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고체소재를 용융시켜 용융소재로 형성하는 용융소재 공급유닛;피도금부재가 내부에서 이동하게 구비되며, 상기 용융소재 공급유닛의 용융용기부가 내부에 제공되는 진공챔버유닛; 및상기 진공챔버유닛의 내부에 제공되며, 상기 용융용기부와 연결되고, 상기 용융소재를 가열하여 형성된 증기소재를 상기 피도금부재로 분사하여 코팅하는 증기분사유닛;을 포함하며, 상기 증기분사유닛은,상기 진공챔버유닛의 내부에 구비되는 증발용기;상기 증발용기에 구비되어, 상기 용융소재를 가열하여 증발시키는 증발가열수단; 및일단부는 상기 용융용기부에 형성된 배출구와 연통되며, 타단부는 상기 증발용기의 내부로 연장되게 연결되어, 상기 용융용기부에서 상기 증발용기로 전달된 상기 용융소재에 침지되게 구비되는 연결관;을 포함하는 건식코팅장치
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제1항에 있어서,상기 용융소재 공급유닛은,고체소재가 제공되는 원료공급부;상기 원료공급부와 연결되며, 상기 고체소재를 용융시켜 용융소재로 형성 후에 외부로 배출하는 용융용기부; 및상기 원료공급부와 연결되는 상기 용융용기부의 공급영역과 외부로 용융소재를 배출하는 상기 용융용기부의 배출영역 사이에 구비되어, 상기 용융소재만이 상기 배출영역으로 이동되게 제공되는 격벽부;를 포함하는 건식코팅장치
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제2항에 있어서,상기 격벽부는, 상기 용융용기부의 일측인 상기 공급영역과 상기 용융용기부의 타측인 상기 배출영역 사이에 구비되어, 상기 공급영역과 배출영역의 상단부를 격리하는 벽부재; 및상기 벽부재의 하단부에 구비되는 관통홀;을 포함하는 건식코팅장치
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제2항에 있어서,상기 용융용기부는,일측에는 상기 원료공급부와 연결되는 공급구가 형성되고, 타측에는 외부로 용융소재를 배출하는 배출구가 형성된 용기부재; 및상기 용기부재에 구비되어, 상기 고체소재를 용융시키는 용융가열수단;을 포함하는 건식코팅장치
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제4항에 있어서,상기 용융용기부는,상기 용기부재에 구비되며, 상기 공급구가 구비되는 상기 용기부재의 공급영역의 내부압력보다 상기 배출구가 구비되는 상기 용기부재의 배출영역의 내부압력을 저압으로 조정하는 압력조정수단;을 포함하는 건식코팅장치
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제2항에 있어서,상기 원료공급부는,상기 고체소재가 제공되는 원료저장소; 및상기 원료저장소와 상기 용융용기부를 연결하게 구비되며, 상기 고체소재를 상기 용융용기부로 전달하는 게이트부재;를 포함하며,상기 게이트부재는,상기 용융용기부와 연결되는 상기 원료저장소의 하단부에 구비되는 게이트밸브; 및상기 게이트밸브와 상기 용융용기부 사이에 구비되어 상기 고체소재를 전달하는 스크류무버;를 포함하는 건식코팅장치
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제6항에 있어서,상기 원료공급부는,상기 고체소재가 공급되는 상기 원료저장소의 상단입구에 구비되는 입구밸브; 및상기 원료저장소에 구비되어 상기 원료저장소 내부를 진공환경으로 조성하는 압력조절펌프;를 포함하는 건식코팅장치
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제1항에 있어서,상기 증기분사유닛은,상기 연결관을 감싸게 구비되어 상기 연결관을 가열하는 관가열수단;을 포함하는 건식코팅장치
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