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기계적 특성이 우수하며 높은 통기도를 갖는 이중 기공 액상소결 탄화규소 다공체 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020004467
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이중 기공 구조의 탄화규소 다공체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 알루미늄(Al), 규소(Si), 이트륨(Y) 및 이들의 조합으로부터 선택된 원소를 포함하는 소결조제; 및 평균 입도가 다른 두 가지의 탄화규소를 포함하는 이중 기공 구조의 탄화규소 다공체 및 그 제조방법을 제공하는 것이 특징이다.
Int. CL C04B 38/00 (2006.01.01) C04B 35/565 (2006.01.01) C04B 35/63 (2006.01.01)
CPC C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01) C04B 38/0064(2013.01)
출원번호/일자 1020180131152 (2018.10.30)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-2124783-0000 (2020.06.15)
공개번호/일자 10-2020-0048735 (2020.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20200622) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.30)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박상환 서울특별시 성북구
2 윤성일 서울특별시 성북구
3 염미래 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-1074588-39
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.12.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.02.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0008743-04
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0112369-00
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0434892-84
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0434905-90
7 등록결정서
Decision to grant
2020.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0403489-17
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번호 청구항
1 1
탄화규소; 및산화알루미늄(Al2O3), 산화규소(SiO2) 및 산화이트륨(Y2O3)을 함유하는 소결조제; 를 포함하고,상기 탄화규소는 평균 입도가 5㎛ 내지 49㎛인 제1 탄화규소; 및평균 입도가 50㎛ 내지 240㎛인 제2 탄화규소; 를 포함하고,상기 제1 탄화규소를 포함하는 여과층; 및상기 제2 탄화규소를 포함하는 지지층을 포함하고,상기 소결조제의 평균 입도가 상기 제1 탄화규소 평균 입도의 0
2 2
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3 3
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4 4
제1항에 있어서,상기 소결조제는산화알루미늄 25중량% 내지 70중량%;산화규소 5중량% 내지 25중량%; 및산화이트륨 10중량% 내지 35중량%; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체
5 5
제1항에 있어서,상기 탄화규소 및 상기 소결조제의 부피비는 70:30 내지 95:5인 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체
6 6
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7 7
제1항에 있어서,상기 탄화규소는 입자의 형태로 골재를 형성하고,골재를 형성하는 상기 탄화규소 입자 간 계면에는 유리질 형태의 소결조제를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체
8 8
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9 9
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10 10
제1항에 있어서,상기 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 기공률이 35%이상이고,3점 굽힘 강도가 20㎫ 이상인 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체
11 11
제1항에 있어서,상기 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 기공률이 35%이상이고,통기도가 15L/min/cm2 이상인 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체
12 12
제1항에 있어서,상기 지지층 및 상기 여과층의 계면에서 여과층에 포함된 제1 탄화규소 입자가 지지층의 기공에 유입되지 않고,상기 지지층의 모든 부위에서 기공구조 및 기공율이 동일한 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체
13 13
산화알루미늄(Al2O3), 산화규소(SiO2) 및 산화이트륨(Y2O3)을 포함하는 소결조제를 준비하는 소결조제 준비단계;평균 입도 5㎛ 내지 49㎛인 제1 탄화규소 및 평균 입도 50㎛ 내지 240㎛인 제2 탄화규소를 준비하는 탄화규소 준비단계;상기 소결조제 5vol% 내지 30vol%와 상기 제1 탄화규소 70vol% 내지 95vol%를 혼합하여 제1 혼합분말을 제조하는 단계;상기 소결조제 5vol% 내지 30vol%와 상기 제2 탄화규소 70vol% 내지 95vol%를 혼합하여 제2 혼합분말을 제조하는 단계;상기 제1 혼합분말을 소정의 형상으로 성형하여 여과층을 제조하는 성형단계;상기 여과층 상에 제2 혼합분말을 성형하여 지지층을 형성하여 성형체를 제조하는 단계; 및1,400℃ 내지 1,500℃의 온도에서 상기 성형체를 소결하는 단계; 를 포함하고,상기 소결조제의 평균 입도가 상기 제1 탄화규소 평균 입도의 0
14 14
제13항에 있어서,상기 소결조제는 산화알루미늄 45중량% 내지 70중량%, 산화규소 5중량% 내지 25중량% 및 산화이트륨 10중량% 내지 35중량%를 습식 또는 건식으로 혼합한 뒤 건조하여 준비하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 제조방법
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제13항에 있어서,성형단계에서 상기 여과층은 금형몰드를 이용하여 20㎫ 내지 90㎫의 제1차 압력으로 상기 제1 혼합분말을 일축 가압하여 제조하는 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 제조방법
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제17항에 있어서,성형체를 제조하는 단계에서 상기 지지층은 상기 성형된 여과층 상에 제2 혼합분말을 장입한 후 10㎫ 내지 80㎫의 제2차 압력을 가하여 형성하고,상기 제2차 압력은 상기 제1차 압력보다 작은 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 제조방법
19 19
제13항에 있어서,상기 제1 탄화규소, 제2 탄화규소 및 소결조제의 평균 입도를 조절하여 상기 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 기계적 강도, 통기도 및 평균 기공 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 제조방법
20 20
제13항에 있어서, 상기 소결조제의 함량, 상기 제1 탄화규소와 상기 제2 탄화규소의 평균 입도, 상기 지지층과 상기 여과층의 두께비 또는 소결 온도를 조절하여 상기 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 3점 굽힘 강도 또는 통기도를 조절하는 것을 특징으로 하는 이중 기공 구조 탄화규소 다공체의 제조방법
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1 산업통상자원부 (주)원익큐엔씨 세라믹스사업부 산업소재핵심기술개발 반도체 및 디스플레이 공정용 저항제어 대면적 세라믹 진공척 개발