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ITO 중간층을 포함하는 스커테루다이트 열전소재용 Ti 메탈라이징 구조과 그 형성 방법 및 ITO 중간층을 포함하여 Ti 메탈라이징된 스커테루다이트 열전소재와 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020009220
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Ti 메탈라이징층을 적용함에 있어서 금속화합물층이 얇아짐으로써 열전소자의 효율을 향상시킬 수 있는 메탈라이징 방법에 관한 것으로, Ti 포일의 표면에 ITO 중간층을 형성하는 중간층 형성 단계; 및 상기 ITO 중간층이 스커테루다이트 열전소재 측을 향하도록 Ti 포일을 스커테루다이트 열전소재의 표면에 접합하여 Ti 메탈라이징층을 형성하는 접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은, Ti 포일의 표면에 ITO 중간층을 형성한 뒤에 열전소재 분말을 소결함으로써, 소결과정의 상호 확산에 의해 형성되는 금속간화합물의 형성을 줄일 수 있는 효과가 있다. 또한, ITO 중간층에 의해서 고온에서 장시간 사용하는 과정에서 생성되는 금속간화합물을 줄여서, 열전소자의 수명을 늘려 경제성이 높아지는 효과가 있다.
Int. CL H01L 35/18 (2006.01.01) H01L 35/20 (2006.01.01) H01L 35/22 (2006.01.01) H01L 35/34 (2006.01.01)
CPC H01L 35/18(2013.01) H01L 35/18(2013.01) H01L 35/18(2013.01) H01L 35/18(2013.01)
출원번호/일자 1020180173552 (2018.12.31)
출원인 한국에너지기술연구원, 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0082705 (2020.07.08) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.31)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박상현 대전광역시 유성구
2 유충열 대전광역시 유성구
3 윤하나 대전광역시 유성구
4 조병진 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 천지 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 신한빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
2 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-1322622-01
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0068702-74
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0090116-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-0202300-58
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0247224-10
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2020-0459113-76
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0459114-11
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
15 등록결정서
Decision to grant
2020.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0515402-16
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Ti 포일의 표면에 ITO 중간층을 형성하는 중간층 형성 단계; 및상기 Ti 포일의 표면에 형성된 ITO 중간층이 스커테루다이트 열전소재 측을 향하도록 Ti 포일을 스커테루다이트 열전소재의 표면에 접합하여 Ti 메탈라이징층을 형성하는 접합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 Ti 메탈라이징층의 형성 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 접합 단계가, 스커테루다이트 열전소재의 분말을 소결하는 과정에서 ITO 중간층이 형성된 Ti 포일을 함께 장입하여, 스커테루다이트 열전소재 분말을 소결하는 것과 동시에 표면에 Ti 메탈라이징층이 형성되는 소결 단계에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 Ti 메탈라이징층의 형성 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 ITO 중간층의 두께가 500nm~1
4 4
청구항 1에 있어서,상기 중간층 형성 단계가 스퍼터링에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 Ti 메탈라이징층의 형성 방법
5 5
청구항 2에 있어서,상기 소결 단계가 600~700℃ 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 Ti 메탈라이징층의 형성 방법
6 6
스커테루다이트 열전소재의 표면에 형성되는 메탈라이징 구조로서,스커테루다이트 열전소재에 접하는 ITO 중간층; 및상기 ITO 중간층에 의해서 스커테루다이트 열전소재와 이격된 Ti 메탈라이징층을 포함하는 것을 특징으로 하는 스커테루다이트 열전소재용 Ti 메탈라이징 구조
7 7
청구항 6에 있어서,상기 ITO 중간층의 두께가 500nm~1
8 8
스커테루다이트 분말을 소결하여 스커테루다이트 열전소재를 제조하는 방법에 있어서,Ti 포일의 표면에 ITO 중간층을 형성하는 중간층 형성 단계; 및스커테루다이트 열전소재의 분말을 소결하는 소결 단계를 포함하며,상기 소결 단계에서, 스커테루다이트 열전소재의 분말과 ITO 중간층이 형성된 Ti 포일을 상기 ITO 중간층이 열전소재를 향하도록 함께 장입하여, 스커테루다이트 열전소재 분말을 소결하는 것과 동시에 표면에 Ti 메탈라이징층이 형성되는 것을 특징으로 하는 Ti 메탈라이징된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법
9 9
청구항 8에 있어서,상기 ITO 중간층의 두께가 500nm~1
10 10
청구항 8에 있어서,상기 중간층 형성 단계가 스퍼터링에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는 Ti 메탈라이징된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법
11 11
청구항 8에 있어서,상기 소결 단계가 600~700℃ 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 Ti 메탈라이징된 스커테루다이트 열전소재의 제조방법
12 12
표면에 메탈라이징층이 형성된 스커테루다이트 열전소재로서,상기 메탈라이징층이 Ti 재질의 메탈라이징층이고, Ti 메탈라이징층과 스커테루다이트 열전소재의 사이에 ITO 중간층이 위치하는 것을 특징으로 하는 Ti 메탈라이징된 스커테루다이트 열전소재
13 13
청구항 12에 있어서,상기 ITO 중간층의 두께가 500nm~1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국에너지기술연구원 주요사업(주,기본사업) 계면확산 방지형 중온열전모듈 개발
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 (EZBARO)유연 열전 반도체 소자기술 센터(2018)