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자극이 가해지는 자극면을 구비하고, 플렉서블(flexible)한 소재로 마련되는 탄성체;상기 탄성체에 수용되며, 상기 자극면에 가해지는 자극에 의하여 상기 탄성체의 부피변화시 전기신호를 발생시키는 복수 개의 압전박막부;상기 압전박막부로부터 발생하는 전기신호를 제공받아 상기 탄성체에 가해지는 자극을 산출하는 자극 산출부;상기 복수 개의 압전박막부와 상기 자극면의 사이에 배치되고, 상기 자극면에 가해지는 자극을 상기 압전박막부에 전달하는 범프부;를 포함하고,상기 자극 산출부는,상기 압전박막부로부터 발생하는 전기신호를 분석하여 상기 자극면에 가해지는 외력을 산출하는 외력 산출부; 및 상기 탄성체 또는 상기 압전박막부의 열변형에 의하여 발생하는 전기신호를 분석하여 상기 자극면의 온도변화를 산출하는 온도변화 산출부;를 포함하며,상기 복수 개의 압전박막부는 상기 범프부의 모서리의 하방에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 모듈
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청구항 1에 있어서,상기 탄성체는 상기 범프부보다 탄성계수가 작은 소재로 마련되는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 모듈
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청구항 4에 있어서,상기 외력 산출부는,상기 복수 개의 압전박막부로부터 발생하는 전기신호를 분석하여 탄성체가 압축 또는 팽창되는지 여부를 판단함으로써, 상기 자극면에 가해지는 외력의 방향을 산출하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 모듈
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청구항 1의 촉각 센서 모듈을 복수개 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 어레이
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웨이퍼, 희생층 및 제1 수지층을 포함하는 기판부를 준비하는 기판부 준비단계;상기 기판부 상에 압전박막부를 형성하는 압전박막부 형성단계;상기 압전박막부를 감싸도록 상기 기판부 상에 제2 수지층을 코팅하는 제2 수지층 코팅단계;범프부가 형성되도록 상기 제2 수지층을 패터닝하는 범프부 형성단계;탄성체를 형성하도록 상기 제2 수지층 상에 플렉서블한 제3 수지층을 코팅하는 탄성체 형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 모듈 제조방법
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청구항 9에 있어서,상기 압전박막부 형성단계는,상기 기판부 상에 제1 전극을 형성하는 제1 전극 형성단계; 상기 제1 전극 상에 압전층을 증착하는 압전층 증착단계; 상기 압전층 상에 제2 전극을 형성하는 제2 전극 형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 모듈 제조방법
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청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,상기 기판부 준비단계는, 상기 웨이퍼 상에 희생층을 형성하는 희생층 형성단계; 상기 희생층 상에 제1 수지층을 코팅하는 제1 수지층 코팅단계;를 포함하고,상기 범프부 형성단계 이후에 상기 희생층을 희생함으로써 상기 제1 수지층으로부터 상기 웨이퍼를 박리하는 박리단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 모듈 제조방법
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청구항 11에 있어서,상기 희생층 형성단계에서는 상기 웨이퍼 상에 습식 산화공정으로 실리콘 산화물을 형성하고,상기 제1 수지층 코팅단계에서는 상기 실리콘 산화물 상에 패럴린(Parylene)을 코팅하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서 모듈 제조방법
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