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페로브스카이트(ABO3)구조를 갖는 박막; 및상기 박막 내부에 일정한 배열로 형성되고, 스피넬(A'B'2X4) 구조의 나노 파티클들이, 평면의 일정 영역 및 상기 일정 영역의 경계부로부터 상부로 연결되어, 내부가 비워진 컵모양의 구조로 형성되는 3D 나노컵 구조체;를 포함하는 3D 나노컵 이종구조 박막(A, B, A',B'는 일반적인 전이금속 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나임)
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제1 항에 있어서,상기 페로브스카이트는 레이어드 페로브스카이트(layered perovskite)를 포함하는 것을 특징으로 하는 3D 나노컵 이종구조 박막
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제1 항에 있어서,상기 페로브스카이트 구조의 박막은 강유전성을 갖고,상기 3D 나노컵 구조체의 나노 파티클은 강자성을 갖도록 구성되어, 다강체 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 3D 나노컵 이종구조 박막
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제3 항에 있어서,상기 3D 나노컵 구조체는, 페로브스카이트(ABO3) 구조에서 스피넬(A'B'2X4) 나노파티클의 자발적인 핵생성을 유발하기 위해, 해당 페로브스카이트 재료의 B 양이온을 A',B'이온의 주입을 통해 치환된 타겟을 사용하여 펄스레이저증착(PLD) 공정을 통해서 형성된 것을 특징으로 하는 3D 나노컵 이종구조 박막
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제1 항에 있어서,상기 박막을 구성하는 강유전성 물질은 Bi3
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Bi3
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제6 항에 있어서,Bi3
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제6 항에 있어서,상기 PLD 챔버는 1
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제6 항에 있어서,상기 기판은 850℃로 가열하는 것을 특징으로 하는 3D 나노컵 이종구조 박막 형성방법
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제6 항에 있어서,상기 기판과 상기 타겟의 간격은 50mm인 것을 특징으로 하는 3D 나노컵 이종구조 박막 형성방법
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제6 항에 있어서,상기 PLD 챔버에 산소를 주입하는 단계는,100mTorr가 되도록 산소를 주입하는 것을 특징으로 하는 3D 나노컵 이종구조 박막 형성방법
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제6 항에 있어서,상기 타겟에 레이저를 조사하는 단계는,248nm의 KrF 레이저를 2
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