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기판 상에 미경화 PDMS 박막을 형성하는 제1 단계;상기 미경화 PDMS 박막의 표면에 광열변환 나노입자 분산용액을 스프레이 분사한 후 상기 광열변환 나노입자를 상기 미경화 PDMS 박막 내부로 침투시키는 제2 단계; 및 상기 광열변환 나노입자를 내부에 포함하는 상기 미경화 PDMS 박막을 경화시켜 PDMS 복합체 박막을 형성하는 제3 단계를 포함하는, 초음파 발진체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 미경화 PDMS 박막은 상기 기판 상에 PDMS를 용매에 용해시킨 PDMS 용액을 드롭캐스팅 또는 스핀코팅의 방법으로 도포하여 형성된 것을 특징으로 하는, 초음파 발진체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 광열변환 나노입자는 크롬(Cr) 나노입자, 금(Au) 나노입자, 그래핀(Graphene) 플레이크, 탄소나노튜브(CNT), 탄소나노섬유(carbon nanofiber) 및 탄소나노재(carbon nanosoot)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 발진체의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 PDMS 복합체 박막은 상기 광열변환 나노입자들을 0
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제1항에 있어서,상기 PDMS 복합체 박막 상에 PDMS 용액을 도포하여 PDMS 피복층을 형성하는 제4 단계; 및 상기 PDMS 피복층을 경화시키는 제5 단계(S150)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 발진체의 제조방법
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DMS 박막층; 및상기 PDMS 박막층 내부에 분산된 CNT들을 포함하고,상기 CNT들은 상기 PDMS 박막층 전체 두께의 50 내지 90%의 영역에 뭉침(agglomeration)없이 고르게 분산 배치되고, 각 CNT 가닥들이 PDMS에 의해 둘러싸인 것을 특징으로 하는, 초음파 발진체
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PDMS 박막층; 및 상기 PDMS 박막층 내부에 분산된 CNT들을 포함하고, 상기 CNT들은 상기 PDMS 박막층 전체 두께의 50 내지 90%의 영역에 뭉침(agglomeration)없이 고르게 분산 배치되고, 각 CNT 가닥들이 PDMS에 의해 둘러싸인 초음파 발진체를 포함하는 의료 장치
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