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전기 화학적 마이그레이션 방지 첨가제 및 이를 이용한 전기 화학적 마이그레이션을 방지하는 방법

  • 기술번호 : KST2020003791
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 배선의 전기 화학적 마이그레이션 방지 첨가제에 관한 것이고, 이러한 방지 첨가제를 이용하여 배선의 전기 화학적 마이그레이션을 방지하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서 제안하는 ECM 방지 첨가제를 첨가한 용액을 기존의 용액과 비교하였을 때 수지상정의 생성을 억제함으로써 ECM time이 길어지는 것을 확인할 수 있었다. 본 발명에서 제안하는 첨가제를 반도체 등을 패키징(packaging)할 때 사용되는 Epoxy Molding Compound(EMC)나 Underfill 등의 고분자 물질에 혼합하여 사용하거나, 금속 배선에 첨가함으로써 반도체 소자의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL H05K 3/28 (2006.01.01)
CPC H05K 3/282(2013.01) H05K 3/282(2013.01)
출원번호/일자 1020180114868 (2018.09.27)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0035607 (2020.04.06) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.27)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정구 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0953267-94
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0128143-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0834440-65
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0036019-27
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0036020-74
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0210200-70
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0516936-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0516920-76
10 등록결정서
Decision to grant
2020.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0458425-84
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Ascorbic acid (C6H8O6), Carbohydrazide ((N2H3)2CO), Hydroquinone (C6H4-1,4-(OH)2), Sodium sulfite (Na2SO3), Potassium sulfite (K2SO3), Sodium bisulfite (NaHSO3), Potassium bisulfite (KHSO3), Sodium metabisulfite (Na2S2O5), Ammonium bisulfate ((NH4)HSO4), Diethylhydroxylamine (DEHA, (C2H5)2NOH), Isopropylhydroxylamine (C3H9NO) 중 적어도 하나를 포함하고,배선 간의 수지 상정의 생성을 방지하도록 O2를 제거하며,상기 첨가제에 의해 하기 반응식에 따른 배선에서의 전기 화학적 마이그레이션에서의 음극 반응을 억제하는,O2+2H2O+4e- → 4OH-배선의 전기 화학적 마이그레이션 방지 첨가제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 따른 배선의 전기 화학적 마이그레이션 방지 첨가제를 포함한, 에폭시 몰딩 화합물(Epoxy Molding Compound(EMC)
5 5
제 1 항에 따른 배선의 전기 화학적 마이그레이션 방지 첨가제를 포함한, 언더필(Underfill) 물질
6 6
제 1 항에 따른 배선의 전기 화학적 마이그레이션 방지 첨가제를 포함한, 금속 배선
7 7
Ascorbic acid (C6H8O6), Carbohydrazide ((N2H3)2CO), Hydroquinone (C6H4-1,4-(OH)2), Sodium sulfite (Na2SO3), Potassium sulfite (K2SO3), Sodium bisulfite (NaHSO3), Potassium bisulfite (KHSO3), Sodium metabisulfite (Na2S2O5), Ammonium bisulfate ((NH4)HSO4), Diethylhydroxylamine (DEHA, (C2H5)2NOH), Isopropylhydroxylamine (C3H9NO) 중 적어도 하나를 포함하는 배선의 전기 화학적 마이그레이션 방지 첨가제를 준비하는 단계; 및상기 준비된 방지 첨가제를 패키징 물질 또는 에폭시 몰딩 화합물(Epoxy Molding Compound(EMC)에 혼합하여 배선의 몰딩에 이용하는 단계를 포함하고,상기 첨가제는 배선 간의 수지 상정의 생성을 방지하도록 O2를 제거하며,상기 첨가제에 의해 하기 반응식에 따른 금속 배선에서의 전기 화학적 마이그레이션에서의 음극 반응을 억제하는,O2+2H2O+4e- → 4OH-배선의 전기 화학적 마이그레이션을 방지하는 방법
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9 9
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1 US20200102430 US 미국 FAMILY

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1 US2020102430 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 차세대 공학연구자 육성사업 Smart Vehicle 분야 차세대 공학연구자 육성 사업단