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스테이지 상에 적층되는 가공대상물을 가공하기 위해 레이저빔을 출력하는 레이저 발진기;상기 레이저 발진기에서 출력된 레이저빔을 상기 가공대상물의 가공예정면을 향해 전달하는 광학계;상기 광학계로부터 전달된 레이저빔을 집속하여 상기 가공예정면에 레이저초점을 형성하고, 상기 레이저초점의 직경을 조절하는 개구수 조절부; 및상기 가공예정면 중 제1해상도를 가지는 제1영역에는 상기 레이저초점이 제1직경을 갖도록 하고, 상기 가공예정면 중 상기 제1해상도보다 낮은 제2해상도를 가지는 제2영역에는 상기 레이저초점이 상기 제1직경보다 큰 제2직경을 갖도록 상기 개구수조절부를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 제어부는, 상기 가공예정면의 제1영역을 가공할 경우 레이저빔의 출력을 제1출력으로 조절하고, 상기 가공예정면의 제2영역을 가공할 경우 레이저빔의 출력을 상기 제1출력보다 높은 제2출력으로 조절하여 상기 가공예정면에 형성되는 레이저초점의 에너지 밀도가 일정하게 유지되도록 상기 레이저 발진기를 제어하는 것을 특징으로 하는 가공속도가 향상된 3차원 구조물 가공장치
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제1항에 있어서,상기 개구수 조절부는, 개구수가 다른 복수의 대물렌즈와, 상기 복수의 대물렌즈 중 하나를 상기 광학계로부터 전달되는 레이저빔의 광축에 정렬시키는 대물렌즈 교체유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 가공속도가 향상된 3차원 구조물 가공장치
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제2항에 있어서,상기 제어부는, 상기 가공예정면의 제1영역을 가공할 경우 제1개구수를 갖는 제1대물렌즈가 상기 레이저빔의 광축에 정렬되도록 상기 대물렌즈 교체유닛을 제어하고, 상기 가공예정면의 제2영역을 가공할 경우 상기 제1개구수보다 낮은 제2개구수를 갖는 제2대물렌즈를 상기 레이저빔의 광축에 정렬되도록 상기 대물렌즈 교체유닛을 제어하는 것을 특징으로 하는 가공속도가 향상된 3차원 구조물 가공장치
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제1항에 있어서,상기 개구수 조절부는, 상기 광학계로부터 전달되는 레이저빔의 광축에 정렬되어 상기 레이저빔을 상기 가공예정면에 집광시키는 대물렌즈와, 가변면적의 개구를 가지고 상기 광학계와 상기 대물렌즈 사이에 배치되어 상기 대물렌즈에 의해 집광된 레이저빔을 제한적으로 통과시키는 가변조리개를 구비하고,상기 레이저초점의 직경은, 상기 가변조리개의 개구면적에 반비례하여 조절되는 것을 특징으로 하는 가공속도가 향상된 3차원 구조물 가공장치
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제5항에 있어서,상기 제어부는, 상기 가공예정면의 제1영역을 가공할 경우 상기 가변조리개가 제1개구면적을 갖도록 하고, 상기 가공예정면의 제2영역을 가공할 경우 상기 가변조리개가 상기 제1개구면적보다 작은 제2개구면적을 갖도록 상기 개구수 조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 가공속도가 향상된 3차원 구조물 가공장치
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