맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

나노패턴을 가지는 금속층 제조방법

  • 기술번호 : KST2019026198
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예는 금속층에 형성되는 나노패턴을 균일하고 깨끗하게 제조할 수 있는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법을 제공한다. 여기서, 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법은 제1코팅단계, 제2코팅단계, 제1금속층 형성단계, 제1분리단계 그리고 제거단계를 포함한다. 제1코팅단계는 폴리머층에 형성되는 나노패턴의 상부에 보호층을 코팅한다. 제2코팅단계는 보호층의 상부에 전기도금을 위한 금속소재의 시드층을 코팅한다. 제1금속층 형성단계는 전기도금을 통해 시드층의 상부에 나노패턴에 대응되는 제1전사패턴을 가지는 제1금속층을 형성한다. 제1분리단계는 제1금속층, 시드층 및 보호층으로부터 폴리머층을 분리한다. 제거단계는 보호층 상에 잔존하는 잔존 폴리머를 제거한다. 보호층은 잔존 폴리머가 제거되는 과정에서 제1전사패턴이 손상되는 것을 방지하도록 제1금속층을 보호한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/288 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/56 (2006.01.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020180061151 (2018.05.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0135756 (2019.12.09) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.05.29)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 권순근 경기도 성남시 분당구
2 김영진 대전광역시 대덕구
3 임형준 대전광역시 유성구
4 김기홍 대전 서구
5 최기봉 대전광역시 유성구
6 이재종 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0526763-24
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2019.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0129960-15
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0137650-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0888021-47
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-0132767-80
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.02.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0132768-25
8 등록결정서
Decision to grant		 2020.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0335074-55
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폴리머층에 형성되는 나노패턴의 상부에 보호층을 코팅하는 제1코팅단계; 상기 보호층의 상부에 전기도금을 위한 금속소재의 시드층을 코팅하는 제2코팅단계; 전기도금을 통해 상기 시드층의 상부에 상기 나노패턴에 대응되는 제1전사패턴을 가지는 제1금속층을 형성하는 제1금속층 형성단계; 상기 제1금속층, 상기 시드층 및 상기 보호층으로부터 상기 폴리머층을 분리하는 제1분리단계;상기 보호층 상에 잔존하는 잔존 폴리머를 제거하는 제거단계; 전기도금을 통해 상기 보호층의 상부에 상기 제1전사패턴에 대응되는 제2전사패턴을 가지는 제2금속층을 형성하는 제2금속층 형성단계; 그리고 상기 보호층으로부터 상기 제2금속층을 분리하는 제2분리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 보호층은 실리콘(Si)을 포함하는 무기질 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 폴리머층은 PMMA(폴리메틸 메타크릴레이트), PC(폴리카보네이트), PET(폴리에틸렌 테레프타레이트) 중 어느 하나의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 시드층은 구리(Cu)를 포함하는 전기전도성 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1금속층은 니켈(Ni) 또는 구리(Cu) 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 보호층은 상기 잔존 폴리머가 제거되는 과정에서 상기 제1전사패턴이 손상되는 것을 방지하도록 상기 제1금속층을 보호하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 보호층은 제1두께로 형성되고, 상기 시드층의 상부에 상기 보호층이 코팅된 상태에서도 상기 보호층의 상부에 전기도금이 가능하도록, 상기 시드층은 상기 제1두께보다 두꺼운 제2두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 제2금속층은 니켈(Ni) 또는 구리(Cu) 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 경남테크노파크 산업부-국가연구개발사업(IV) 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축 (2/5)