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유전 영동력을 이용하여 전극의 흡착력을 향상시키는 전극의 형상설계방법으로서,정전 흡착 방식의 전극에 대하여 수치해석과 파라메터 연구를 통해 설계인자를 도출하는 설계인자 도출단계;상기 설계인자 도출단계를 통해서 도출된 설정된 모양의 전극 형상을 갖는 흡착패드를 설계하는 흡착패드 설계단계; 및상기 흡착패드 설계단계를 통해서 설계된 상기 흡착패드의 흡착력을 검증하는 흡착력 검증단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전 흡착용 전극의 설계방법
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청구항 1에 있어서,상기 흡착패드 설계단계에서는,흡착력을 향상시키기 위해서 유전물질의 종류와 두께, 전극과 흡착부와의 간격을 설정된 설계 기법을 활용하여 설정된 흡착패드 사양을 도출하는 것을 특징으로 하는 정전 흡착용 전극의 설계방법
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청구항 1에 있어서,상기 흡착력 검증단계에서는,에칭기법을 사용하여 전극을 제작하고 유전물질을 정밀하게 도포하여 실험적으로 수직력(normal force) 및 전단력(shear force)의 흡착력을 검증하는 것을 특징으로 하는 정전 흡착용 전극의 설계방법
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청구항 1에 있어서,상기 설계인자 도출단계에서는, 수치해석 및 파라미터 연구를 통해서 전극은 평행형으로 배치하고, 부착물체의 전기전도성에 따라 전극의 설계형상을 달라하는 것을 특징으로 하는 정전 흡착용 전극의 설계방법
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청구항 2에 있어서,상기 흡착패드에 사용되는 상기 유전물질로서 실리콘을 이용하여 설정된 두께로 균일하게 도포하는 것을 특징으로 하는 정전 흡착용 전극의 설계방법
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