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실시간 정렬이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법

  • 기술번호 : KST2021000180
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시간 정렬이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법에서, 상기 미세패턴 롤 제작시스템은 스테이지, 패턴시트, 롤러, 측정유닛 및 제어부를 포함한다. 상기 스테이지는 제1 방향으로 이송된다. 상기 패턴시트는 상기 스테이지 상에 위치하며, 상면에 복수의 시트마크들이 형성된다. 상기 롤러는 표면에 복수의 롤러마크들이 형성되고, 회전함에 따라 상기 패턴시트가 상기 표면에 감긴다. 상기 측정유닛은 상기 패턴시트와 상기 롤러의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정한다. 상기 제어부는 상기 측정유닛의 측정정보를 바탕으로, 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 21/68 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67132(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 24/50(2013.01) H01L 24/79(2013.01) H01L 21/67259(2013.01) H01L 21/68(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 2224/95115(2013.01)
출원번호/일자 1020190076358 (2019.06.26)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0000991 (2021.01.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.06.26)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현태 대전광역시 유성구
2 권신 세종특별자치시 누리로 **,
3 이승현 대전광역시 유성구
4 김광영 대전광역시 유성구
5 김가을 경기도 광주시
6 석재영 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민태 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2019-0654848-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0175826-42
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0798167-84
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 방향으로 이송되는 스테이지; 상기 스테이지 상에 위치하며, 상면에 복수의 시트마크들이 형성된 패턴시트; 표면에 복수의 롤러마크들이 형성되고, 회전함에 따라 상기 패턴시트가 상기 표면에 감기는 롤러; 상기 패턴시트와 상기 롤러의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정하는 측정유닛; 및상기 측정유닛의 측정정보를 바탕으로, 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어하는 제어부를 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 측정유닛은, 상기 시트마크들을 촬영하는 제1 카메라; 상기 롤러마크들을 촬영하는 제2 카메라; 상기 패턴시트의 상면까지의 거리를 측정하는 제1 거리센서; 및상기 롤러의 표면까지의 거리를 측정하는 제2 거리센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
3 3
제2항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제1 및 제2 카메라들에서 촬영된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 수평방향의 위치를 제어하는 위치 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
4 4
제3항에 있어서, 상기 위치 제어부는, 상기 제1 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 수직방향의 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
5 5
제2항에 있어서, 상기 측정유닛은, 상기 제1 및 제2 카메라들, 및 상기 제1 및 제2 거리센서들이 고정되는 베이스부를 더 포함하며, 상기 베이스부는 상기 패턴시트의 상부에서 상기 제1 방향 또는 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
6 6
제5항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 베이스부가 상기 제2 방향으로 이송되며 상기 제1 카메라 또는 상기 제2 카메라에서 촬영된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제1 회전방향(θx)을 제어하는 회전 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
7 7
제6항에 있어서, 상기 회전 제어부는, 상기 베이스부가 상기 제2 방향으로 이송되며 상기 제2 거리센서에서 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제3 회전방향(θz)을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
8 8
제1항에 있어서, 상기 롤러의 양 측에 구비되어, 상기 롤러와 상기 패턴시트 사이의 압력을 측정하는 압력 측정부를 더 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템
9 9
제8항에 있어서, 상기 제어부의 회전 제어부는, 상기 압력 측정부의 측정된 정보를 바탕으로, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 제1 회전방향(θx)을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
10 10
제1항에 있어서, 상기 패턴시트를 냉각 또는 가열하는 가열부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 가열부를 제어하여 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
11 11
제1항에 있어서, 상기 패턴시트의 시작단에 인접하도록 위치한 제1 측정부, 및 상기 패턴시트의 끝단에 인접하도록 위치한 제2 측정부를 포함하는 초기위치 측정부를 더 포함하며, 상기 제1 및 제2 측정부들은 상기 패턴시트의 초기 위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
12 12
제1항에 있어서, 상기 스테이지의 상면에는 점착 필름이 형성되어, 상기 패턴시트를 상기 스테이지에 고정시키고, 상기 롤러의 표면에는 점착력을 갖는 블랭킷이 형성되어, 상기 패턴시트가 상기 스테이지로부터 상기 롤러로 전사되어 부착되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
13 13
제1항에 있어서, 상기 스테이지를 향하는 상기 패턴시트의 저면에 미세패턴들이 형성되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
14 14
제1항에 있어서, 상기 패턴시트는, 금속 재질 또는 폴리머 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
15 15
패턴시트를 스테이지에 초기 위치로 고정하는 단계; 상기 패턴시트의 시트마크의 위치를 측정하는 단계; 상기 패턴시트의 위치를 바탕으로 롤러를 초기 위치로 이동시키는 단계; 상기 스테이지가 제1 방향으로 이송되고 상기 롤러가 회전하면서, 상기 롤러에 패턴시트를 감는 단계; 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 정렬을 실시간으로 제어하는 단계; 및상기 패턴시트의 시작단과 끝단을 접합하는 단계를 포함하는 미세패턴 롤 제작방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 패턴시트를 접합하는 단계에서, 상기 시작단과 상기 끝단을 용접 또는 UV 레진 경화 방법으로 접합하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)피엔티 산업부-국가연구개발사업(III) 미세패턴/정밀중첩 패터닝이 가능한 롤투롤 연속 인쇄시스템 기술 개발 (5/5)
2 산업통상자원부 경남테크노파크 산업부-국가연구개발사업(IV) 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축 (3/5)