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레이저 어닐 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2021003901
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저 어닐 장치 및 방법이 제시된다. 일 실시예에 따른 기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 장치는, 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 광원; 연속발진 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 광원; 및 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 광학계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/268 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01S 3/00 (2019.01.01) B23K 103/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02675(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/67115(2013.01) H01S 3/0007(2013.01) B23K 2103/56(2013.01)
출원번호/일자 1020190154711 (2019.11.27)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2238080-0000 (2021.04.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210408) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.27)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류한열 서울특별시 마포구
2 류현열 충청남도 서산시
3 표정상 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2019-1225290-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0145792-30
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0693721-95
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-1321965-25
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.12.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1321966-71
7 등록결정서
Decision to grant		 2021.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0265475-19
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번호 청구항
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기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 장치에 있어서, 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 광원; 연속발진 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 광원; 및 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 광학계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 하며, 상기 광학계는, 서로 다른 파장으로 이루어진 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저 중 어느 하나를 투과시키고 다른 하나를 반사시켜 두 개의 레이저 빔을 합쳐지도록 하는 빔 스플리터(beam splitter)를 포함하며, 반사경, 빔 균질기(beam homogenizer) 및 렌즈를 더 포함하고, 상기 빔 스플리터를 통과하여 합쳐진 상기 두 개의 레이저 빔은 상기 반사경, 빔 균질기 및 렌즈를 순차적으로 거쳐 상기 기판 표면에 조사되며 상기 기판 표면에서 빔 스팟은 서로 중첩되고, 상기 렌즈의 초점 거리를 조절하여 소정의 빔 스팟의 크기를 얻을 수 있고, 기판은 동력 변환 스테이지(motorized translation stage) 상에 있어서 일정한 스캔 속도로 움직이면서 레이저 어닐링이 진행되는 것을 특징으로 하는, 레이저 어닐 장치
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기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 방법에 있어서, 펄스 레이저 광원에서 펄스 레이저를 조사하고, 연속발진 레이저 광원에서 연속발진 레이저를 조사하는 단계; 및 광학계를 이용하여 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 단계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 하며, 상기 광학계를 이용하여 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 단계는, 빔 스플리터(beam splitter)를 이용하여 서로 다른 파장으로 이루어진 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저 중 어느 하나를 투과시키고 다른 하나를 반사시켜 두 개의 레이저 빔을 합쳐지도록 하는 단계; 및 상기 빔 스플리터를 통과하여 합쳐진 상기 두 개의 레이저 빔은 반사경, 빔 균질기 및 렌즈를 순차적으로 거쳐 상기 기판 표면에 조사되며, 상기 기판 표면에서 빔 스팟은 서로 중첩되고, 상기 렌즈의 초점 거리를 조절하여 소정의 빔 스팟의 크기를 얻을 수 있도록 하는 단계를 포함하고, 기판은 동력 변환 스테이지(motorized translation stage) 상에 있어서 일정한 스캔 속도로 움직이면서 레이저 어닐링이 진행되는 것을 특징으로 하는, 레이저 어닐 방법
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2 과학기술정보통신부 인하대학교 산학협력단 선행공정,플랫폼기술연구개발사업 초절전 IoT 소자 결합 3차원 플랫폼 집적 공정과 최적 아키텍처 개발, 검증