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진공 증착장치

  • 기술번호 : KST2019040491
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요약 본 발명은, 기판이 내재되거나 연속강판이 통과하는 진공 쳄버;와, 상기 진공 쳄버에 제공되고 원료가 공급되고 가열되면서 용융원료가 저장되고 상기 기판이나 강판을 향하여 원료증기를 발생시키는 도가니; 및 상기 도가니에 원료를 공급하며, 이중관 구조의 원료 공급관을 구비하는 원료 공급장치;를 포함하되, 상기 이중관 구조의 원료 공급관은, 원료를 상기 도가니에 공급하는 제1 관과 상기 제1관의 적어도 일부를 포위하면서 상기 도가니의 용융원료 탕면에 침지되어 적어도 원료 투입영역과 원료 증발영역을 분리시키는 제2관을 포함하는 진공 증착장치를 제공한다.이와 같은 본 발명에 의하면, 기판이나 연속 강판과 같은 코팅 대상물의 진공 증착시 원료의 연속 공급을 가능하게 하면서 특히, 증발 증기의 오염을 줄이고 증착성은 높이는, 개선된 효과를 얻는다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01.01) C23C 14/56 (2006.01.01)
CPC C23C 14/246(2013.01) C23C 14/246(2013.01) C23C 14/246(2013.01) C23C 14/246(2013.01)
출원번호/일자 1020160177541 (2016.12.23)
출원인 주식회사 포스코
등록번호/일자 10-1940883-0000 (2019.01.15)
공개번호/일자 10-2018-0073961 (2018.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20190121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.23)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 엄문종 대한민국 전라남도 광양시 폭
2 남경훈 대한민국 전라남도 광양시 폭
3 이동열 대한민국 전라남도 광양시 폭
4 김태엽 대한민국 전라남도 광양시 폭

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-1266024-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0034152-16
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0347630-19
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0723112-43
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0723113-99
8 등록결정서
Decision to grant
2018.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0771409-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 내재되거나 연속강판이 통과하는 진공 쳄버;상기 진공 쳄버에 제공되고 원료가 공급되고 가열되면서 용융원료가 저장되고 상기 기판이나 강판을 향하여 원료증기를 발생시키는 도가니; 및 상기 도가니에 원료를 공급하며, 이중관 구조의 원료 공급관을 구비하는 원료 공급장치;를 포함하되,상기 이중관 구조의 원료 공급관은, 원료를 상기 도가니에 공급하는 제1 관과 상기 제1관의 적어도 일부를 포위하면서 상기 도가니의 용융원료 탕면에 침지되어 적어도 원료 투입영역과 원료 증발영역을 분리시키는 제2관을 포함하는 진공 증착장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 원료 공급장치는,상기 원료 공급관에 연계되는 가스 주입수단을 더 포함하는 진공 증착장치
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 원료 공급장치의 상기 원료 공급관은 적어도 원료 공급관 내부의 증기 배출을 용이토록 이중관 또는 분기관 구조로 제공되는 진공 증착장치
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 제2관은 상기 제1관의 외곽에서 상기 기판 또는 연속 강판을 향하여 신장되고 원료증기 배출구를 포함하는 진공 증착장치
8 8
제1항에 있어서,상기 제2관의 용융원료 탕면 침지부분인 하단부분은 상기 제1관 보다 확장된 진공 증착장치
9 9
제1항에 있어서, 상기 제2관의 용융원료 탕면 침지부분인 하단부분은 상기 제1관의 직경에 대응하는 진공 증착장치
10 10
제1항에 있어서,상기 원료 공급장치에 구비된 원료 공급관은 분기관 구조로 제공되는 진공 증착장치
11 11
제10항에 있어서, 상기 분기관 구조의 원료공급관은, 원료를 도가니에 공급하는 제3관과 상기 제3관에서 분기되면서 적어도 상기 기판이나 연속 강판을 향하여 신장되고 원료증기 배출구를 갖는 제4관을 포함하는 진공 증착장치
12 12
제11항에 있어서,상기 제3관과 제4관의 하단부분은 일체로 되어 용융원료 탕면에 침지되면서 적어도 원료 투입영역과 원료 증발영역을 분리시키는 진공 증착장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)포스코 WPM사업 Zn-Mg 및 Zn-free형 Al-Mg계 표면처리 강판 소재