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미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2019026047
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 반도체 공정을 통해 표면에 미세패턴이 양각된 마스터 평판을 제작하는 단계와, 마스터 평판을 복제해 미세패턴이 음각된 클리쉐 시트를 제작하는 단계와, 클리쉐 시트를 롤 표면에 부착하는 단계를 포함하며, 반도체 공정을 통해 마스터 평판이 제작되므로, 미세 패턴 깊이 제어 및 형상 제어가 용이하고, 마이크로 단위의 미세 패턴 형성이 가능한, 미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/288 (2006.01.01) H01L 21/447 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01)
출원번호/일자 1020160070437 (2016.06.07)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1692065-0000 (2016.12.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.07)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권신 대한민국 세종특별자치시 누리로 **,
2 강동우 대한민국 대전광역시 서구
3 우규희 대한민국 경기도 고양시 일산동구
4 장윤석 대한민국 대전광역시 서구
5 이승현 대한민국 대전광역시 유성구
6 이택민 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0545918-25
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction		 2016.06.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0092002-19
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2016.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0627937-94
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.07.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0035810-84
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0582454-01
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.10.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0992273-47
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0992259-18
9 등록결정서
Decision to grant		 2016.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0785176-63
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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반도체 공정을 통해 표면에 미세패턴이 양각된 마스터 평판을 제작하는 단계;상기 마스터 평판을 복제해 상기 미세패턴이 음각된 클리쉐 시트를 제작하는 단계; 및상기 클리쉐 시트를 롤 표면에 부착하는 단계를 포함하고,상기 클리쉐 시트를 제작하는 단계에서,상기 마스터 평판을 임프린트(IMPRINT) 복제해 상기 미세패턴이 음각된 합성수지 소재의 클리쉐 시트를 제작하며,상기 클리쉐 시트를 제작하는 단계 후에, 상기 롤 표면에 UV 경화 레진을 도포하고,상기 클리쉐 시트를 롤 표면에 부착하는 단계 후에,상기 UV 경화 레진을 경화시키고, 상기 클리쉐 시트를 상기 롤 표면으로부터 분리하는, 미세패턴롤을 제조하는 방법
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제1항에 있어서,상기 클리쉐 시트를 롤 표면에 부착하는 단계에서,상기 롤이 거치되고, 길이방향으로 이동하는 롤거치부와, 상기 롤거치부 일측에 위치되고, 상기 롤에 부착되는 상기 클리쉐 시트의 장력을 제어하는 장력제어 댄서가,상기 롤 일측에 구비된 카메라에 의해 획득된 상기 클리쉐 시트의 영상을 근거로, 상기 클리쉐 시트가 설정된 위치에 감기도록 유도하는, 미세패턴롤을 제조하는 방법
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연성재질의 클리쉐 시트가 감겨진 시트롤이 거치되는 시트롤거치부;상기 시트롤로부터 풀려진 상기 클리쉐 시트가 표면에 감겨지는 패턴롤이 거치되는 롤거치부;상기 시트롤거치부 및 상기 롤거치부 사이에 위치되고, 상기 시트롤로부터 상기 패턴롤을 향해 이동하는 상기 클리쉐 시트와 접촉해 상기 클리쉐 시트에 장력을 인가하는 롤 형태의 장력제어 댄서; 및상기 장력제어 댄서와 높이 차를 가지며 상기 장력제어 댄서 전측 및 후측에 위치된 아이들롤러를 포함하고,상기 롤거치부에 상기 패턴롤을 회전시키는 구동장치가 구비되며,상기 패턴롤에 UV 경화 레진이 도포된, 미세패턴롤을 제조하는 장치
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제6항에 있어서,상기 장력제어 댄서의 길이방향 양단은 각각 상기 장력제어 댄서와 수직한 높이이동 가이드에 삽입되고,상기 높이이동 가이드에 상기 장력제어 댄서의 길이방향 일단을 높이 이동시키는 액츄에이터가 내장된, 미세패턴롤을 제조하는 장치
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제6항에 있어서,상기 클리쉐 시트의 폭방향 양측에 각각 상기 클리쉐 시트의 길이방향을 따라 등간격으로 마스크가 형성되고,상기 롤거치부 일측에 상기 마스크를 감지하는 카메라가 구비되고,상기 카메라를 통해 감지된 영상신호를 근거로 상기 패턴롤이 길이방향으로 이동하는, 미세패턴롤을 제조하는 장치
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제8항에 있어서,상기 롤거치부는,상기 패턴롤이 고정되는 중심축바;상기 중심축바와 수직하고, 상기 중심축바의 길이방향 양측이 각각 삽입된 고정부재;상기 고정부재 하단에 위치되고, 상기 카메라를 통해 감지된 영상신호를 근거로 상기 고정부재를 상기 중심축바의 길이방향으로 이동시키는 좌우이동장치를 포함하는, 미세패턴롤을 제조하는 장치
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제6항에 있어서,상기 롤거치부에는,상기 패턴롤을 향해 상기 클리쉐 시트를 가압하는 가압롤러가 구비된, 미세패턴롤을 제조하는 장치
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제11항에 있어서,상기 가압롤러의 길이방향 양단에는 각각 개별적으로 구동하고, 상기 가압롤러와 상기 패턴롤과의 거리를 가감하는 압력생성장치가 구비된, 미세패턴롤을 제조하는 장치
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1 WO2017213370 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 창원대학교 산학협력단 산업부-국가연구개발사업(IV) 초발수 필름의 연속생산 기술개발 (1/1)
2 산업통상자원부 (주)피엔티 산업부-국가연구개발사업(III) 미세패턴/정밀중첩 패터닝이 가능한 롤투롤 연속 인쇄시스템 기술 개발 (1/4)
3 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 유연 클리쉐/기판 복합제어를 이용한 롤투롤 정밀 인쇄시스템 핵심기술 개발 (2/3)