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투명 전도성 산화물 박막으로서,금속층; 및상기 금속층의 양면 상에 적층된 투명 전도성 산화물층;을 포함하며,상기 투명 전도성 산화물층은 하기 [화학식 1]의 조성이고, 질소 도핑된 것인, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항에 있어서,상기 금속층의 금속은 Ag, Au, Cu, Pd, Pt, Ni, Al, Y, La, Mg, Ca, Fe, Pb, Zn, 또는 이들의 합금 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 금속을 포함하는, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물층은 질소 분압을 0
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제1항에 있어서,상기 금속층은 5-25 nm 두께 범위인, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물층은 20-80 nm 두께 범위인, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물 박막은 상기 투명 전도성 산화물층 상에 적층된 기판을 더 포함하며,상기 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리 에테르설폰, 또는 폴리 카보네이트 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 폴리머를 포함하는, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물 박막은 플렉서블 박막인, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물 박막은 10 Ω/□ 이하의 면저항(sheet resistance)을 갖는, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물 박막은 가시광선 영역에서 70 % 이상의 광 투과율을 갖는, 투명 전도성 산화물 박막
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 투명 전도성 산화물 박막을 투명 전극으로 포함하는, 전자 소자
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제10항에 있어서,상기 전자 소자는 태양전지, OLED, 터치 패널, 또는 LCD인, 전자 소자
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금속층의 양면 상에 투명 전도성 산화물층을 증착시키는 단계;를 포함하며,상기 투명 전도성 산화물층은 하기 [화학식 1]의 조성인, 투명 전도성 산화물 박막 제조방법
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제12항에 있어서,상기 증착 단계는 질소(N2); 및 아르곤(Ar) 또는 산소(O2) 중 하나 이상;을 포함하는 증착 가스 분위기에서 증착시키는 것인, 투명 전도성 산화물 박막 제조방법
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제13항에 있어서,상기 증착 가스는 질소 분압을 0
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제12항에 있어서,기판 상에서 금속층의 양면 상에 투명 전도성 산화물층을 증착시키는 것인, 투명 전도성 산화물 박막 제조방법
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제12항에 있어서,상기 증착은 물리적 기상 증착인, 투명 전도성 산화물 박막 제조방법
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