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서로 다른 재질을 가지는 제1 기판과 제2 기판이 측면이 접착되어 서로 교번적으로 연장된 하이브리드 기판을 준비하는 단계;상기 제1 및 제2 기판들의 상면에 형성될 금속배선과 중첩되도록 상기 제1 및 제2 기판들의 상면을 상기 제1 및 제2 기판들의 높이보다 작은 깊이로 식각하여 트렌치를 형성하는 단계;상기 식각되지 않은 하이브리드 기판의 표면 중 상기 금속배선이 형성될 영역을 표면 처리하여 접착층으로 형성하는 단계;상기 접착층 상에 금속배선을 형성하는 단계; 및상기 접착층에 열을 제공하여 상기 금속배선을 상기 접착층에 접착시키는 단계를 포함하고, 상기 제1 기판은 유연성 및 신축성 재질을 가지는 기판이며, 상기 제2 기판은 강성 재질을 가지는 기판인 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 트렌치를 형성하는 단계에서,상기 트렌치를 상기 제1 및 제2 기판들 각각에 서로 이격되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 트렌치를 형성하는 단계에서,상기 제1 및 제2 기판들에 형성된 상기 트렌치는 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 트렌치가 형성되는 영역은 상기 금속배선이 형성되는 영역보다 작은 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 표면 처리하는 단계에서,상기 하이브리드 기판의 표면에 열을 가하거나 화학적 처리를 수행하여 표면을 개질하는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속배선을 형성하는 단계에서, 상기 금속배선을, EHD 프린팅(electrohydrodynamic jet printing) 또는 레이저 리프팅(laser lifting)의 비접촉식 인쇄방식으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 레이저 리프팅으로 상기 금속 배선을 형성하는 단계에서, 투명 기판 상에 희생층(sacrificial layer) 및 전사재료를 증착시킨 전사재료층을 차례로 형성하는 단계; 상기 희생층 및 상기 전사재료층이 형성된 상기 투명 기판을 상기 하이브리드 기판과 대향되도록 위치시키는 단계; 및상기 하이브리드 기판을 향하는 방향으로 레이저를 빔을 주사하여 상기 희생층을 증발시키고 상기 전사재료를 상기 하이브리드 기판의 상면으로 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 접착층에 열을 제공하는 단계에서,상기 하이브리드 기판의 상부 또는 하부에서 상기 접착층에 열을 제공하는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 접착층에 제공되는 열은, 면광원 또는 레이저 빔을 통해 제공되는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속배선이 형성된 상기 하이브리드 기판의 상부에 몰딩부를 형성하는 단계를 더 포함하는 유연 기판의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 몰딩부는 유연성 및 신축성 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 기판의 제조방법
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제1항의 유연 기판의 제조방법으로 제조되며, 상기 금속배선이 형성된 상기 하이브리드 기판의 상부는 몰딩부로 밀봉되는 것을 특징으로 하는 유연 기판
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