| 1 |
1
예비 펠리클 구조체를 준비하는 단계;상기 예비 펠리클 구조체를 식각 용액 내에 제공하여, 상기 예비 펠리클 구조체를 식각하는 단계; 및식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 식각 용액으로부터 꺼내는 동시에 식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 열처리 건조하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서, 상기 식각 용액은, 제1 온도의 제1 영역; 및상기 제1 온도보다 높은 제2 온도의 제2 영역을 포함하고, 상기 예비 펠리클 구조체를 식각하는 단계는, 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 제1 영역에서 1차 식각하는 단계; 및상기 1차 식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 제2 영역에서 2차 식각하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 3 |
3
제2 항에 있어서, 상기 예비 펠리클 구조체는 제1 시간 동안 상기 1차 식각되고, 상기 제1 시간보다 짧은 제2 시간동안 상기 2차 식각되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 4 |
4
제2 항에 있어서, 상기 제1 영역은, 상기 제2 영역 아래에 제공되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 5 |
5
제2 항에 있어서, 상기 제2 영역에서 상기 2차 식각된 상기 예비 펠리클 구조체가, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이를 왕복 이동하여, 식각된 상기 예비 펠리클 구조체 상의 식각 잔여물을 제거하는 단계를 더 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 6 |
6
제2 항에 있어서, 상기 식각 용액은, 상기 제1 온도보다 낮은 제3 영역을 포함하고, 상기 2차 식각된 상기 예비 펠리클 구조체는 상기 제3 영역으로 이동하여, 3차 식각되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 7 |
7
제6 항에 있어서, 상기 제3 영역은 상기 제2 영역 상에 제공되는 것을 포함하고, 상기 예비 펠리클 구조체는, 상기 제3 영역에서 상기 3차 식각된 직후, 열처리 건조되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 8 |
8
제6 항에 있어서, 상기 제1 영역 내지 상기 제3 영역 사이에, 온도 차이에 의한, 상기 식각 용액의 대류 현상이 발생하는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 9 |
9
제1 항에 있어서, 상기 식각 용액은 식각 용기 내에 제공되고, 상기 식각 용기의 입구에 배치된 외부 열원부를 이용하여 식각된 상기 예비 펠리클 구조체가 열처리 건조되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법
|
| 10 |
10
예비 펠리클 구조체를 식각하는 식각 용액이 제공되는 식각 용기;상기 식각 용액 내에 제공되어, 상기 식각 용액의 온도를 제어하는 내부 열원부; 및상기 식각 용기의 입구에 배치되어, 식각된 상기 예비 펠리클 구조체가 상기 식각 용액으로부터 꺼내지는 동시에 식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 열처리 건조하는 외부 열원부를 포함하는 펠리클 제조 장치
|
| 11 |
11
제10 항에 있어서, 상기 내부 열원부는, 상기 식각 용기의 하단에 제공되고, 제1 온도의 상기 식각 용액을 갖는 제1 영역을 생성하는 제1 내부 열원부; 및상기 제1 내부 열원부 상에 제공되고, 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도의 상기 식각 용액을 갖는 제2 영역을 생성하는 제2 내부 열원부를 포함하는 펠리클 제조 장치
|
| 12 |
12
제11 항에 있어서, 상기 내부 열원부는, 상기 제2 내부 열원부 상에 제공되고, 상기 제1 온도보다 낮은 제3 온도의 상기 식각 용액을 갖는 제3 영역을 생성하는 제3 내부 열원부를 더 포함하는 펠리클 제조 장치
|
| 13 |
13
제10 항에 있어서, 상기 예비 펠리클 구조체와 체결되고, 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 식각 용액 내에서 이동시키는 승강 모듈을 더 포함하는 펠리클 제조 장치
|
