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초소형 구동스테이지와 그 구동방법

  • 기술번호 : KST2015173932
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 초소형 구동스테이지는 1축구동이 가능하며 단부에 신축가능 한 제1탄성수단에 의해 지지되는 로드상의 피구동체와; 상기 피구동체의 양측에 각각 설치되며 2축 구동되어 상기 피구동체를 전, 후진 및 변위 고정시키는 것으로, 피구동체의 양측에 설치되어 2축방향으로 이동이 가능한 가동부재와, 상기 가동부재의 양측으로 각각 연장되는 제1연장부와 이 제1연장부의 단부로부터 양측으로 연장되는 제2연장부를 가지는 제1구동전극과, 상기 제1구동전극과 상기 제1연장부의 양측과 대응되는 제1고정전극부와 상기 제2연장부와 대응되는 제2고정전극부을 구비하여 상기 제1구동전극이 장착되는 더브테일홈을 이루는 제1고정전극를 구비한 제1,2 구동수단들과, 상기 피구동체의 양측에 설치되며 1축 구동되어 상기 제1,2구동수단에 의해 전진 또는 후진된 피구동체의 변위를 유지하는 제1,2고정수단;을 구비한다. 초소형 구동스테이지, 비틀림구동
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B81C 99/005(2013.01) B81C 99/005(2013.01)
출원번호/일자 1020040040874 (2004.06.04)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0589647-0000 (2006.06.07)
공개번호/일자 10-2005-0115661 (2005.12.08) 문서열기
공고번호/일자 (20060614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.06.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상호 대한민국 부산광역시남구
2 이종현 대한민국 광주광역시 광산구
3 황일한 대한민국 부산광역시금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2004-0242261-49
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2004-0031183-30
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0605161-22
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0074369-09
5 의견서
Written Opinion		 2006.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2006-0074360-99
6 등록결정서
Decision to grant		 2006.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0299054-34
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0564543-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 설치된 제1탄성수단에 의해 탄성지지되어 1축방향으로 전,후진 이송 가능하게 설치된 피구동체를 이의 양측에 설치된 제1,2구동기의 구동드라이빙 전극유니트에 의해 기판에 제 2탄성수단에 의해 지지된 가동부재들을 전진시켜 파지하고, 파지 된 상태를 유지하면서 제1,2구동기의 비틀림 운동을 유발함으로써 상기 피구동체를 전진 또는 후진시키는 제1단계와, 상기 피구동체의 양측에 설치된 제1,2고정기의 고정부재를 전진시켜 이송된 피구동체를 변위 고정하는 제2단계와, 상기 피구동체가 고정된 상태에서 상기 1,2구동기에 의해 파지력을 해지하고 제1,2구동기의 가동부재가 원위치로 복귀되는 제3단계와, 상기 제1,2구동기에 의해 상기 피구동체를 파지하여 이동시킴과 아울러 상기 제1,2고정기에 의해 피구동체의 변위고정을 해지하는 제4단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 초소형 스테이지의 구동방법
2 2
1축구동이 가능하며 단부에 신축가능 한 제1탄성수단에 의해 지지되는 로드상의 피구동체와; 상기 피구동체의 양측에 각각 설치되며 2축 구동되어 상기 피구동체를 전, 후진 및 변위 고정시키는 것으로, 피구동체의 양측에 설치되어 2축방향으로 이동이 가능한 가동부재와, 상기 가동부재의 양측으로 각각 연장되는 제1연장부와 이 제1연장부의 단부로부터 양측으로 연장되는 제2연장부를 가지는 제1구동전극과, 상기 제1구동전극과 상기 제1연장부의 양측과 대응되는 제1고정전극부와 상기 제2연장부와 대응되는 제2고정전극부을 구비하여 상기 제1구동전극이 장착되는 더브테일홈을 이루는 제1고정전극를 구비한 제1,2 구동수단들과, 상기 피구동체의 양측에 설치되며 1축 구동되어 상기 제1,2구동수단에 의해 전진 또는 후진된 피구동체의 변위를 유지하는 제1,2고정수단; 을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 초소형 스테이지
3 3
제 2항에 있어서, 상기 제1,2연장부를 가지는 제1구동전극은 T 자형 또는 더브테일 형상으로 형성되며 이 제1구동전극를 감싸는 제1고정전극은 T 자 또는 더브테일 홈의 형상으로 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 초소형 스테이지
4 4
제 2항에 있어서, 상기 제1구동전극과 피구동체에 위치되는 제1고정전극의 간격이 상기 제1피구동체로부터 멀어지는 측에 위치되는 제1구동전극과 제1고정전극의 간격보다 좁게 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지
5 4
제 2항에 있어서, 상기 제1구동전극과 피구동체에 위치되는 제1고정전극의 간격이 상기 제1피구동체로부터 멀어지는 측에 위치되는 제1구동전극과 제1고정전극의 간격보다 좁게 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.