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제1 영역에 패턴부가 형성된 제판부; 내부에 인쇄 페이스트가 저장되며, 상기 제판부와 접촉하는 면이 개방된 저장용기를 포함하는 저장부; 상기 제판부에 인접하도록 배치되는 기판유닛; 상기 패턴부의 인쇄 페이스트를 전사하여 상기 기판유닛으로 재전사하는 패드부를 포함하는 인쇄유닛; 및상기 제판부, 상기 저장부, 상기 기판유닛 및 상기 인쇄유닛이 위치하는 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 챔버를 포함하는 진공 패드 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버의 내부 공간에 위치하여, 상기 인쇄 페이스트를 냉각시키는 냉각부를 더 포함하는 진공 패드 프린팅 장치
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제2항에 있어서, 상기 냉각부는, 상기 저장용기의 측면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 진공 패드 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 기판유닛에 인접하도록 배치되며, 인쇄가 수행되지 않는 경우 상기 패드부의 표면의 건조를 방지하기 위하여 상기 인쇄유닛이 위치하는 캡부를 더 포함하는 진공 패드 프린팅 장치
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제4항에 있어서, 상기 캡부는, 상기 패드부를 고정하는 캡 프레임; 및상기 패드부의 하부에 위치하며, 내부에 용액이 저장되는 용액 저장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 패드 프린팅 장치
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제5항에 있어서, 상기 패드부의 표면과 상기 용액 저장부 사이에는 상기 용액이 증발되는 증발공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 패드 프린팅 장치
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제5항에 있어서, 상기 용액 저장부에 저장되는 용액은 상기 인쇄 페이스트에 포함되는 용매 또는 실리콘 오일인 것을 특징으로 하는 진공 패드 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 저장부가 상기 제1 영역으로 위치함에 따라 상기 인쇄유닛은 상기 제판부의 외측에 위치하며, 상기 저장부가 상기 제1 영역에 인접한 제2 영역으로 위치함에 따라 상기 인쇄유닛은 상기 제1 영역의 패턴부 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 패드 프린팅 장치
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제8항에 있어서, 상기 저장부와 상기 인쇄유닛의 상부에 위치하여, 상기 저장부 및 상기 인쇄유닛을 서로 연계하여 이동시키는 이송유닛을 더 포함하는 진공 패드 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 저장부는, 상기 챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 경우, 상기 저장 용기 내부의 공기를 배출시키는 개폐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 패드 프린팅 장치
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챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 단계; 저장부가 제판부의 제1 영역에 위치하여 패턴부로 인쇄 페이스트를 제공하는 단계; 상기 저장부가 상기 제1 영역에 인접한 제2 영역으로 이동하고, 인쇄유닛이 상기 제1 영역의 상부에 위치하는 단계; 상기 인쇄유닛이 상기 패턴부로 하강하여 상기 패턴부의 인쇄 페이스트가 패드부로 전사되는 단계; 상기 인쇄유닛이 기판유닛의 상부로 위치하는 단계; 및상기 인쇄유닛이 하강하여 상기 패드부의 인쇄 페이스트가 상기 기판유닛의 기판부로 전사되는 단계를 포함하는 진공 패드 프린팅 방법
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제11항에 있어서, 상기 진공 상태로 형성하는 단계에서, 상기 저장부의 개폐부를 개방하여, 저장 용기 내부의 공기를 배출시키는 것을 특징으로 하는 진공 패드 프린팅 방법
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제11항에 있어서, 상기 인쇄유닛이 캡부로 위치하여, 상기 패드부가 용액 저장부와 마주하도록 배치되는 단계를 더 포함하는 진공 패드 프린팅 방법
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