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마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사를 위한 모기판 또는 임시 기판, 타겟 기판, 마이크로 LED 어레이, 마이크로 진공모듈 간의 배치 구조에 있어서,상기 배치 구조는,적색, 녹색, 청색 색상의 마이크로 LED 어레이가 형성된 각각의 모기판 또는 임시 기판; 및전사부재가 도포된 타겟 기판; 및상기 모기판 또는 임시 기판으로부터 마이크로 LED 어레이를 박리하는 마이크로 진공모듈;을 포함하고,상기 마이크로 진공모듈은 외부로 노출 형성된 복수의 흡착홀 및 상기 복수의 흡착홀을 서로 연통하게 하는 단일 또는 복수의 진공유로를 포함하고, 상기 복수의 흡착홀들 사이에는 각 흡착홀의 크기 이상의 간격을 유지하고,상기 마이크로 진공모듈은 상기 진공유로 중 일부 진공유로 및 상기 일부 진공유로에 종속된 흡착홀들에 진공을 형성하여 상기 마이크로 LED 어레이 중 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이를 상기 모기판 또는 임시기판으로부터 선택적으로 박리하고,상기 마이크로 진공모듈에 부착된 마이크로 LED 어레이를 상기 진공이 형성된 흡착홀들 중 일부 또는 전체의 진공을 해제하여 상기 타겟기판으로 선택적 또는 일괄적으로 릴리징하는 것을 특징으로 하는,배치 구조
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마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사를 위한 모기판 또는 임시 기판, 타겟 기판, 마이크로 LED 어레이, 마이크로 진공모듈 간의 배치 구조에 있어서,상기 배치 구조는,적색, 녹색, 청색 색상의 마이크로 LED 어레이가 형성된 각각의 모기판 또는 임시 기판; 및전사부재가 도포된 타겟 기판; 및상기 모기판 또는 임시 기판으로부터 마이크로 LED 어레이를 박리하는 마이크로 진공모듈;을 포함하고,상기 마이크로 진공모듈은 외부로 노출 형성된 복수의 흡착홀 및 상기 복수의 흡착홀을 서로 연통하게 하는 단일 또는 복수의 진공유로를 포함하고, 상기 복수의 흡착홀들 사이에는 각 흡착홀의 크기 이상의 간격을 유지하고,상기 마이크로 진공모듈은 상기 진공유로 및 상기 진공유로에 종속된 흡착홀들에 진공을 형성하여 상기 마이크로 LED 어레이중 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이를 상기 모기판 또는 임시기판으로부터 선택적 또는 일괄적으로 박리하고 상기 마이크로 진공모듈에 부착된 마이크로 LED 어레이를 상기 진공이 형성된 흡착홀들 중 일부 흡착홀들의 진공을 해제하여 상기 타겟기판으로 선택적으로 릴리징하는 것을 특징으로 하는,배치 구조
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마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사를 위한 모기판 또는 임시 기판, 타겟 기판, 마이크로 LED 어레이, 마이크로 진공모듈 간의 배치 구조에 있어서,상기 배치 구조는,적색, 녹색, 청색 색상의 마이크로 LED 어레이가 형성된 각각의 모기판 또는 임시 기판; 및전사부재가 도포된 타겟 기판; 및상기 모기판 또는 임시 기판으로부터 마이크로 LED 어레이를 박리하는 마이크로 진공모듈;을 포함하고,상기 마이크로 진공모듈은 외부로 노출 형성된 복수의 흡착홀 및 상기 복수의 흡착홀을 서로 연통하게 하는 단일 또는 복수의 진공유로를 포함하고, 상기 복수의 흡착홀들 사이에는 각 흡착홀의 크기 이상의 간격을 유지하고,상기 마이크로 진공모듈은 상기 진공유로 중 일부 진공유로 및 상기 일부 진공유로에 종속된 흡착홀들에 진공을 형성하여 상기 마이크로 LED 어레이 중 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이를 상기 모기판 또는 임시기판으로부터 선택적 또는 일괄적으로 박리하고,상기 복수의 흡착홀들 중 마이크로 LED 어레이가 부착되지 않은 흡착홀들 및 상기 마이크로 LED 어레이가 부착되지 않은 흡착홀들을 서로 연통하는 진공유로에 진공을 형성하여 상기 마이크로 진공모듈에 구비된 마이크로 LED 어레이와 다른 색상의 마이크로 LED 어레이를 색상별로 각각 다른 모기판 또는 임시기판으로부터 선택적 또는 일괄적으로 박리하여, 상기 마이크로 진공모듈이 적색, 녹색, 청색 색상의 마이크로 LED 어레이를 모두 구비한 상태에서상기 마이크로 진공모듈에 부착된 상기 적색, 녹색, 청색 색상의 마이크로 LED 어레이를 상기 진공이 형성된 진공유로 및 이에 종속된 흡착홀들의 진공을 해제하여 상기 타겟기판으로 일괄적으로 릴리징하는 것을 특징으로 하는,배치 구조
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마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사를 위한 모기판 또는 임시 기판, 타겟 기판, 마이크로 LED 어레이, 마이크로 진공모듈 간의 배치 구조에 있어서,상기 배치 구조는,상이한 색상을 갖는 복수의 마이크로 LED 어레이가 형성된 모기판 또는 임시 기판;전사부재가 도포된 타겟 기판; 및상기 모기판 또는 임시 기판으로부터 마이크로 LED 어레이를 박리하는 마이크로 진공모듈;을 포함하고,상기 마이크로 진공모듈은 외부로 노출 형성되어 진공 흡입력을 형성하는 복수의 흡착홀 및 상기 복수의 흡착홀을 서로 연통하게 하는 복수의 진공유로를 포함하고,진공 흡입력을 형성하는 직경이 5 μm 이상 100 μm 이내인 흡착홀들이 각각 상이한 채널을 통해 연통되고, 상기 채널은 각각의 진공 조절부에 연결된 상태에서 진공 형성 및 해제 상태를 이루며,상기 마이크로 진공 모듈에 진공이 형성된 진공 유로 및 이에 종속된 흡착홀에 인가되는 진공흡입력을 통해서 부착된 마이크로 LED 어레이들을 진공 유로의 진공을 순차적으로 해제하여 상이한 타겟 기판에 2회부터 4회까지에 걸쳐서 선택적으로 릴리징 하는,배치 구조
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 흡착홀의 너비는 5 μm 이상 100 μm 이내이며 상기 흡착홀 간의 간격은 5 μm 이상 300 μm 이내이며, 이를 통한 단색 또는 RGB 마이크로 LED 디스플레이 구현을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는,배치 구조
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 흡착홀의 너비는 5 μm 이상 100 μm 이내이며 상기 흡착홀 간의 간격은 10 μm 이상 8 mm 이내로 하는 이를 통한 LED 패치 구현을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는,배치 구조
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7
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 전사부재는 ACF, ACA, SOCF, Solder을 포함한 전도성 접착물질 및 전도성을 나타내지 않는 접착력을 지닌 물질 중 어느 하나인배치 구조
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제 7 항에 있어서상기 전사부재는 밑면이 평평한 기둥 모양 또는 롤 (Roll) 모양의 외력 인가매개체에 의해 변형될 수 있는배치 구조
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9
적색, 녹색, 청색 색상의 마이크로 LED 어레이가 칩 형태로 형성된 각각의 모기판 또는 임시 기판 중 하나의 모기판 또는 임시기판에 형성된 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이에 마이크로 진공 모듈의 흡착홀들을 접촉시키는 단계;상기 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이들과 접촉해 있는 복수의 흡착홀들 중 일부 또는 전체에 연통하는 단일 또는 복수의 진공유로를 진공 상태로 만들어 흡입력을 형성하고 이를 이용해 상기 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이를 상기 모기판 또는 임시기판으로부터 선택적 또는 일괄적으로 박리시키는 단계;박리된 마이크로 LED 어레이를 전사부재가 도포되어 있는 타겟 기판 위에 정렬 후 상기 박리된 마이크로LED 어레이가 부착된 복수의 흡착홀들 중 일부 또는 전체 및 이들과 연통하는 진공유로의 진공을 해제하여 선택적 또는 일괄적으로 릴리징하는 단계;외력 인가 매개체를 통해 상기 전사부재를 변형시켜 상기 타겟 기판과 상기 타겟 기판 상에 구비되어 있는 마이크로 LED 어레이를 접속시켜 물리적 또는 전기적으로 상호 연결시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사 및 이를 통한 마이크로 LED 디스플레이 제작 방법
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제 9 항에 있어서,상기 하나의 모기판 또는 임시기판에 형성된 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이에 마이크로 진공 모듈의 흡착홀들을 접촉시키는 단계, 상기 한가지 색상의 마이크로 LED 어레이를 상기 모기판 또는 임시기판으로부터 선택적 또는 일괄적으로 박리시키는 단계 및 상기 박리된 마이크로 LED 어레이를 상기 타겟 기판 상에 선택적 또는 일괄적으로 릴리징시키는 단계;를 반복 실시하여 적색, 녹색, 청색 색상의 마이크로 LED 어레이를 모두 구비한 전사부재가 도포되어 있는 타겟 기판을 포함하는 마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사 및 이를 통한 마이크로 LED 디스플레이 제작 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 전사부재는 ACF, ACA, SOCF, Solder을 포함한 전도성 접착물질 및 전도성을 나타내지 않는 접착력을 지닌 물질 중 어느 하나인 마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사 및 이를 통한 마이크로 LED 디스플레이 제작 방법
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제 9 항에 있어서,상기 외력인가매개체의 형태는 밑면이 평평한 기둥 모양 또는 롤 (Roll) 모양을 포함하는, 마이크로 진공모듈을 이용한 마이크로 LED 어레이 전사 및 이를 통한 마이크로 LED 디스플레이 제작 방법
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