 리세스를 갖는 친수성 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 소수성 패턴은 상기 소수성 영역에 대응되고, 상기 친수성 패턴의 리세스는 상기 친수성 영역에 대응되는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 코팅 조성물은, 중합성 불포화 결합을 포함하는 친수성 화합물, 소수성 화합물 및 광개시제를 적어도 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 중합성 불포화 결합을 포함하는 친수성 화합물은, 우레탄 아크릴레이트 올리고머, 폴리우레탄 아크릴레이트, 에폭시 아크릴레이트 올리고머, 폴리에스터 아크릴레이트 및 폴리에테르 아크릴레이트로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
4 4
제2항에 있어서, 상기 소수성 화합물은, 중합성 불포화 결합을 포함하도록 개질된 퍼플루오로폴리에테르를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
5 5
제2항에 있어서, 상기 소수성 화합물은, 옥타플루오로펜틸 메타크릴레이트, 옥타플루오로펜틸 아크릴레이트, 글리시딜 옥타플루오로펜틸 에테르 및 이들의 유도체로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
6 6
제2항에 있어서, 상기 코팅 조성물은, 알코올계 용매를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서, 상기 소수성 코팅층은 상기 친수성 코팅층 보다 작은 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 패턴 형성 조성물은, 금속 입자, 무기물 입자, 금속 전구체, 무기물 전구체, 저분자 유기 화합물 또는 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
10 10
삭제
11 11
제1항에 있어서, 상기 친수성 코팅층 및 상기 소수성 코팅층을 형성하는 단계는,상기 베이스 기판 상에 상기 코팅 조성물을 코팅하는 단계; 및상기 코팅 조성물을 60℃ 내지 100℃에서 가열하여 자발적 상분리를 촉진하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업 (EZBARO)인체부착형 수면무호흡증 모니터링 패치 구현을 위한 저전력 생체신호 센서 및 통신 회로 시스템 개발(2017)