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실시간 장력제어를 이용한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법

  • 기술번호 : KST2021000181
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시간 장력제어를 이용한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법에서, 상기 미세패턴 롤 제작시스템은 패턴시트, 롤러, 고정유닛 및 장력유닛을 포함한다. 상기 패턴시트는 상면에 복수의 시트마크들이 형성된다. 상기 롤러는 회전함에 따라 상기 패턴시트의 시작단부터 표면에 감긴다. 상기 고정유닛은 상기 패턴시트의 끝단에서 상기 패턴시트를 고정한다. 상기 장력유닛은 상기 고정유닛에 연결되어, 상기 패턴시트가 상기 롤러의 표면에 감김에 따라 변화하는 상기 패턴시트의 장력을 측정 또는 제어한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 21/68 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67132(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 24/50(2013.01) H01L 24/79(2013.01) H01L 21/67259(2013.01) H01L 21/68(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 2224/95115(2013.01)
출원번호/일자 1020190076359 (2019.06.26)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0000992 (2021.01.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.06.26)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현태 대전광역시 유성구
2 권신 세종특별자치시 누리로 **,
3 이승현 대전광역시 유성구
4 김광영 대전광역시 유성구
5 김가을 경기도 광주시
6 우규희 경기도 고양시 일산동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민태 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2019-0654849-11
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0798168-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상면에 복수의 시트마크들이 형성된 패턴시트; 회전함에 따라 상기 패턴시트의 시작단부터 표면에 감기는 롤러; 상기 패턴시트의 끝단에서 상기 패턴시트를 고정하는 고정유닛; 및상기 고정유닛에 연결되어, 상기 패턴시트가 상기 롤러의 표면에 감김에 따라 변화하는 상기 패턴시트의 장력을 측정 또는 제어하는 장력유닛을 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 고정유닛 및 상기 장력유닛은, 상기 패턴시트가 상기 롤러에 감김에 따라 제1 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
3 3
제1항에 있어서, 상기 장력유닛은, 상기 패턴시트의 제1 방향으로의 장력을 측정하는 장력측정부; 및상기 장력측정부의 측정결과 또는 상기 패턴시트가 상기 롤러에 감기고 남은 길이를 바탕으로 상기 패턴시트에 인가되는 장력을 제어하는 장력제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
4 4
제1항에 있어서, 상기 고정유닛은, 상기 패턴시트의 끝단의 양 측을 제1 방향을 따라 각각 고정하는 제1 및 제2 고정부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
5 5
제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 고정부들 각각은, 상기 패턴시트를 상기 제1 방향으로 이동시키거나, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 이동시켜 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 정렬을 보정하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
6 6
제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 고정부들의 상기 제1 방향으로의 이동을 가이드하는 수평가이드, 및 상기 제1 및 제2 고정부들의 상기 제2 방향으로의 이동을 가이드하는 수직가이드를 포함하는 가이드부를 더 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템
7 7
제1항에 있어서, 상기 패턴시트의 시트마크들을 촬영하여, 상기 패턴시트와 상기 롤러 사이의 정렬을 판단하는 측정유닛을 더 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템
8 8
제7항에 있어서, 상기 롤러의 표면에는 복수의 롤러마크들이 형성되어, 상기 측정유닛은 상기 시트마크들과 상기 롤러마크들의 정렬을 판단하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
9 9
제7항에 있어서, 상기 고정유닛은, 상기 측정유닛에서의 판단 정보를 바탕으로 상기 패턴시트를 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동시키며, 상기 장력유닛은, 상기 측정유닛에서의 판단 정보를 바탕으로 상기 패턴시트에 인가되는 장력을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
10 10
제1항에 있어서, 상기 패턴시트가 상기 롤러의 표면에 감긴 상태에서, 상기 패턴시트를 상기 롤러에 점착시키는 점착유닛을 더 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템
11 11
제10항에 있어서, 상기 롤러의 표면에 레진(resin)을 코팅하는 코팅유닛을 더 포함하며, 상기 점착유닛은, 상기 레진의 상면에 상기 패턴시트가 위치한 상태에서, 상기 레진에 UV 광을 제공하여 상기 패턴시트를 상기 레진 상에 점착시키는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
12 12
제10항에 있어서, 상기 점착유닛은, 상기 롤러의 표면에 상기 패턴시트가 위치한 상태에서, 상기 패턴시트를 상기 롤러의 표면에 스폿(spot) 용접하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작시스템
13 13
제1항에 있어서, 상기 패턴시트가 상기 롤러에 감기기 전에, 상기 패턴시트의 시작단의 중앙에 위치하여 상기 패턴시트를 회전 가능하도록 고정시키는 피봇유닛을 더 포함하는 미세패턴 롤 제작시스템
14 14
패턴시트에 초기 장력을 인가하여 초기 위치로 고정하는 단계; 상기 패턴시트의 시트마크의 위치를 측정하는 단계; 상기 패턴시트의 위치를 바탕으로 롤러를 초기 위치로 이동시키는 단계; 상기 패턴시트가 제1 방향으로 이송되고 상기 롤러가 회전하면서, 상기 롤러에 상기 패턴시트를 감는 단계; 상기 패턴시트와 상기 롤러의 위치, 및 상기 패턴시트의 장력을 실시간으로 제어하는 단계; 및상기 패턴시트의 시작단과 끝단을 접합하는 단계를 포함하는 미세패턴 롤 제작방법
15 15
제14항에 있어서, 상기 패턴시트를 접합하는 단계에서, 상기 시작단과 상기 끝단을 용접 또는 UV 레진 경화 방법으로 접합하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 롤 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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