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정렬된 3차원 나노 구조의 열전 소재를 이용한 고효율 열전 모듈 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019024252
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 개시된 열전 모듈은, 제1 전극, 상기 제1 전극과 이격된 제2 전극 및 상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 배치되어, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되는 열전 소자를 포함한다. 상기 열전 소자는, 정렬된 3차원 네트워크 형상을 갖는 절연 물질부, 및 역 오팔(inverse opal) 형상을 갖도록 상기 절연 물질부를 둘러싸는 열전 물질부를 포함한다.
Int. CL H01L 35/12 (2006.01.01) H01L 35/24 (2006.01.01) H01L 35/16 (2006.01.01) H01L 35/18 (2006.01.01) H01L 35/34 (2006.01.01)
CPC H01L 35/12(2013.01) H01L 35/12(2013.01) H01L 35/12(2013.01) H01L 35/12(2013.01) H01L 35/12(2013.01)
출원번호/일자 1020170083457 (2017.06.30)
출원인 한국과학기술원, 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1983626-0000 (2019.05.23)
공개번호/일자 10-2019-0003028 (2019.01.09) 문서열기
공고번호/일자 (20190529) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.30)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전석우 대한민국 대전광역시 유성구
2 김기선 대한민국 대전광역시 유성구
3 홍석균 대한민국 대전광역시 유성구
4 송재용 대한민국 대전광역시 유성구
5 신호선 대한민국 대전광역시 유성구
6 박선화 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
2 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-0630479-90
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0780243-51
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.09.05 수리 (Accepted) 9-1-2018-0045162-54
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0783232-55
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0051736-28
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-0051737-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 등록결정서
Decision to grant		 2019.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0308734-34
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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베이스 기판 위에 배치된 금속층 위에, 고분자를 포함하고 내부에 기공이 3차원으로 정렬된 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계;상기 3차원 다공성 주형 표면을 플라즈마 처리하는 단계; 상기 금속층을 음극으로 이용하여 전기 도금을 수행함으로써, 상기 3차원 다공성 주형의 기공 내에 열전 물질을 충진하여, 역 오팔(inverse opal) 형상을 갖도록 상기 3차원 다공성 주형을 둘러싸는 열전 물질부를 형성하는 단계;상기 금속층으로부터 상기 베이스 기판을 분리하는 단계;플라즈마 처리를 통해 상기 3차원 다공성 주형을 제거하는 단계;상기 3차원 다공성 주형을 제거한 후, 400 ℃ 내지 1,000 ℃에서 수소 및 불활성 가스의 혼합 가스 분위기에서 환원 공정을 수행하는 단계;상기 열전 물질부를 포함하는 열전 소자의 일단에 제1 전극을 연결하는 단계; 및상기 열전 소자의 타단에 제2 전극을 연결하는 단계를 포함하는 열전 모듈의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 열전 물질부의 정렬 주기는 100nm 내지 2,000nm이고, 상기 열전 물질부의 두께는 50nm 내지 300nm인 것을 특징으로 하는 열전 모듈의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 열전 물질부는 칼코게나이드(chalcogenide)계, 스쿠테루다이트(skutterudite)계, 실리사이드(silicide)계, 클래스레이트(clathrate)계, 하프 휘슬러(Half heusler)계 및 비스무트-텔루륨(Bi-Te)계로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 열전 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 열전 모듈의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 3차원 나노구조에 의한 산화물계 열전특성 변화 연구
2 정부출연기관 한국과학기술원 저차원 소재게놈 제어평가기술 사업 〉2016 한국표준과학연구원 주요사업 위탁과제 대면적 3차원 나노구조 열전소재 제작