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종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법, 및 이에 의해 제조된 단결정 금속막

  • 기술번호 : KST2021004727
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법, 및 이에 의해 제조된 단결정 금속막에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다결정 금속 전구체에 (111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정 또는 (111)로 단결정화된 종자정을 접촉시킨 후 열처리함으로써, 다결정 금속 전구체의 두께 및 형태에 상관없이, 높은 단결정화 확률로, (111) 결정면으로만 배향된 단결정 금속막을 제조하고, 이를 이용하여 대면적의 단결정 금속막으로 응용하는 기술에 관한 것이다.
Int. CL C30B 1/02 (2006.01.01) C30B 1/04 (2006.01.01) C10B 29/02 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC C30B 1/02(2013.01) C30B 1/04(2013.01) C10B 29/02(2013.01) H01B 5/14(2013.01) B82Y 40/00(2013.01)
출원번호/일자 1020190130795 (2019.10.21)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0047114 (2021.04.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.21)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박호범 서울특별시 성동구
2 노지수 서울특별시 성동구
3 장준규 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-1073576-58
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0012537-64
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0048908-19
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.02.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0163487-51
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2021-0163469-39
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번호 청구항
1 1
(111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정 또는 (111)로 단결정화 된 종자정이 임베딩된(embedding) 단결정 금속막
2 2
제1항에 있어서,상기 단결정 금속막은 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 루테늄(Ru), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 몰리브데늄(Mo), 로듐(Rh), 실리콘(Si), 탄탈륨(Ta), 티탄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V), 이리듐(Ir) 및 지르코늄(Zr) 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 단결정 금속막
3 3
제1항에 있어서,상기 단결정 금속막은 그 형태가 호일, 평판, 블록 또는 튜브형인 것을 특징으로 하는 단결정 금속막
4 4
제1항에 있어서,상기 단결정 금속막의 두께는 1 내지 100 μm인 것을 특징으로 하는 단결정 금속막
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 단결정 금속막을 포함하는 전도성 필름
6 6
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 단결정 금속막을 포함하는 이차원 나노소재의 성장용 기판
7 7
(a) 결정면이 어느 한 방향으로 치우치지 않고 다양한 결정면 배향을 갖는 다결정 금속 전구체를 준비하는 단계, 및(b) 상기 (a) 단계의 금속 전구체의 표면에 (111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정 또는 (111)로 단결정화 된 종자정을 접촉시킨 후 열처리하는 단계를 포함하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
8 8
제7항에 있어서,상기 (a) 단계의 금속 전구체는 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 루테늄(Ru), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 몰리브데늄(Mo), 로듐(Rh), 실리콘(Si), 탄탈륨(Ta), 티탄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V), 이리듐(Ir), 및 지르코늄(Zr) 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
9 9
제7항에 있어서,상기 (a) 단계의 금속 전구체는 그 형태가 호일, 평판, 블록 또는 튜브형인 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 (a) 단계의 금속 전구체는 그 형태가 호일이고,상기 호일의 일면 또는 양면에 상기 (111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정 또는 (111)로 단결정화 된 종자정을 접촉시키는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
11 11
제10항에 있어서,상기 (111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정 또는 (111)로 단결정화 된 종자정을 상기 다결정 금속 전구체의 일면 또는 양면에 접촉시킨 후 기판으로 가압하는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
12 12
제7항에 있어서,상기 (111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정 또는 (111)로 단결정화 된 종자정을 2 개 이상 접촉시키는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
13 13
제7항 또는 제9항에 있어서,상기 (a) 단계의 금속 전구체는 상업화된 구리호일인 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 상업화된 구리호일의 두께는 1 내지 100 μm인 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
15 15
제7항에 있어서,상기 (111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정은 상기 (111)로 배향된 종자를 상기 종자정 전체 면적 대비 10-4 내지 10-1의 비율로 함유하거나, 또는 상기 (111)로 단결정화 된 종자정은 상기 다결정 금속 전구체의 면적 대비 10-4 내지 2-1의 비율로 접촉시키는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
16 16
제7항에 있어서,상기 (b) 단계의 열처리는 800 내지 1500 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
17 17
제7항에 있어서,상기 (b) 단계의 열처리는 아르곤 분위기 하에서 10 내지 50 ℃/분의 속도로 승온하여 800 내지 1500 ℃의 열처리 온도에 도달하면 상기 열처리 온도에서 1 내지 10 시간 동안 등온 상태를 유지하여 수행되는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
18 18
제7항에 있어서,상기 (b) 단계 후, 냉각 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
19 19
(A) 롤투롤 연속 공정에서 이송 중인 다결정 금속막의 표면에 (111)로 배향된 종자를 포함하는 종자정 또는 (111)로 단결정화 된 종자정을 부착하는 단계, 및(B) 상기 (A) 단계를 마친 이송 중인 다결정 금속막을 열처리하는 단계를 포함하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법으로서, 상기 (A) 단계의 다결정 금속막은 결정면이 어느 한 방향으로 치우치지 않고 다양한 결정면 배향을 갖는 것을 특징으로 하는, 종자정 고상결정 성장에 의한 단결정 금속막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 성균관대학교산학협력단 나노융합산업핵심기술개발(R&D) 122,250 mm2 이상의 단결정 그래핀의 결함최소화를 위한 CVD성장 및 전사 공정기술 개발