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다수의 파장의 광신호를 순차적으로 스캐닝하여 파장에 따라 시간차를 두고 순차적으로 방출하는 파장가변 광원부;상기 파장가변 광원부로부터 전달된 광이 조사되어 측정하고자 하는 검사 대상으로부터 광이 반사되도록 검사 대상이 위치하는 시료부;상기 시료부로부터 전달된 광을 시간차를 두고 통과시켜 광경로를 순차적으로 스캐닝하여 변화시키는 색분산 광경로 변화부;상기 색분산 광경로 변화부로부터 전달된 광을 시간에 따라 파장 정보를 나누어 획득하는 감지부;를 포함하고,상기 감지부로부터 얻어진 서로 다른 초점 거리 상에서 검사 대상의 표면 구조의 변화에 따라 대응되게 변화하는 회절된 광의 패턴을 상기 파장가변 광원부로부터 방출된 광의 파장에 따라 스캐닝하여 측정하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정 기기
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다수의 파장의 광신호를 동시에 방출하는 다파장 광원부;상기 광원부로부터 전달된 광이 조사되고 측정하고자 하는 검사 대상으로부터 광이 반사되도록 검사 대상이 위치하는 시료부;상기 시료부로부터 전달된 광을 파장에 따라 광경로가 순차적으로 변화하도록 통과시키는 색분산 광경로 변화부;상기 색분산 광경로 변화부로부터 전달된 광의 선택 파장 영역만을 시간차를 두고 순차적으로 스캐닝하여 통과시키는 파장 필터부;상기 파장 필터부로부터 전달된 광을 시간에 따라 파장 정보를 나누어 획득하는 감지부;를 포함하고, 상기 감지부로부터 얻어진 서로 다른 초점 거리상에서 검사 대상의 표면 구조의 변화에 따라 대응되게 변화하는 회절된 광의 패턴을 상기 파장 필터부로부터 통과된 파장에 따라 스캐닝하여 측정하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정 기기
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제 2 항에 있어서, 상기 파장 필터부는 입사되는 광을 파장에 따라 시간차를 두고 통과시키는 패브리 페로 필터 또는 갈바노미터 필터 또는 광음향 필터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정기기
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다수의 파장의 광신호를 순차적으로 스캐닝하여 파장에 따라 시간차를 두고 순차적으로 방출하는 파장가변 광원부;상기 파장가변 광원부로부터 전달된 광의 일부를 반사시키는 분배부;상기 분배부로부터 전달된 광을 파장에 따라 시간차를 두고 통과시켜 광경로를 순차적으로 스캐닝하여 변화시키는 색분산 광경로 변화부;상기 색분산 광경로 변화부로부터 전달된 광이 조사되고 측정하고자 하는 검사 대상으로부터 광이 반사되도록 검사 대상이 위치하는 시료부;상기 시료부로부터 전달된 광을 시간에 따라 파장 정보를 나누어 획득하는 감지부;를 포함하고,상기 감지부로부터 얻어진 서로 다른 초점 거리 상에서 검사 대상의 표면 구조의 변화에 따라 대응되게 변화하는 회절된 광의 패턴을 상기 파장가변 광원부로부터 방출된 광의 파장에 따라 스캐닝하여 측정하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정 기기
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제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 다수의 파장의 광신호를 순차적으로 스캐닝하여 방출하는 파장가변 광원부는,공진하는 광이 패브리 페로 필터 또는 갈바노미터 필터 또는 광음향 필터를 갖는 파장 필터부에 의하여 파장에 따라 시간차를 두고 순차적으로 방출되는 광원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정 기기
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제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 다수의 파장의 광신호를 순차적으로 스캐닝하여 방출하는 파장가변 광원부는,공진하는 광이 파장 별 공진 거리에 따라 달라지는 모드잠금 주파수 별로 스캐닝되는 전기신호의 주입에 의하여 파장에 따라 시간차를 두고 순차적으로 방출되는 광원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정 기기
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다수의 파장의 광신호를 동시에 방출하는 다파장 광원부;상기 광원부로부터 전달된 광의 일부를 반사시키는 분배부;상기 분배부로부터 전달된 광을 파장에 따라 광경로가 순차적으로 변화하도록 통과시키는 색분산 광경로 변화부;상기 색분산 광경로 변화부로부터 전달된 광이 조사되고 측정하고자 하는 검사 대상으로부터 광이 반사되도록 검사 대상이 위치하는 시료부;상기 시료부로부터 전달된 광의 선택 파장 영역만을 시간차를 두고 순차적으로 스캐닝하여 통과시키는 파장 필터부;상기 파장 필터부로부터 전달된 광을 시간에 따라 파장 정보를 나누어 획득하는 감지부;를 포함하고, 상기 감지부로부터 얻어진 서로 다른 초점 거리 상에서 검사 대상의 표면 구조의 변화에 따라 대응되게 변화하는 회절된 광의 패턴을 상기 파장 필터부로부터 통과된 파장에 따라 스캐닝하여 측정하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정 기기
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제 8 항에 있어서, 상기 파장 필터부는 입사되는 광을 파장에 따라 시간차를 두고 통과시키는 패브리 페로 필터 또는 갈바노미터 필터 또는 광음향 필터로 이루어진 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정기기
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제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 5 항 또는 제 8 항에 있어서, 광학 영상 측정 기기는 기준 대상에서 시간에 따라 파장 정보를 나누어 측정된 패턴과 검사 대상에서 시간에 따라 파장 정보를 나누어 측정된 회절 산란된 광의 패턴을 상호 비교하여 표면 구조의 차이에 따른 결함 여부를 선별하는데 이용하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정기기
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제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 5 항 또는 제 8 항에 있어서, 광학 영상 측정 기기는 시뮬레이션을 통하여 파장 정보를 나누어 획득한 패턴과 검사 대상에서 시간에 따라 파장 정보를 나누어 측정된 회절 산란된 광의 패턴을 상호 비교하여 검사 대상의 표면 구조를 확인하는데 이용하는 것을 특징으로 하는 색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정기기
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