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진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템

  • 기술번호 : KST2015227918
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 부분 반사막과 측정 대상물의 직접 부착을 이용하여 진동 잡음 효과를 감쇄시켜 고해상도의 광학적 형상 측정시스템을 구현할 수 있도록 한 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템에 관한 것으로, 측정 대상물과 일정 거리 이격되도록 부착되는 기준신호 발생 수단을 갖고, 기준 신호와 측정 대상물의 각 경계면에서 반사되는 측정 신호가 동일한 진동과 잡음을 갖게 하여 기준 신호 및 측정 신호의 진동과 잡음이 서로 상쇄되도록 하는 광학 간섭계; 광학 간섭계에서 전달되는 광학 간섭 신호들을 이용하여 측정 대상물을 측정하는 수광부;를 포함한다.
Int. CL G01B 9/02 (2006.01) G01N 21/45 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110051431 (2011.05.30)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1243337-0000 (2013.03.07)
공개번호/일자 10-2012-0132991 (2012.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20130314) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.30)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창석 대한민국 부산광역시 남구
2 정명영 대한민국 부산광역시 금정구
3 박재석 대한민국 경상남도 김해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0403986-40
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0491574-74
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0699635-29
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1039270-43
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-1039268-51
6 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0125902-09
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2014-0110025-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광학 간섭계를 이용하여 측정 대상물을 측정하는 시스템에 있어서,공간 분리 부착 수단에 의해 상기 측정 대상물과 일정 거리 이격되는 기준신호 발생 수단을 갖고, 기준 신호와 상기 측정 대상물의 각 경계면에서 반사되는 측정 신호가 동일한 진동과 잡음을 갖게 하여 상기 기준 신호 및 측정 신호의 진동과 잡음이 서로 상쇄되도록 하는 광학 간섭계;상기 광학 간섭계에서 전달되는 광학 간섭 신호들을 이용하여 측정 대상물을 측정하는 수광부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기준신호 발생 수단은외부로부터 전달되는 광 신호 중 일부를 반사시켜 상기 기준 신호를 발생시키고, 상기 광 신호 중 나머지를 통과시켜 상기 측정 대상물의 외부 표면 또는 내부 표면들 중 적어도 하나의 경계면에서 반사되는 측정 신호를 발생시키기 위한 부분 반사막인 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 광학 간섭계는 상기 측정 대상물로 광을 출력하는 광 커플러를 더 포함하고, 상기 기준신호 발생 수단을 상기 광 커플러의 공간적 진동 경향 보다는 상기 측정 대상물의 공간적 진동 경향에 상대적으로 더 가까운 지점에 위치시키는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 공간 분리 부착 수단은 상기 기준신호 발생 수단과 측정 대상물을 직접 부착시키는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 공간 분리 부착 수단은 상기 기준신호 발생 수단을 상기 측정 대상물이 위치하는 받침대에 부착시키는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
7 7
광학 간섭계를 이용하여 측정 대상물을 측정하는 시스템에 있어서,공간 분리 부착 수단에 의해 상기 측정 대상물과 일정 거리 이격되는 기준신호 발생 수단을 갖고, 기준 신호와 상기 측정 대상물의 각 경계면에서 반사되는 측정 신호가 동일한 진동과 잡음을 갖게 하여 상기 기준 신호 및 측정 신호의 진동과 잡음이 서로 상쇄되도록 하는 광학 간섭계;상기 광학 간섭계에 의해 발생하는 광 경로 차이를 보정하기 위하여 광 간섭을 발생시키는 보조 간섭계;상기 광학 간섭계 및 보조 간섭계에서 전달되는 광학 간섭 신호들을 이용하여 측정 대상물을 측정하는 수광부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 기준신호 발생 수단은외부로부터 전달되는 광 신호 중 일부를 반사시켜 상기 기준 신호를 발생시키고, 상기 광 신호 중 나머지를 통과시켜 상기 측정 대상물의 외부 표면 또는 내부 표면들 중 적어도 하나의 경계면에서 반사되는 측정 신호를 발생시키기 위한 부분 반사막인 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 광학 간섭계는 상기 측정 대상물로 광을 출력하는 광 커플러를 더 포함하고, 상기 기준신호 발생 수단을 상기 광 커플러의 공간적 진동 경향 보다는 상기 측정 대상물의 공간적 진동 경향에 상대적으로 더 가까운 지점에 위치시키는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
10 10
제 7 항에 있어서, 상기 공간 분리 부착 수단은 상기 기준신호 발생 수단과 측정 대상물을 직접 부착시키거나, 상기 측정 대상물이 위치하는 받침대와 기준신호 발생 수단을 부착시키는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
11 11
제 7 항에 있어서, 상기 보조 간섭계는,상기 기준 신호와 측정 신호의 광 경로 차이가 광원의 가간섭거리 보다 큰 경우에 추가로 광 경로 차이를 보정하여 간섭을 일으키도록 하는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
12 12
광학 간섭계를 이용하여 측정 대상물을 측정하는 시스템에 있어서,일정 거리 이격되도록 상기 측정 대상물의 제 1 면에 부착되는 기준신호 발생 수단을 갖고, 기준 신호와 상기 측정 대상물의 각 경계면에서 반사되는 측정 신호가 동일한 진동과 잡음을 갖게 하여 상기 기준 신호 및 측정 신호의 진동과 잡음이 서로 상쇄되도록 하는 제 1 광학 간섭계;상기 측정 대상물의 제 1 면의 반대쪽인 제 2 면 쪽에 구성되어 광원으로부터 전달되는 광 신호를 측정 대상물의 제 2 면에 조사하는 제 2 광학 간섭계; 및상기 제 1,2 광학 간섭계에서 전달되는 광학 간섭 신호들을 이용하여 측정 대상물을 측정하는 수광부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
13 13
광학 간섭계를 이용하여 측정 대상물을 측정하는 시스템에 있어서,상기 측정 대상물의 제 1 면 쪽에 구성되어 광원으로부터 전달되는 광 신호를 상기 측정 대상물의 제 1 면에 조사하는 제 1 광학 간섭계;상기 측정 대상물의 제 1 면의 반대쪽인 제 2 면 쪽에 구성되어 광원으로부터 전달되는 광 신호를 측정 대상물의 제 2 면에 조사하는 제 2 광학 간섭계; 및상기 제 1,2 광학 간섭계에서 전달되는 광학 간섭 신호들을 이용하여 측정 대상물을 측정하는 수광부;를 포함하고,상기 제 1 광학 간섭계에서 광 신호가 조사되는 상기 측정 대상물의 제 1 면 및 제 2 광학 간섭계에서 광 신호가 조사되는 상기 측정 대상물의 제 2 면이 광학 간섭을 일으키는 기준신호 발생 수단으로 이용되고,상기 제 1,2 광학 간섭계에서 출력되는 광학 간섭 신호들이 측정 과정에서 동일한 진동과 잡음을 갖게 하여 각 광학 간섭 신호들의 진동 및 잡음이 서로 상쇄되도록 하는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
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광학 간섭계를 이용하여 측정 대상물을 측정하는 시스템에 있어서,상기 측정 대상물의 제 1 면 쪽에 구성되어 광원으로부터 전달되는 광 신호를 상기 측정 대상물의 제 1 면에 조사하는 제 1 광학 간섭계;상기 측정 대상물의 제 1 면의 반대쪽인 제 2 면 쪽에 구성되어 광원으로부터 전달되는 광 신호를 측정 대상물의 제 2 면에 조사하는 제 2 광학 간섭계;상기 제 1,2 광학 간섭계에 의해 발생하는 광 경로 차이를 보정하기 위하여 광 간섭을 발생시키는 보조 간섭계; 및 상기 제 1,2 광학 간섭계 및 보조 간섭계에서 전달되는 광학 간섭 신호들을 이용하여 측정 대상물을 측정하는 수광부;를 포함하고,상기 제 1 광학 간섭계에서 광 신호가 조사되는 상기 측정 대상물의 제 1 면 및 제 2 광학 간섭계에서 광 신호가 조사되는 상기 측정 대상물의 제 2 면이 광학 간섭을 일으키는 기준신호 발생 수단으로 이용되고,상기 제 1,2 광학 간섭계에서 출력되는 광학 간섭 신호들이 측정 과정에서 동일한 진동과 잡음을 갖게 하여 각 광학 간섭 신호들의 진동 및 잡음이 서로 상쇄되도록 하는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
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제 13 항 및 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 광학 간섭계 및 상기 제2 광학 간섭계는 상기 측정 대상물로 광을 출력하는 광 커플러를 각각 포함하고, 상기 기준신호 발생 수단을 상기 광 커플러의 공간적 진동 경향 보다는 상기 측정 대상물의 공간적 진동 경향에 상대적으로 더 가까운 지점에 위치시키는 것을 특징으로 하는 진동 잡음 효과 감쇄 특성을 갖는 광학 간섭계 시스템
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 부산대학교 산학협력단 산업원천기술개발사업 고밀도 인쇄회로 기판용 Laser Direct Polymer Patterning 기술 개발