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기판;상기 기판 상에 형성되고 전도성 나노 입자를 포함하는 박막; 및상기 전도성 나노 입자를 둘러싸고 절연성 물질로 형성된 코팅부를 포함하며,상기 절연성 물질은 상기 전도성 나노 입자 간 터널링(tunneling) 거리를 증가시키는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제1항에 있어서,상기 절연성 물질은 실리카(SiO2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제1항에 있어서,상기 전도성 나노 입자는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 니켈(Ni), 텅스텐(W), 철(Fe) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제1항에 있어서,상기 고감도 스트레인 센서는 상기 전도성 나노 입자의 터널링 거리가 증가됨에 따라 상기 고감도 스트레인 센서의 저항 변화율이 증가하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제4항에 있어서,상기 고감도 스트레인 센서의 저항도(resistivity)는 8Ωcm 내지 477Ωcm인 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제4항에 있어서,상기 고감도 스트레인 센서의 게이지 팩터(gauge factor)는 71 내지 144인 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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7
제1항에 있어서,상기 박막은 상기 전도성 나노 입자가 제1 유기 리간드로 둘러싸여 있는 상태에서 상기 제1 유기 리간드가 제2 유기 리간드 또는 무기 리간드로 치환되면서 형성된 크랙(crack)을 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제7항에 있어서,상기 제1 유기 리간드는 8개 내지 18개의 탄소 사슬을 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제7항에 있어서,상기 제2 유기 리간드는 1개 내지 3개의 탄소 사슬을 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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10
제7항에 있어서,상기 제1 유기 리간드는 TOPO(trioctylphosphineoxide), 옥타데칸올(octadecanol) 및 올레익산(oleic acid) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제7항에 있어서,상기 제2 유기 리간드는 MPA(3-mercaptopropionic acid), EDT(1,2-ethanedithiol) 및 EDA(ethylenediamine) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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제7항에 있어서,상기 무기 리간드는 황 이온(S2-), 염소 이온(Cl-), 브롬 이온(Br-), 티오시안산 이온(SCN-), 아이오딘 이온(I-), 이황화물 이온(HS-), 텔루륨 이온(Te2-), 수산화 이온(OH-), 사불화붕산 이온(BF4-) 및 육불화인산 이온(PF6-) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서
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기판 상에 제1 유기 리간드로 둘러싸인 전도성 나노 입자를 포함하는 용액을 이용하여 박막을 형성하는 단계;제2 리간드 또는 무기 리간드가 분산된 리간드 치환 용액을 이용하여 상기 전도성 나노 입자의 제1 유기 리간드를 상기 제2 리간드 또는 상기 무기 리간드로 치환시키는 단계; 및절연성 물질을 포함하는 용액을 이용하여 상기 제2 리간드 또는 상기 무기 리간드로 치환된 전도성 나노 입자를 둘러싸는 코팅부를 형성하는 단계를 포함하며,상기 절연성 물질은 상기 전도성 나노 입자 간 터널링(tunneling) 거리를 증가시키는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 절연성 물질은 실리카(SiO2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 리간드 치환 용액은 MPA(3-mercaptopropionic acid), EDT(1,2-ethanedithiol) 및 EDA(ethylenediamine) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 리간드 치환 용액은 황 이온(S2-), 염소 이온(Cl-), 브롬 이온(Br-), 티오시안산 이온(SCN-), 아이오딘 이온(I-), 이황화물 이온(HS-), 텔루륨 이온(Te2-), 수산화 이온(OH-), 사불화붕산 이온(BF4-) 및 육불화인산 이온(PF6-) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 박막은 30분 내지 60분 동안 상기 절연성 물질을 포함하는 용액에 접촉되는 것을 특징으로 하는 고감도 스트레인 센서의 제조방법
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