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레이저 광을 조사하는 광원;샘플이 배치된 샘플 스테이지;거울을 이용하여 상기 레이저 광이 샘플의 일 단면을 스캐닝하도록 구성된 스캐닝부;상기 샘플을 통해 진행한 레이저 광의 광신호를 검출하는 광검출기 - 상기 샘플을 통해 진행한 레이저 광은 상기 샘플의 주위를 지나친 레이저 광, 또는 상기 샘플을 불완전 통과한 레이저 광을 포함함; 및검출된 광신호에 기초하여 샘플의 높이를 산출하는 데이터 처리 장치를 포함하되, 상기 데이터 처리 장치는,제1 광신호에 기초하여 하이라이트 영역을 검출하고, - 상기 하이라이트 영역은 샘플을 통해 사영된 사영 영역의 적어도 일부를 포함함; 그리고제2 광신호에 기초하여 샘플의 높이를 산출하도록 더 구성되며,상기 제1 광신호는 제1 사이즈의 핀홀을 통과한 레이저 광으로부터 검출된 광신호이고, 상기 제2 광신호는 상기 제1 사이즈 보다 작은 제2 사이즈의 핀홀을 통과한 레이저 광의 광신호로서, 상기 하이라이트 영역에서 검출된 레이저 광인 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 스캐닝부는,스캔 스테이지에 결합된 거울을 포함하되, 상기 거울은 상기 광원의 레이저 광이 샘플을 향하게 하는 각도로 결합된 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제2항에 있어서, 상기 스캔 스테이지는,일 축을 따라 이동하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제3항에 있어서, 상기 샘플 스테이지는,상기 스캔 스테이지의 일 축에 대하여 수직인 축을 따라 이동하도록 더 구성되는 높이 측정 시스템
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제2항에 있어서,상기 샘플 스테이지는 일 축을 따라 양방향 이동하고, 상기 일 축의 수직인 축을 따라 단방향 이동하도록 더 구성되는 높이 측정 시스템
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제2항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,상기 샘플을 통해 사영된 레이저 광의 광신호를 상기 광검출기로부터 수신하고, 상기 검출된 광신호에 기초하여 상기 샘플의 높이를 산출하도록 더 구성되는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 스캐닝부는,모터와, 상기 모터의 회전축과 연동하여 회전하도록 결합된 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제7항에 있어서, 상기 샘플 스테이지는,회전 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제7항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,상기 스캐닝부의 측면에서 서로 상이한 제1 단면 및 제2 단면을 통해 사영된 제1 광신호 및 제2 광신호를 상기 광검출기로부터 수신하고, 상기 검출된 제1 광신호 및 제2 광신호에 기초하여 상기 샘플의 높이를 산출하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제9항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,다음의 수학식에 기초하여 샘플의 높이를 산출하며,여기서, h는 샘플의 높이, Lz1은 레이저 광이 샘플의 제1 단면을 통해 광검출기에 사영된 영역의 높이, Lz2는 상기 레이저 광이 샘플의 제2 단면을 통해 광검출기에 사영된 영역의 높이, θz1, θz2 는 스캐닝부에서 레이저 광이 반사되는 지점과 샘플의 중심을 가상으로 연장한 연장선에서 사영 영역의 높이까지의 각각의 각도, 그리고 d는 스캐닝부와 광검출부 사이의 거리를 나타내는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는, 상기 샘플이 불투명한 물질로 이루어진 경우, 광신호의 검출 유무에 기초하여 샘플의 높이를 측정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,상기 샘플이 반투명한 물질로 이루어진 경우, 검출된 광신호의 세기에 기초하여 샘플의 높이를 측정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 데이터 처리 장치는,미리 저장된 참조 데이터를 사용하여 산출된 샘플의 높이를 교정(calibration)하도록 더 구성되며,상기 참조 데이터는 참조용 샘플을 이용하여 측정된 높이 데이터를 포함하는 높이 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 데이터 처리 영역은,상기 사영 영역 중에서 사영 영역의 최고점을 포함한 소정 범위의 영역을 상기 하이라이트 영역으로 검출하도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 높이 측정 시스템
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레이저와 거울을 이용한 높이 측정 시스템에 의해 수행되는 높이 측정 방법으로서,거울을 이용하여 레이저 광원의 레이저 광이 샘플의 일 단면을 스캐닝하는 단계;상기 샘플을 통해 진행한 레이저 광의 광신호를 광검출기에 의해 검출하는 단계 - 상기 샘플을 통해 진행한 레이저 광은 상기 샘플을 지나친 레이저 광, 또는 상기 샘플을 불완전 통과한 레이저 광을 포함함; 및상기 광신호에 기초하여 샘플의 높이를 산출하는 단계를 포함하되, 상기 샘플의 높이를 산출하는 단계는, 샘플을 통해 사영된 사영 영역의 적어도 일부를 포함한 하이라이트 영역을 제1 광신호에 기초하여 검출하는 단계; 및제2 광신호에 기초하여 샘플의 높이를 산출하는 단계를 포함하고, 상기 제1 광신호는 제1 사이즈의 핀홀을 통과한 레이저 광으로부터 검출된 광신호이고, 상기 제2 광신호는 상기 제1 사이즈 보다 작은 제2 사이즈의 핀홀을 통과한 레이저 광의 광신호로서, 상기 하이라이트 영역에서 검출된 레이저 광인 것을 특징으로 하는 높이 측정 방법
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